Tuotteet

Tantaalikarbidipinnoite

VeTek semiconductor on johtava tantaalikarbidipinnoitemateriaalien valmistaja puolijohdeteollisuudelle. Päätuotevalikoimaamme kuuluvat CVD-tantaalikarbidipinnoiteosat, sintratut TaC-pinnoiteosat piikarbidikiteiden kasvattamiseen tai puolijohdeepitaksiprosessiin. Hyväksytty ISO9001, VeTek Semiconductorilla on hyvä laatu. VeTek Semiconductor on omistautunut innovaattoriksi tantaalikarbidipinnoiteteollisuudessa jatkuvan iteratiivisten teknologioiden tutkimuksen ja kehityksen kautta.


Päätuotteita ovatTaC-pinnoitettu ohjausrengas, CVD TaC -pinnoitettu kolmen terälehden ohjausrengas, Tantaalikarbidi TaC -pinnoitettu Halfmoon, CVD TaC -pinnoite planeetta SiC epitaksiaalinen suskeptori, Tantaalikarbidipinnoiterengas, Tantaalikarbidilla päällystetty huokoinen grafiitti, TaC Coating Rotation Susceptor, Tantaalikarbidirengas, TaC-pinnoitteen pyörityslevy, TaC-pinnoitettu kiekkosuskeptori, TaC-pinnoitettu deflektorirengas, CVD TaC -pinnoite, TaC-pinnoitettu istukkajne., puhtaus on alle 5 ppm, voi täyttää asiakkaiden vaatimukset.


TaC-pinnoitegrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla Chemical Vapor Deposition (CVD) -prosessilla. Edut näkyvät alla olevassa kuvassa:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantaalikarbidipinnoite (TaC) on saanut huomiota korkean sulamispisteensä, jopa 3880 °C:n sulamispisteensä, erinomaisen mekaanisen lujuutensa, kovuutensa ja lämpöiskujen kestävyytensä ansiosta, mikä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon yhdistepuolijohteiden epitaksiprosesseille, joilla on korkeammat lämpötilavaatimukset. kuten Aixtron MOCVD-järjestelmä ja LPE SiC epitaxy process.Sillä on myös laaja sovellus PVT-menetelmässä SiC-kidekasvatusprosessissa.


Tärkeimmät ominaisuudet:

 ●Lämpötilan vakaus

 ●Ultra korkea puhtaus

 ●Kestävyys H2:lle, NH3:lle, SiH4:lle, Si:lle

 ●Kestää lämpövarastoa

 ●Vahva tarttuvuus grafiittiin

 ●Muodollinen pinnoitteen peitto

 Koko jopa 750 mm halkaisija (ainoa valmistaja Kiinassa saavuttaa tämän koon)


Sovellukset:

 ●Kiekon kantaja

 ● Induktiivinen lämmitysvaskeptori

 ● Resistiivinen lämmityselementti

 ●Satelliittilevy

 ●Suihkupää

 ●Ohjausrengas

 ●LED Epi vastaanotin

 ●Ruiskutussuutin

 ●Peiterengas

 ● Lämpösuoja


Tantaalikarbidi (TaC) pinnoite mikroskooppisessa poikkileikkauksessa:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


VeTek Semiconductor Tantaali Carbide Coating -pinnoitteen parametri:

TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet
Tiheys 14,3 (g/cm³)
Ominaisemissiokyky 0.3
Lämpölaajenemiskerroin 6.3 10-6/K
Kovuus (HK) 2000 HK
Resistanssi 1×10-5Ohm*cm
Lämpöstabiilisuus <2500 ℃
Grafiitin koko muuttuu -10-20um
Pinnoitteen paksuus ≥20um tyypillinen arvo (35um±10um)


TaC-pinnoitteen EDX-tiedot

EDX data of TaC coating


TaC-pinnoitteen kiderakennetiedot:

Elementti Atomiprosentti
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Keskimäärin
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TAC -pinnoitteen kierto -alttiu

TAC -pinnoitteen kierto -alttiu

Ammattimaisena valmistajana, innovaattorina ja TAC -päällystyskierroksen alttiiden tuotteiden johtajana Kiinassa. Vetek Semiconductor TAC -pinnoitteen kierto -herkät asennetaan yleensä kemialliseen höyryn laskeutumiseen (CVD) ja molekyylisäteen epitaksi (MBE) -laitteisiin kiekkojen tukemiseksi ja kiertämiseksi yhdenmukaisen materiaalin laskeutumisen ja tehokkaan reaktion varmistamiseksi. Se on avainkomponentti puolijohteiden käsittelyssä. Tervetuloa edelleen kuulemiseen.
CVD TAC -päällyste upokas

CVD TAC -päällyste upokas

Vetek Semiconductor on CVD TAC -päällysteisen upokastuotteiden ammattimainen valmistaja ja johtaja Kiinassa. CVD TAC -päällyste Crucible perustuu tantaalihiilen (TAC) pinnoitteeseen. Tantaalihiilipinnoite peitetään tasaisesti upokkaan pinnalla kemiallisen höyryn laskeutumisprosessin avulla (CVD) sen lämmönkestävyyden ja korroosionkestävyyden parantamiseksi. Se on materiaalityökalu, jota käytetään erityisesti korkean lämpötilan äärimmäisissä ympäristöissä. Tervetuloa edelleen kuulemiseen.
CVD TAC -päällystyskiekko -kantoaalto

CVD TAC -päällystyskiekko -kantoaalto

Veek Semiconductor CVD TAC -päällysteen kantolaitteessa on ammattimainen CVD TAC -päällysteen kantokantatuotteen valmistaja ja tehdas Kiinassa, kiekkokuljetustyökalu, joka on erityisesti suunniteltu korkean lämpötilan ja syövyttävien ympäristöjen kanssa puolijohteiden valmistuksessa. ja CVD TAC -päällysteellä kiekko-kantajalla on suuri mekaaninen lujuus, erinomainen korroosionkestävyys ja lämpöstabiilisuus, mikä tarjoaa tarvittavan takuun korkealaatuisten puolijohdealaitteiden valmistukselle. Lisäkyselyt ovat tervetulleita.
TAC -pinnoituslämmitin

TAC -pinnoituslämmitin

Vetek Semiconductor TAC -pinnoittimen lämmittimen sulamispiste on erittäin korkea (noin 3880 ° C). Korkea sulamispiste antaa sen toimia erittäin korkeissa lämpötiloissa, etenkin galliumnitridin (GAN) epitaksiaalikerrosten kasvussa metalliorgaanisessa kemiallisessa höyryn laskeutumisprosessissa (MOCVD). Vetek Semiconductor on sitoutunut tarjoamaan asiakkaille räätälöityjä tuotelaratkaisuja. Odotamme kuulevani sinusta.
CVD TAC -päällyste

CVD TAC -päällyste

VeTek Semiconductor on Kiinan johtava CVD TAC Coating -tuotteiden valmistaja. Olemme useiden vuosien ajan keskittyneet erilaisiin CVD TAC -pinnoitetuotteisiin, kuten CVD TaC -pinnoitekanneen, CVD TaC -pinnoitusrenkaaseen. VeTek Semiconductor tukee räätälöityjä tuotepalveluita ja tyydyttäviä tuotehintoja ja odottaa jatkokonsultaatiotasi.
Tac -päällystetty istukka

Tac -päällystetty istukka

Korkean lämpötilan vastustuskyvyn, kemiallisen inerttin ja erinomaisen suorituskyvyn avulla Vetek Semiconductorin TAC -päällystetyt istunnot on suunniteltu puolijohdeuuneille. Uskomme, että tuotteemme voivat tuoda sinulle edistyneen tekniikan ja laadukkaita tuotelaratkaisuja.
Ammattimaisena Tantaalikarbidipinnoite valmistajana ja toimittajana Kiinassa meillä on oma tehdas. Tarvitsetko räätälöityjä palveluita alueen erityistarpeiden tyydyttämiseksi tai haluat ostaa edistyneitä ja kestävää Tantaalikarbidipinnoite, joka on valmistettu Kiinassa, voit jättää meille viestin.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept