Tantaalikarbidipinnoite

VeTek semiconductor on johtava tantaalikarbidipinnoitemateriaalien valmistaja puolijohdeteollisuudelle. Päätuotevalikoimaamme kuuluvat CVD-tantaalikarbidipinnoiteosat, sintratut TaC-pinnoiteosat piikarbidikiteiden kasvattamiseen tai puolijohdeepitaksiprosessiin. Hyväksytty ISO9001, VeTek Semiconductorilla on hyvä laatu. VeTek Semiconductor on omistautunut innovaattoriksi tantaalikarbidipinnoiteteollisuudessa jatkuvan iteratiivisten teknologioiden tutkimuksen ja kehityksen kautta.

Päätuotteita ovatTaC-pinnoitettu ohjausrengas, CVD TaC -pinnoitettu kolmen terälehden ohjausrengas, Tantaalikarbidi TaC -pinnoitettu Halfmoon, CVD TaC -pinnoite planeetta SiC epitaksiaalinen suskeptori, Tantaalikarbidipinnoiterengas, Tantaalikarbidilla päällystetty huokoinen grafiitti, TaC Coating Rotation Susceptor, Tantaalikarbidirengas, TaC-pinnoitteen pyörityslevy, TaC-pinnoitettu kiekkosuskeptori, TaC-pinnoitettu deflektorirengas, CVD TaC -pinnoite, TaC-pinnoitettu istukkajne., puhtaus on alle 5 ppm, voi täyttää asiakkaiden vaatimukset.

TaC-pinnoitegrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla Chemical Vapor Deposition (CVD) -prosessilla. Edut näkyvät alla olevassa kuvassa:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantaalikarbidipinnoite (TaC) on saanut huomiota korkean sulamispisteensä, jopa 3880 °C:n sulamispisteensä, erinomaisen mekaanisen lujuutensa, kovuutensa ja lämpöiskujen kestävyytensä ansiosta, mikä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon yhdistepuolijohteiden epitaksiprosesseille, joilla on korkeammat lämpötilavaatimukset. kuten Aixtron MOCVD-järjestelmä ja LPE SiC epitaxy process.Sillä on myös laaja sovellus PVT-menetelmässä SiC-kidekasvatusprosessissa.

Tärkeimmät ominaisuudet:

●Lämpötilan vakaus

●Ultra korkea puhtaus

●Kestävyys H2:lle, NH3:lle, SiH4:lle, Si:lle

●Kestää lämpövarastoa

●Vahva tarttuvuus grafiittiin

●Muodollinen pinnoitteen peitto

● Koko jopa 750 mm halkaisija (ainoa valmistaja Kiinassa saavuttaa tämän koon)

Sovellukset:

●Kiekon kantaja

● Induktiivinen lämmitysvaskeptori

● Resistiivinen lämmityselementti

●Satelliittilevy

●Suihkupää

●Ohjausrengas

●LED Epi vastaanotin

●Ruiskutussuutin

●Peiterengas

● Lämpösuoja

Tantaalikarbidi (TaC) pinnoite mikroskooppisessa poikkileikkauksessa:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

VeTek Semiconductor Tantaali Carbide Coating -pinnoitteen parametri:

TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet
Tiheys	14,3 (g/cm³)
Ominaisemissiokyky	0.3
Lämpölaajenemiskerroin	6.3 10^-6/K
Kovuus (HK)	2000 HK
Resistanssi	1×10^-5Ohm*cm
Lämpöstabiilisuus	<2500 ℃
Grafiitin koko muuttuu	-10-20um
Pinnoitteen paksuus	≥20um tyypillinen arvo (35um±10um)

TaC-pinnoitteen EDX-tiedot：

EDX data of TaC coating

TaC-pinnoitteen kiderakennetiedot:

Elementti	Atomiprosentti
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Keskimäärin
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-pinnoiteistukka TaC Coating Planetary Disk
TaC päällystetty levy TaC-pinnoitteen pyörityslevy TaC-pinnoitteen vastaanotin CVD TaC pinnoite Kansi CVD TaC -pinnoiterengas TaC-pinnoituslevy

View as

TaC Coating Rotation Susceptor

Ammattimaisena valmistajana, innovaattorina ja TaC Coating Rotation Susceptor -tuotteiden johtajana Kiinassa. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor asennetaan yleensä kemialliseen höyrypinnoitus (CVD) ja molekyylisuihkuepitaksi (MBE) -laitteisiin tukemaan ja pyörittämään kiekkoja tasaisen materiaalin kerrostumisen ja tehokkaan reaktion varmistamiseksi. Se on avainkomponentti puolijohdekäsittelyssä. Tervetuloa jatkoneuvotteluun.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

CVD TaC -pinnoitusupokas

VeTek Semiconductor on ammattimainen CVD TaC Coating Crucible -tuotteiden valmistaja ja johtaja Kiinassa. CVD TaC Coating Crucible perustuu tantaalihiilipinnoitteeseen (TaC). Tantaalihiilipinnoite peitetään tasaisesti upokkaan pinnalla kemiallisen höyrypinnoitusprosessin (CVD) avulla parantaakseen sen lämmönkestävyyttä ja korroosionkestävyyttä. Se on materiaalityökalu, jota käytetään erityisesti korkeissa lämpötiloissa äärimmäisissä ympäristöissä. Tervetuloa jatkoneuvotteluun.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

CVD TAC -päällystyskiekko -kantoaalto

Veek Semiconductor CVD TAC -päällysteen kantolaitteessa on ammattimainen CVD TAC -päällysteen kantokantatuotteen valmistaja ja tehdas Kiinassa, kiekkokuljetustyökalu, joka on erityisesti suunniteltu korkean lämpötilan ja syövyttävien ympäristöjen kanssa puolijohteiden valmistuksessa. ja CVD TAC -päällysteellä kiekko-kantajalla on suuri mekaaninen lujuus, erinomainen korroosionkestävyys ja lämpöstabiilisuus, mikä tarjoaa tarvittavan takuun korkealaatuisten puolijohdealaitteiden valmistukselle. Lisäkyselyt ovat tervetulleita.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

TAC -pinnoituslämmitin

Vetek Semiconductor TAC -pinnoittimen lämmittimen sulamispiste on erittäin korkea (noin 3880 ° C). Korkea sulamispiste antaa sen toimia erittäin korkeissa lämpötiloissa, etenkin galliumnitridin (GAN) epitaksiaalikerrosten kasvussa metalliorgaanisessa kemiallisessa höyryn laskeutumisprosessissa (MOCVD). Vetek Semiconductor on sitoutunut tarjoamaan asiakkaille räätälöityjä tuotelaratkaisuja. Odotamme kuulevani sinusta.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

CVD TAC -päällyste

VeTek Semiconductor on Kiinan johtava CVD TAC Coating -tuotteiden valmistaja. Olemme useiden vuosien ajan keskittyneet erilaisiin CVD TAC -pinnoitetuotteisiin, kuten CVD TaC -pinnoitekanneen, CVD TaC -pinnoitusrenkaaseen. VeTek Semiconductor tukee räätälöityjä tuotepalveluita ja tyydyttäviä tuotehintoja ja odottaa jatkokonsultaatiotasi.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Tac -päällystetty istukka

Korkean lämpötilan vastustuskyvyn, kemiallisen inerttin ja erinomaisen suorituskyvyn avulla Vetek Semiconductorin TAC -päällystetyt istunnot on suunniteltu puolijohdeuuneille. Uskomme, että tuotteemme voivat tuoda sinulle edistyneen tekniikan ja laadukkaita tuotelaratkaisuja.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Ammattimaisena Tantaalikarbidipinnoite valmistajana ja toimittajana Kiinassa meillä on oma tehdas. Tarvitsetko räätälöityjä palveluita alueen erityistarpeiden tyydyttämiseksi tai haluat ostaa edistyneitä ja kestävää Tantaalikarbidipinnoite, joka on valmistettu Kiinassa, voit jättää meille viestin.

QR koodi

Meistä

Tuotteet

Ota meihin yhteyttä

Puhelin
+86-18069220752
Faksi
+86-579-87223657
Sähköposti
anny@veteksemi.com
Osoite
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiangin maakunta, Kiina

Web-valikko

Tuotehaku

Kieli

Poistu valikosta

Tantaalikarbidipinnoite

Tärkeimmät ominaisuudet:

Sovellukset:

Tantaalikarbidi (TaC) pinnoite mikroskooppisessa poikkileikkauksessa:

VeTek Semiconductor Tantaali Carbide Coating -pinnoitteen parametri:

TaC-pinnoitteen EDX-tiedot：

TaC-pinnoitteen kiderakennetiedot:

TaC Coating Rotation Susceptor

CVD TaC -pinnoitusupokas

CVD TAC -päällystyskiekko -kantoaalto

TAC -pinnoituslämmitin

CVD TAC -päällyste

Tac -päällystetty istukka

Lähetä kysely

QR koodi

Meistä

Tuotteet

Ota meihin yhteyttä

Puhelin

Faksi

Sähköposti

Osoite