Materiaalit & Design

Sopivan substraatin ja pinnoitteen yhdistelmän valinta on avain komponenttien ennenaikaisen rikkoutumisen estämiseen, hiukkaskontaminaation vähentämiseen ja kiekkojen saannon maksimoimiseen. Tarjoamme räätälöityjä materiaali- ja rakennesuunnitteluratkaisuja asiakkaan prosessi-ikkunan ympärille (käyttölämpötila, reaktiivisen kaasun kemia, ramppinopeudet).

Keskeiset suunnittelukykymme:

• Tiukka CTE-stressin sovitus:Nopeaa lämpökiertoa (>100 °C/min) varten sovitamme tarkasti erittäin puhtaiden grafiittisubstraattien ja CVD-pinnoitteiden CTE-lämpötilakäyrät, mikä vähentää olennaisesti pinnoitteen delaminaatiota ja mikrohalkeilua.
• Prosessikohtaisen pinnoitteen valinta:CVD SiC -pinnoite Si/SiC-epitaksi- (Epi), MOCVD- ja plasmaetsausympäristöihin; CVD TaC -pinnoite korkeammissa lämpötiloissa ja voimakkaasti syövyttävissä olosuhteissa (esim. SiC yksikiteinen PVT -kasvu).
• Säädettävä resistanssi ja lämmönjohtavuuden optimointi:Substraatin ja pinnoitteen bulkkiresistiivisyyden ja lämmönjohtavuuden tarkka säätö RF-, ESC-sähköstaattisten istukka- tai lämmitysvyöhykkeiden sähkö- ja lämpökenttävaatimusten täyttämiseksi.
• Kontaminaatiolähteen valvonta ja CoO-vähennys:Erittäin puhtaat CVD-pinnoituskerrokset tiivistävät huokoisen grafiitin tiiviisti, mikä vähentää merkittävästi hiukkasten irtoamista, erittäin hivenmetallien epäpuhtauksien diffuusiota ja korkean lämpötilan kaasunpoistoriskiä.

Tyypillisen pinnoitteen valinnan vertailu (yksittäinen opas)

Real Case ja asiakasedut (kokemus):

Johtava piikarbidiepitaksien (Epi) valmistaja:Alkuperäisessä komponentissa käytettiin yhteensopimatonta CVD TaC -pinnoitetta, mikä johti liialliseen rajapintojen jännitykseen ja toistuviin mikrohalkeamiin korkeassa lämpötilassa. Suoritimme termodynaamiset simulaatiot uudelleen ja vaihdoimme aCTE-sovitettu erikoislaatuinen erittäin puhdas grafiittisubstraatti + puskurikerros + CVD SiC -pinnoiteratkaisu. Tulos: komponenttien keskimääräinen käyttöikä nousi 200 tunnista 850 tuntiin; vuosittainen vaihtotiheys työkalua kohden putosi 40:stä 9 kertaan; kattavien laitteiden O&M-kustannussäästöt ylittivät 650 000 RMB vuodessa.

GDMS-puhtausanalyysiraportti TaC- ja SiC-pinnoitteille

FAQ

Aloita eksklusiivinen palvelusi nyt