TAC -päällystysoppaan rengas

Vetek Semiconductor on ammattimainen Kiinan TAC -päällystysoppaan rengas, TAC -päällyste Crucible, siementen haltijan valmistaja ja toimittaja.

TaC-pinnoite Upokas, siemenpidike ja TaC-pinnoitteen ohjausrengas SiC- ja AIN-yksikideuunissa kasvatettiin PVT-menetelmällä.

Kun piikarbidin valmistukseen käytetään fyysistä höyrynkuljetusmenetelmää (PVT), siemenkide on suhteellisen alhaisen lämpötilan alueella ja piikarbidin raaka-aine suhteellisen korkean lämpötilan alueella (yli 2400 ℃). Raaka-aineen hajoaminen tuottaa SiXCy:tä (pääasiassa Si, SiC₂, Si2C jne.). Höyryfaasimateriaali kuljetetaan korkean lämpötilan alueelta matalan lämpötilan alueella olevaan siemenkiteeseen ja ydintyy ja kasvaa. Yksittäisen kiteen muodostamiseksi. Tässä prosessissa käytettyjen lämpökenttämateriaalien, kuten upokkaan, virtauksen ohjausrenkaan, siemenkiteiden pidikkeen, tulee kestää korkeita lämpötiloja eivätkä ne saastuta piikarbidin raaka-aineita ja piikarbidin yksittäiskiteitä. Vastaavasti AlN-yksikiteiden kasvussa olevien lämmityselementtien on kestettävä Al-höyryä, N2-korroosiota ja niillä on oltava korkea eutektinen lämpötila (ja AlN) kiteen valmistusajan lyhentämiseksi.

Todettiin, että TAC -päällystetyillä grafiittimateriaaleilla valmistetut sic- ja ALN: t olivat puhtaampia, melkein ei hiiltä (happi, typpi) ja muut epäpuhtaudet, vähemmän reunavikoja, pienempi resistiivisyys kussakin alueella ja mikroporen tiheys ja syövytys pit -tiheys olivat merkittävästi vähentynyt (Koh -etsauksen jälkeen), ja kidekenttä parani huomattavasti. Lisäksi Tac Crucible -painonpudotusaste on melkein nolla, ulkonäkö ei ole tuhoava, se voidaan kierrättää (elämä jopa 200 tuntia), se voi parantaa tällaisen yhden kideen valmistuksen kestävyyttä ja tehokkuutta.

TaC Coating Guide Ringin tuoteparametri:

Tuotantokaupat:

Yleiskatsaus puolijohdesirun epitaksiteollisuuden ketjuun: