TAC -päällystetty kiekko -altis

Vetek Semiconductor TAC -päällysteinen kiekko -herkkailija on avainkomponentti, jota käytetäänMetalli-orgaaninen kemiallinen höyryn laskeuma (MOCVD)reaktoritpuolijohdetiedosto (epi) prosessit. Tämä erikoistunut pyöreä pohja on valmistettu korkealaatuisesta grafiitista ja se on päällystetty kerroksella tantaalikarbidia (TAC), joka on tunnettu poikkeuksellisista lämpö- ja kemiallisista ominaisuuksistaan.

TAC -pinnoitteen ensisijainen tehtävä on parantaa kiekko -alttiuden suorituskykyä ja kestävyyttä puolijohteiden valmistuksen ankarissa olosuhteissa. Tantaalikarbidi on kuuluisa kovuudestaan, korkeasta sulamispisteestään ja erinomaisesta kulutuskestävyydestä, mikä tekee siitä ihanteellisen suojakerroksen. Tämä päällystys suojaa alla olevan grafiittipohjan syövyttävistä kemiallisista reaktioista ja niiden sisällä tapahtuvista mekaanisista rasituksistaMOCVD -reaktorit, pidentämällä laitteiden elinkaaria ja parantamalla luotettavuutta.

Puolijohdemateriaalien epitaksiaalisen kasvun aikana TAC -päällystetyllä kiekko -alttiilla on tärkeä rooli varmistamalla tarkan elokuvan laskeutumisen. Sen vastus korkeisiin lämpötiloihin ja ankariin kemiallisiin ympäristöihin on kriittinen puolijohdelaitteiden tarkan tuotannon kannalta, mikä mahdollistaa laitteen toiminnan vakaasti vaativissa prosessiolosuhteissa.

Yhdistelmä agrafiittiydinjaTAC -päällystevarmistaa yhtenäisen lämmönjakauman herkkyyden alueella, mikä on välttämätöntä MOCVD -prosessin aikana kasvatettujen puolijohdekerrosten toistettavuuden ja laadun parantamiseksi. Tämä edistyksellinen materiaalisuunnittelu ei vain tarjoa kestävyyttä, vaan vastaa myös nykyaikaisen puolijohdevalmistuksen tiukat vaatimukset korkean suorituskyvyn elektronisten komponenttien suhteen.

TAC-päällystettyjen kiekkojen alttiiden toimittajana ja valmistajana Vetek Semiconductor on sitoutunut toimittamaan korkealaatuisia teknisiä ratkaisuja puolijohdeteollisuudelle. Odotamme innolla tulevan pitkäaikaiseksi luotettavaksi kumppaniksi Kiinassa tarjoamalla luotettavia, räätälöityjä tuotteita.

Vetek Semiconductor TAC -päällystetyt kiekko -alttiit myymälät: