Tantaalikarbidipinnoite

VeTek semiconductor on johtava tantaalikarbidipinnoitemateriaalien valmistaja puolijohdeteollisuudelle. Päätuotevalikoimaamme kuuluvat CVD-tantaalikarbidipinnoiteosat, sintratut TaC-pinnoiteosat piikarbidikiteiden kasvattamiseen tai puolijohdeepitaksiprosessiin. Hyväksytty ISO9001, VeTek Semiconductorilla on hyvä laatu. VeTek Semiconductor on omistautunut innovaattoriksi tantaalikarbidipinnoiteteollisuudessa jatkuvan iteratiivisten teknologioiden tutkimuksen ja kehityksen kautta.

Päätuotteita ovatTaC-pinnoitettu ohjausrengas, CVD TaC -pinnoitettu kolmen terälehden ohjausrengas, Tantaalikarbidi TaC -pinnoitettu Halfmoon, CVD TaC -pinnoite planeetta SiC epitaksiaalinen suskeptori, Tantaalikarbidipinnoiterengas, Tantaalikarbidilla päällystetty huokoinen grafiitti, TaC Coating Rotation Susceptor, Tantaalikarbidirengas, TaC-pinnoitteen pyörityslevy, TaC-pinnoitettu kiekkosuskeptori, TaC-pinnoitettu deflektorirengas, CVD TaC -pinnoite, TaC-pinnoitettu istukkajne., puhtaus on alle 5 ppm, voi täyttää asiakkaiden vaatimukset.

TaC-pinnoitegrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla Chemical Vapor Deposition (CVD) -prosessilla. Edut näkyvät alla olevassa kuvassa:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantaalikarbidipinnoite (TaC) on saanut huomiota korkean sulamispisteensä, jopa 3880 °C:n sulamispisteensä, erinomaisen mekaanisen lujuutensa, kovuutensa ja lämpöiskujen kestävyytensä ansiosta, mikä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon yhdistepuolijohteiden epitaksiprosesseille, joilla on korkeammat lämpötilavaatimukset. kuten Aixtron MOCVD-järjestelmä ja LPE SiC epitaxy process.Sillä on myös laaja sovellus PVT-menetelmässä SiC-kidekasvatusprosessissa.

Tärkeimmät ominaisuudet:

●Lämpötilan vakaus

●Ultra korkea puhtaus

●Kestävyys H2:lle, NH3:lle, SiH4:lle, Si:lle

●Kestää lämpövarastoa

●Vahva tarttuvuus grafiittiin

●Muodollinen pinnoitteen peitto

● Koko jopa 750 mm halkaisija (ainoa valmistaja Kiinassa saavuttaa tämän koon)

Sovellukset:

●Kiekon kantaja

● Induktiivinen lämmitysvaskeptori

● Resistiivinen lämmityselementti

●Satelliittilevy

●Suihkupää

●Ohjausrengas

●LED Epi vastaanotin

●Ruiskutussuutin

●Peiterengas

● Lämpösuoja

Tantaalikarbidi (TaC) pinnoite mikroskooppisessa poikkileikkauksessa:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

VeTek Semiconductor Tantaali Carbide Coating -pinnoitteen parametri:

TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet
Tiheys	14,3 (g/cm³)
Ominaisemissiokyky	0.3
Lämpölaajenemiskerroin	6.3 10^-6/K
Kovuus (HK)	2000 HK
Resistanssi	1×10^-5Ohm*cm
Lämpöstabiilisuus	<2500 ℃
Grafiitin koko muuttuu	-10-20um
Pinnoitteen paksuus	≥20um tyypillinen arvo (35um±10um)

TaC-pinnoitteen EDX-tiedot：

EDX data of TaC coating

TaC-pinnoitteen kiderakennetiedot:

Elementti	Atomiprosentti
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Keskimäärin
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-pinnoiteistukka TaC Coating Planetary Disk
TaC päällystetty levy TaC-pinnoitteen pyörityslevy TaC-pinnoitteen vastaanotin CVD TaC pinnoite Kansi CVD TaC -pinnoiterengas TaC-pinnoituslevy

View as

Tantaalikarbidipäällysteinen rengas

Ammattimaisena innovaattorina ja tantaalikarbidilla päällystettyjen rengastuotteiden johtajana Kiinassa Vetek Semiconductor -tantaalikarbidilla päällystetyllä renkaalla on korvaamaton rooli sic -kidekasvussa erinomaisella korkean lämpötilan vastustuskyvyn, kulutuskestävyyden ja erinomaisen lämmönjohtavuuden kanssa. Tervetuloa edelleen kuulemiseen.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Huokoinen tantaalikarbidi

Vetek Semiconductor on ammattimainen valmistaja ja huokoisten tantaalikarbidituotteiden johtaja Kiinassa. Huokoinen tantaalikarbidi valmistetaan yleensä kemiallisen höyryn laskeutumismenetelmällä (CVD), joka varmistaa sen huokoskoon ja jakautumisen tarkan hallinnan, ja se on materiaalikkaan, joka on omistettu korkean lämpötilan äärimmäisympäristöille. Tervetuloa edelleen kuulemiseen.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

TAC -päällystysoppaan rengas

VeTek Semiconductorin TaC Coating Guide Ring on luotu levittämällä tantaalikarbidipinnoite grafiittiosiin käyttämällä erittäin kehittynyttä tekniikkaa, jota kutsutaan kemialliseksi höyrypinnoitukseksi (CVD). Tämä menetelmä on vakiintunut ja tarjoaa poikkeukselliset pinnoitusominaisuudet. Hyödyntämällä TaC Coating Guide Ringiä grafiittikomponenttien käyttöikää voidaan pidentää merkittävästi, grafiittiepäpuhtauksien liikettä voidaan estää ja SiC- ja AIN-yksikidelaatua voidaan ylläpitää luotettavasti. Tervetuloa tiedustelemaan meitä.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Tantaalikarbidirengas

Kiinassa edistyneinä valmistajana ja tantaalikarbidirengastuotteiden valmistajana ja tuottajana Vetek Semiconductor -tantaalikarbidirenkaassa on erittäin korkea kovuus, kulutuskestävyys, korkea lämpötilankestävyys ja kemiallinen stabiilisuus, ja sitä käytetään laajasti puolijohteiden valmistuskentällä. Erityisesti CVD-, PVD-, ionin implantointiprosessissa, etsausprosessissa ja kiekkojen prosessoinnissa ja kuljetuksissa se on välttämätön tuote puolijohteiden käsittelyyn ja valmistukseen. Innolla lisäkonsultointiasi.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Tantaalikarbidipinnoitteen tuki

Ammattimaisena tantaalikarbidin pinnoitetukituotteiden valmistajana ja tehtaana Kiinassa VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support -tukea käytetään yleensä puolijohdelaitteiden rakenneosien tai tukikomponenttien pintapinnoitukseen, erityisesti puolijohteiden valmistusprosessien tärkeimpien laitekomponenttien pinnan suojaamiseen, kuten esim. CVD ja PVD. Tervetuloa jatkoneuvotteluun.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Tantaalikarbide -opasrengas

Vetek Semiconductor on ammattimainen valmistaja ja Tantalum Carbide Guide Ring -tuotteiden johtaja Kiinassa. Tantaalikarbidi (TAC) -opparengas on korkean suorituskyvyn rengaskomponentti, joka on valmistettu tantaalikarbidista, jota käytetään yleisesti puolijohteenkäsittelylaitteissa, etenkin korkean lämpötilan ja erittäin syövyttävissä ympäristöissä, kuten CVD, PVD, etsaus ja diffuusio. Vetek Semiconductor on sitoutunut tarjoamaan edistyneitä teknologia- ja tuotelaratkaisuja puolijohdeteollisuudelle ja suhtautuu myönteisesti lisäkyselyihin.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Ammattimaisena Tantaalikarbidipinnoite valmistajana ja toimittajana Kiinassa meillä on oma tehdas. Tarvitsetko räätälöityjä palveluita alueen erityistarpeiden tyydyttämiseksi tai haluat ostaa edistyneitä ja kestävää Tantaalikarbidipinnoite, joka on valmistettu Kiinassa, voit jättää meille viestin.

QR koodi

Meistä

Tuotteet

Ota meihin yhteyttä

Puhelin
+86-18069220752
Faksi
+86-579-87223657
Sähköposti
anny@veteksemi.com
Osoite
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiangin maakunta, Kiina

Web-valikko

Tuotehaku

Kieli

Poistu valikosta

Tantaalikarbidipinnoite

Tärkeimmät ominaisuudet:

Sovellukset:

Tantaalikarbidi (TaC) pinnoite mikroskooppisessa poikkileikkauksessa:

VeTek Semiconductor Tantaali Carbide Coating -pinnoitteen parametri:

TaC-pinnoitteen EDX-tiedot：

TaC-pinnoitteen kiderakennetiedot:

Tantaalikarbidipäällysteinen rengas

Huokoinen tantaalikarbidi

TAC -päällystysoppaan rengas

Tantaalikarbidirengas

Tantaalikarbidipinnoitteen tuki

Tantaalikarbide -opasrengas

Lähetä kysely

QR koodi

Meistä

Tuotteet

Ota meihin yhteyttä

Puhelin

Faksi

Sähköposti

Osoite