Tantaalikarbidipinnoite

VeTek semiconductor on johtava tantaalikarbidipinnoitemateriaalien valmistaja puolijohdeteollisuudelle. Päätuotevalikoimaamme kuuluvat CVD-tantaalikarbidipinnoiteosat, sintratut TaC-pinnoiteosat piikarbidikiteiden kasvattamiseen tai puolijohdeepitaksiprosessiin. Hyväksytty ISO9001, VeTek Semiconductorilla on hyvä laatu. VeTek Semiconductor on omistautunut innovaattoriksi tantaalikarbidipinnoiteteollisuudessa jatkuvan iteratiivisten teknologioiden tutkimuksen ja kehityksen kautta.

Päätuotteita ovatTaC-pinnoitettu ohjausrengas, CVD TaC -pinnoitettu kolmen terälehden ohjausrengas, Tantaalikarbidi TaC -pinnoitettu Halfmoon, CVD TaC -pinnoite planeetta SiC epitaksiaalinen suskeptori, Tantaalikarbidipinnoiterengas, Tantaalikarbidilla päällystetty huokoinen grafiitti, TaC Coating Rotation Susceptor, Tantaalikarbidirengas, TaC-pinnoitteen pyörityslevy, TaC-pinnoitettu kiekkosuskeptori, TaC-pinnoitettu deflektorirengas, CVD TaC -pinnoite, TaC-pinnoitettu istukkajne., puhtaus on alle 5 ppm, voi täyttää asiakkaiden vaatimukset.

TaC-pinnoitegrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla Chemical Vapor Deposition (CVD) -prosessilla. Edut näkyvät alla olevassa kuvassa:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantaalikarbidipinnoite (TaC) on saanut huomiota korkean sulamispisteensä, jopa 3880 °C:n sulamispisteensä, erinomaisen mekaanisen lujuutensa, kovuutensa ja lämpöiskujen kestävyytensä ansiosta, mikä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon yhdistepuolijohteiden epitaksiprosesseille, joilla on korkeammat lämpötilavaatimukset. kuten Aixtron MOCVD-järjestelmä ja LPE SiC epitaxy process.Sillä on myös laaja sovellus PVT-menetelmässä SiC-kidekasvatusprosessissa.

Tärkeimmät ominaisuudet:

●Lämpötilan vakaus

●Ultra korkea puhtaus

●Kestävyys H2:lle, NH3:lle, SiH4:lle, Si:lle

●Kestää lämpövarastoa

●Vahva tarttuvuus grafiittiin

●Muodollinen pinnoitteen peitto

● Koko jopa 750 mm halkaisija (ainoa valmistaja Kiinassa saavuttaa tämän koon)

Sovellukset:

●Kiekon kantaja

● Induktiivinen lämmitysvaskeptori

● Resistiivinen lämmityselementti

●Satelliittilevy

●Suihkupää

●Ohjausrengas

●LED Epi vastaanotin

●Ruiskutussuutin

●Peiterengas

● Lämpösuoja

Tantaalikarbidi (TaC) pinnoite mikroskooppisessa poikkileikkauksessa:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

VeTek Semiconductor Tantaali Carbide Coating -pinnoitteen parametri:

TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet
Tiheys	14,3 (g/cm³)
Ominaisemissiokyky	0.3
Lämpölaajenemiskerroin	6.3 10^-6/K
Kovuus (HK)	2000 HK
Resistanssi	1×10^-5Ohm*cm
Lämpöstabiilisuus	<2500 ℃
Grafiitin koko muuttuu	-10-20um
Pinnoitteen paksuus	≥20um tyypillinen arvo (35um±10um)

TaC-pinnoitteen EDX-tiedot：

EDX data of TaC coating

TaC-pinnoitteen kiderakennetiedot:

Elementti	Atomiprosentti
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Keskimäärin
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-pinnoiteistukka TaC Coating Planetary Disk
TaC päällystetty levy TaC-pinnoitteen pyörityslevy TaC-pinnoitteen vastaanotin CVD TaC pinnoite Kansi CVD TaC -pinnoiterengas TaC-pinnoituslevy

View as

TaC-pinnoitusputki

VeTek Semiconductorin TaC-pinnoiteputki on avainkomponentti piikarbidin yksikiteiden menestyksekkäässä kasvussa. Sen korkean lämpötilan kestävyys, kemiallinen inertisyys ja erinomainen suorituskyky takaavat korkealaatuisten kiteiden tuotannon tasaisin tuloksin. Luota innovatiivisiin ratkaisuihimme parantaaksesi PVT-menetelmälläsi piikarbidikiteiden kasvuprosessia ja saavuttaaksesi erinomaisia tuloksia. Tervetuloa tiedustelemaan meitä.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Tac -päällyste varaosa

TAC-päällystettä käytetään tällä hetkellä pääasiassa prosesseissa, kuten piikarbidi yhden kidekasvun (PVT-menetelmä), epitaksiaalilevy (mukaan lukien piikarbidi-epitaksi, LED-epitaksi) jne. Yhdistettynä TAC-päällystyslevyn hyvään pitkäaikaiseen vakauteen, VeTeSeMiconin TAC-päällystyslevy on tullut TAC-päällystysosien vertailuarvoksi. Odotamme, että sinusta tulee pitkäaikainen kumppani.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Gan EPI -vastaanottimessa

GAN: llä SIC EPI -herkkyydellä on tärkeä rooli puolijohdeprosessoinnissa sen erinomaisen lämmönjohtavuuden, korkean lämpötilan prosessointikyvyn ja kemiallisen stabiilisuuden kautta ja varmistaa GAN -epitaksiaalisen kasvuprosessin korkean tehokkuuden ja materiaalin laadun. Vetek Semiconductor on Kiinan ammattimainen Gan -valmistaja SIC EPI -alttiudesta, odotamme vilpittömästi innolla jatkamista.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

CVD TAC -päällystinsäiliö

CVD TAC -pinnoittimen kantaja on suunniteltu pääasiassa puolijohteiden valmistuksen epitaksiaaliseen prosessiin. CVD TAC -pinnoitteen kantaja-alan erittäin korkea sulamispiste, erinomainen korroosionkestävyys ja erinomainen lämpöstabiilisuus määrittävät tämän tuotteen välttämättömyyden puolijohde-epitaksiaalisessa prosessissa. Tervetuloa lisäkyselysi.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

TaC-pinnoitettu grafiittivastaanotin

VeTek Semiconductorin TaC Coated Graphite Susceptor käyttää kemiallista höyrypinnoitusmenetelmää (CVD) tantaalikarbidipinnoitteen valmistukseen grafiittiosien pinnalle. Tämä prosessi on kypsin ja sillä on parhaat pinnoitusominaisuudet. TaC Coated Graphite Susceptor voi pidentää grafiittikomponenttien käyttöikää, estää grafiittiepäpuhtauksien kulkeutumista ja varmistaa epitaksin laadun. Odotamme kyselyäsi.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

TAC -pinnoitteen alaosa

Vetek Semiconductor esittelee TAC -päällystimen alttiita poikkeuksellisella TAC -päällysteellään, tämä herkkuri tarjoaa monia etuja, jotka erottivat sen tavanomaisista ratkaisuista. Integroituna saumattomasti olemassa oleviin järjestelmiin, TAC -päällysttäjälle Vetek Semiconductor takaa yhteensopivuuden ja tehokkaan toiminnan. Sen luotettava suorituskyky ja korkealaatuinen TAC-päällyste tuottavat jatkuvasti poikkeuksellisia tuloksia sic-epitaksiprosesseissa. Olemme sitoutuneet tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan ja odotamme olevansa pitkäaikainen kumppani Kiinassa.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Ammattimaisena Tantaalikarbidipinnoite valmistajana ja toimittajana Kiinassa meillä on oma tehdas. Tarvitsetko räätälöityjä palveluita alueen erityistarpeiden tyydyttämiseksi tai haluat ostaa edistyneitä ja kestävää Tantaalikarbidipinnoite, joka on valmistettu Kiinassa, voit jättää meille viestin.

QR koodi

Meistä

Tuotteet

Ota meihin yhteyttä

Puhelin
+86-18069220752
Faksi
+86-579-87223657
Sähköposti
anny@veteksemi.com
Osoite
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiangin maakunta, Kiina

Web-valikko

Tuotehaku

Kieli

Poistu valikosta

Tantaalikarbidipinnoite

Tärkeimmät ominaisuudet:

Sovellukset:

Tantaalikarbidi (TaC) pinnoite mikroskooppisessa poikkileikkauksessa:

VeTek Semiconductor Tantaali Carbide Coating -pinnoitteen parametri:

TaC-pinnoitteen EDX-tiedot：

TaC-pinnoitteen kiderakennetiedot:

TaC-pinnoitusputki

Tac -päällyste varaosa

Gan EPI -vastaanottimessa

CVD TAC -päällystinsäiliö

TaC-pinnoitettu grafiittivastaanotin

TAC -pinnoitteen alaosa

Lähetä kysely

QR koodi

Meistä

Tuotteet

Ota meihin yhteyttä

Puhelin

Faksi

Sähköposti

Osoite