Tantaalikarbidipinnoite

VeTek semiconductor on johtava tantaalikarbidipinnoitemateriaalien valmistaja puolijohdeteollisuudelle. Päätuotevalikoimaamme kuuluvat CVD-tantaalikarbidipinnoiteosat, sintratut TaC-pinnoiteosat piikarbidikiteiden kasvattamiseen tai puolijohdeepitaksiprosessiin. Hyväksytty ISO9001, VeTek Semiconductorilla on hyvä laatu. VeTek Semiconductor on omistautunut innovaattoriksi tantaalikarbidipinnoiteteollisuudessa jatkuvan iteratiivisten teknologioiden tutkimuksen ja kehityksen kautta.

Päätuotteita ovatTaC-pinnoitettu ohjausrengas, CVD TaC -pinnoitettu kolmen terälehden ohjausrengas, Tantaalikarbidi TaC -pinnoitettu Halfmoon, CVD TaC -pinnoite planeetta SiC epitaksiaalinen suskeptori, Tantaalikarbidipinnoiterengas, Tantaalikarbidilla päällystetty huokoinen grafiitti, TaC Coating Rotation Susceptor, Tantaalikarbidirengas, TaC-pinnoitteen pyörityslevy, TaC-pinnoitettu kiekkosuskeptori, TaC-pinnoitettu deflektorirengas, CVD TaC -pinnoite, TaC-pinnoitettu istukkajne., puhtaus on alle 5 ppm, voi täyttää asiakkaiden vaatimukset.

TaC-pinnoitegrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla Chemical Vapor Deposition (CVD) -prosessilla. Edut näkyvät alla olevassa kuvassa:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantaalikarbidipinnoite (TaC) on saanut huomiota korkean sulamispisteensä, jopa 3880 °C:n sulamispisteensä, erinomaisen mekaanisen lujuutensa, kovuutensa ja lämpöiskujen kestävyytensä ansiosta, mikä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon yhdistepuolijohteiden epitaksiprosesseille, joilla on korkeammat lämpötilavaatimukset. kuten Aixtron MOCVD-järjestelmä ja LPE SiC epitaxy process.Sillä on myös laaja sovellus PVT-menetelmässä SiC-kidekasvatusprosessissa.

Tärkeimmät ominaisuudet:

●Lämpötilan vakaus

●Ultra korkea puhtaus

●Kestävyys H2:lle, NH3:lle, SiH4:lle, Si:lle

●Kestää lämpövarastoa

●Vahva tarttuvuus grafiittiin

●Muodollinen pinnoitteen peitto

● Koko jopa 750 mm halkaisija (ainoa valmistaja Kiinassa saavuttaa tämän koon)

Sovellukset:

●Kiekon kantaja

● Induktiivinen lämmitysvaskeptori

● Resistiivinen lämmityselementti

●Satelliittilevy

●Suihkupää

●Ohjausrengas

●LED Epi vastaanotin

●Ruiskutussuutin

●Peiterengas

● Lämpösuoja

Tantaalikarbidi (TaC) pinnoite mikroskooppisessa poikkileikkauksessa:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

VeTek Semiconductor Tantaali Carbide Coating -pinnoitteen parametri:

TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet
Tiheys	14,3 (g/cm³)
Ominaisemissiokyky	0.3
Lämpölaajenemiskerroin	6.3 10^-6/K
Kovuus (HK)	2000 HK
Resistanssi	1×10^-5Ohm*cm
Lämpöstabiilisuus	<2500 ℃
Grafiitin koko muuttuu	-10-20um
Pinnoitteen paksuus	≥20um tyypillinen arvo (35um±10um)

TaC-pinnoitteen EDX-tiedot：

EDX data of TaC coating

TaC-pinnoitteen kiderakennetiedot:

Elementti	Atomiprosentti
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Keskimäärin
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-pinnoiteistukka TaC Coating Planetary Disk
TaC päällystetty levy TaC-pinnoitteen pyörityslevy TaC-pinnoitteen vastaanotin CVD TaC pinnoite Kansi CVD TaC -pinnoiterengas TaC-pinnoituslevy

View as

Tantaalikarbidilla päällystetty huokoinen grafiitti

Tantaalikarbidilla päällystetty huokoinen grafiitti on välttämätön tuote puolijohteiden käsittelyprosessissa, erityisesti SIC-kiteiden kasvatusprosessissa. Jatkuvien T&K-investointien ja teknologiapäivitysten jälkeen VeTek Semiconductorin TaC Coated Porous Graphite -tuotteiden laatu on saanut runsaasti kiitosta eurooppalaisilta ja amerikkalaisilta asiakkailta. Tervetuloa jatkoneuvotteluun.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

CVD TaC -pinnoite planeetta SiC epitaksiaalinen suskeptori

CVD TaC -pinnoitettu planetaarinen SiC-epitaksiaalinen suskeptori on yksi MOCVD-planeettareaktorin ydinkomponenteista. CVD TaC -pinnoitteen ansiosta suuri kiekko kiertää ja pieni kiekko pyörii, ja vaakavirtausmalli laajennetaan monisiruisiin koneisiin, jotta siinä on sekä korkealaatuinen epitaksiaalisen aallonpituuden tasaisuuden hallinta että yksittäisen vian optimointi. -sirukoneet ja monisirukoneiden tuotantokustannusedut.VeTek Semiconductor voi tarjota asiakkaille erittäin räätälöityjä CVD TaC pinnoite planetaarinen SiC epitaksiaalinen suskeptori. Jos haluat myös tehdä Aixtronin kaltaisen planetaarisen MOCVD-uunin, tule meille!

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

TAC -päällystetty rengas

Kiinassa sijaitsevan TAC -päällystetyn rengastuotteen johtajana ja toimittajana Vetek Semiconductor on keskittynyt erilaisten TAC -pinnoitustuotteiden T & K -tuotantoon ja tuotantoon. TAC -päällystetuotteiden pääasiakkaina eurooppalaiset ja amerikkalaiset valmistajat ovat kiitosta pinnoitustuotteistamme. Tervetuloa jatko -kuulemiseen.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Gan Epitaxy Undertaker

Vetek Semiconductor on kiinalainen yritys, joka on maailmanluokan valmistaja ja toimittaja Gan Epitaxy -herkästä. Olemme työskennelleet puolijohdeteollisuudessa, kuten piikarbidipinnoitteet ja GAN -epitaksian alttiina pitkään. Voimme tarjota sinulle erinomaisia tuotteita ja suotuisia hintoja. Vetek Semiconductor odottaa saavansa pitkäaikaisen kumppanisi.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

TAC -päällystetty kiekko -altis

Vetek Semiconductor TAC -päällysteinen kiekko -herkkailija on grafiittialusta, joka on päällystetty taltalumikarbidilla piikarbidin epitaksiaalikasvulle kiekon laadun ja suorituskyvyn parantamiseksi. Vetek on valittu edistyneestä pinnoitusteknologiasta ja kestävistä ratkaisuistaan erinomaisten sic -epitaksiotulosten ja laajennetun herkkyyden, tervetulleeksi lisätutkimuksesi.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

TAC -pinnoitusopas renkaat

Veek Semiconductor TAC -päällysteisen opasrenkaiden johtavana TAC -päällystysoppaantuotteiden valmistajana on tärkeitä komponentteja MOCVD -laitteissa, varmistaen tarkan ja vakaan kaasun synnytyksen epitaksiaalisen kasvun aikana ja ovat välttämätöntä materiaalia puolijohde -epitaksiaalisen kasvun aikana. Tervetuloa kuulemaan meitä.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Ammattimaisena Tantaalikarbidipinnoite valmistajana ja toimittajana Kiinassa meillä on oma tehdas. Tarvitsetko räätälöityjä palveluita alueen erityistarpeiden tyydyttämiseksi tai haluat ostaa edistyneitä ja kestävää Tantaalikarbidipinnoite, joka on valmistettu Kiinassa, voit jättää meille viestin.

QR koodi

Meistä

Tuotteet

Ota meihin yhteyttä

Puhelin
+86-18069220752
Faksi
+86-579-87223657
Sähköposti
anny@veteksemi.com
Osoite
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiangin maakunta, Kiina

Web-valikko

Tuotehaku

Kieli

Poistu valikosta

Tantaalikarbidipinnoite

Tärkeimmät ominaisuudet:

Sovellukset:

Tantaalikarbidi (TaC) pinnoite mikroskooppisessa poikkileikkauksessa:

VeTek Semiconductor Tantaali Carbide Coating -pinnoitteen parametri:

TaC-pinnoitteen EDX-tiedot：

TaC-pinnoitteen kiderakennetiedot:

Tantaalikarbidilla päällystetty huokoinen grafiitti

CVD TaC -pinnoite planeetta SiC epitaksiaalinen suskeptori

TAC -päällystetty rengas

Gan Epitaxy Undertaker

TAC -päällystetty kiekko -altis

TAC -pinnoitusopas renkaat

Lähetä kysely

QR koodi

Meistä

Tuotteet

Ota meihin yhteyttä

Puhelin

Faksi

Sähköposti

Osoite