VeTek Semiconductor tarjoaa kattavan valikoiman puolijohdekeramiikkaa tehostaakseen käsittelyä. Piikarbidipinnoitteemme ovat tunnettuja tiheydestä, korkeiden lämpötilojen kestävyydestä ja kemikaalinkestävyydestä, joten ne sopivat ihanteellisesti puolijohteiden valmistuksen eri vaiheisiin. Näitä pinnoitteita käytetään puolijohdekiekkojen käsittelyssä ja valmistuksessa tehokkuuden ja luotettavuuden varmistamiseksi.
Lisäksi tarjoamme muuta puolijohdekeramiikkaa:
Kvartsi: Kvartsilla on erinomainen korkeiden lämpötilojen stabiilius, kemiallinen inertisyys ja optinen läpinäkyvyys. Sillä on laaja käyttökohde puolijohteiden valmistuksessa, mukaan lukien fotolitografia, kemiallinen höyrypinnoitus (CVD) ja fyysinen höyrypinnoitus (PVD). Kvartsisubstraateilla, -putkilla ja -ikkunoilla on keskeinen rooli puolijohteiden valmistusprosessissa.
Alumiinioksidikeramiikka: Alumiinioksidikeramiikka tarjoaa erinomaiset eristysominaisuudet, stabiilisuuden korkeissa lämpötiloissa ja kemiallisen inerttiyden. Niitä käytetään yleisesti puolijohdelaitteessa komponenteille, kuten eristimille, tiivisteille, pakkauksille ja substraateille. Alumiinioksidikeramiikan korkea eristys ja korkean lämpötilan kestävyys tekevät niistä tärkeitä materiaaleja puolijohteiden valmistuksessa.
Boorinitridikeramiikka: Boorinitridikeramiikalla on erinomainen lämmönjohtavuus, korkea kovuus ja kemiallinen inertisyys. Niitä käytetään laajasti korkeissa lämpötiloissa puolijohteiden valmistuksessa, kuten hehkutuksessa, lämpökäsittelyssä ja pakkaamisessa. Boorinitridikeramiikkaa käytetään yleisesti kalusteiden, lämmityselementtien, jäähdytyslevyjen ja alustojen valmistukseen.
Zirkonia: Zirkonia on erittäin luja, kovuus ja lämmönkestävä keraaminen materiaali. Sillä on poikkeuksellinen kemiallinen stabiilisuus ja hyvät eristysominaisuudet. Puolijohteiden valmistuksessa zirkoniumoksidia käytetään usein eristyskomponenttien, ikkunoiden ja antureiden valmistukseen korkeissa lämpötiloissa. Erinomaisen lämmönjohtavuutensa ja pienen dielektrisen häviönsä ansiosta zirkoniumoksidia käytetään laajalti myös RF- ja mikroaaltouunilaitteissa.
Piinitridi: Piinitridi on korkean lämpötilan ja korroosionkestävä keraaminen materiaali, jolla on erinomainen mekaaninen lujuus ja lämmönjohtavuus. Sitä käytetään yleisesti puolijohteiden valmistuksessa kriittisten komponenttien, kuten ohutkalvokapseloinnin, eristyskerrosten, antureiden ja välikkeiden valmistuksessa. Piinitridillä on erinomaiset eristysominaisuudet ja kemiallinen stabiilisuus, mikä mahdollistaa vakaan toiminnan korkeissa lämpötiloissa ja ankarissa ympäristöissä. Lisäksi sen alhainen dielektrisyysvakio ja alhainen dielektrisyyshäviö tekevät siitä ihanteellisen valinnan suurtaajuuselektroniikkalaitteisiin ja mikroelektroniikkapakkauksiin.
VeTek Semiconductorilla olemme sitoutuneet toimittamaan korkealaatuista muuta puolijohdekeramiikkaa, joka täyttää alan vaativat vaatimukset.
Tärkeimmät ominaisuudet
● Kattava materiaalivalikoima: kvartsi, alumiinioksidi (Al2O3), boorinitridi (BN), zirkoniumoksidi (ZrO2) ja piinitridi (Si3N4).
● Erittäin puhdas ja alhainen kontaminaatio sopii puolijohdetason prosessiympäristöihin.
● Erinomainen kestävyys korkeissa lämpötiloissa, kemiallinen inerttiys ja räätälöidyt lämpö-/sähköominaisuudet jokaiselle materiaalille.
● Tarkkuustyöstömahdollisuus veneille, putkille, ikkunoille, suojuksille, eristeille, kalusteille, antureille ja mukautetuille osille.
● Todistetut sovellukset CVD/PVD-, fotolitografia-, diffuusio-, hehkutus-, pakkaus- ja RF-/mikroaalto-laitteissa.
● ISO9001-sertifioitu laadunvalvonta- ja räätälöintituki vastaamaan tiettyjä laitteita ja prosessivaatimuksia.
Sovellukset
Vastatakseen puolijohdeprosessien erilaisiin tarpeisiin VeTek tarjoaa kohdistettuja muita puolijohdekeraamisia tuotteita. Seuraavassa taulukossa ne luokitellaan tärkeimpien materiaalien ja käyttöalueiden mukaan:
| Materiaali / Kenttä |
Tyypillisiä tuotteita |
Sovelluksen kuvaus |
| Kvartsi |
Kvartsikiekkoveneitä, läpinäkymättömät kvartsisuojat/ikkunaluukut, kansipäät, upokkaat, putket, ikkunat |
Stabiliteetti korkeissa lämpötiloissa, kemiallinen inertti ja optinen läpinäkyvyys fotolitografiaan, CVD:hen, PVD:hen, diffuusioon, hapetukseen, hehkutukseen ja MOCVD-kammion suojaukseen. |
| Alumiinioksidi (Al2O3) |
Eristeet, tiivisteet, pakkausosat, alustat |
Erinomainen eristys, stabiilisuus korkeissa lämpötiloissa ja kemiallinen inertiteetti puolijohdelaitteiden komponenteille, jotka vaativat sähköeristystä ja lämpövastusta. |
| Boorinitridi (BN) |
Valaisimet, lämmityselementit, jäähdytyslevyt, alustat |
Erinomainen lämmönjohtavuus, korkea kovuus ja kemiallinen inertisyys hehkutukseen, lämpökäsittelyyn ja pakkaamiseen korkean lämpötilan puolijohdeprosesseissa. |
| Zirkoniumoksidi (ZrO₂) |
Eristyskomponentit, ikkunat, anturit |
Korkea lujuus, kovuus ja lämmönkestävyys hyvällä eristyksellä; käytetään korkeissa lämpötiloissa ja RF/mikroaalto-laitteissa alhaisen dielektrisen häviön vuoksi. |
| piinitridi (Si3N4) |
Ohutkalvokapselointi, eristyskerrokset, anturit, välikkeet |
Korkean lämpötilan ja korroosionkestävyys erinomaisella mekaanisella lujuudella; ihanteellinen suurtaajuuslaitteisiin ja mikroelektroniikkapakkauksiin (pieni dielektrisyysvakio/häviö). |
Katso tarkempia prosessien sovitusratkaisuja kohdastaPuolijohdekvartsiliittyviä sivuja.
Ammattimaisena Advance Ceramics -valmistajana ja -toimittajana Kiinassa meillä on oma tehdas. Tarvitsetpa räätälöityjä palveluita vastaamaan alueesi erityistarpeita tai haluat ostaa kehittynyttä ja kestävää muuta Kiinassa valmistettua puolijohdekeramiikkaa, voitjätä meille viesti.
