Tuotteet

Tantaalikarbidipinnoite

VeTek semiconductor on johtava tantaalikarbidipinnoitemateriaalien valmistaja puolijohdeteollisuudelle. Päätuotevalikoimaamme kuuluvat CVD-tantaalikarbidipinnoiteosat, sintratut TaC-pinnoiteosat piikarbidikiteiden kasvattamiseen tai puolijohdeepitaksiprosessiin. Hyväksytty ISO9001, VeTek Semiconductorilla on hyvä laatu. VeTek Semiconductor on omistautunut innovaattoriksi tantaalikarbidipinnoiteteollisuudessa jatkuvan iteratiivisten teknologioiden tutkimuksen ja kehityksen kautta.


Päätuotteita ovatTaC-pinnoitettu ohjausrengas, CVD TaC -pinnoitettu kolmen terälehden ohjausrengas, Tantaalikarbidi TaC -pinnoitettu Halfmoon, CVD TaC -pinnoite planeetta SiC epitaksiaalinen suskeptori, Tantaalikarbidipinnoiterengas, Tantaalikarbidilla päällystetty huokoinen grafiitti, TaC Coating Rotation Susceptor, Tantaalikarbidirengas, TaC-pinnoitteen pyörityslevy, TaC-pinnoitettu kiekkosuskeptori, TaC-pinnoitettu deflektorirengas, CVD TaC -pinnoite, TaC-pinnoitettu istukkajne., puhtaus on alle 5 ppm, voi täyttää asiakkaiden vaatimukset.


TaC-pinnoitegrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla Chemical Vapor Deposition (CVD) -prosessilla. Edut näkyvät alla olevassa kuvassa:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantaalikarbidipinnoite (TaC) on saanut huomiota korkean sulamispisteensä, jopa 3880 °C:n sulamispisteensä, erinomaisen mekaanisen lujuutensa, kovuutensa ja lämpöiskujen kestävyytensä ansiosta, mikä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon yhdistepuolijohteiden epitaksiprosesseille, joilla on korkeammat lämpötilavaatimukset. kuten Aixtron MOCVD-järjestelmä ja LPE SiC epitaxy process.Sillä on myös laaja sovellus PVT-menetelmässä SiC-kidekasvatusprosessissa.


Tärkeimmät ominaisuudet:

 ●Lämpötilan vakaus

 ●Ultra korkea puhtaus

 ●Kestävyys H2:lle, NH3:lle, SiH4:lle, Si:lle

 ●Kestää lämpövarastoa

 ●Vahva tarttuvuus grafiittiin

 ●Muodollinen pinnoitteen peitto

 Koko jopa 750 mm halkaisija (ainoa valmistaja Kiinassa saavuttaa tämän koon)


Sovellukset:

 ●Kiekon kantaja

 ● Induktiivinen lämmitysvaskeptori

 ● Resistiivinen lämmityselementti

 ●Satelliittilevy

 ●Suihkupää

 ●Ohjausrengas

 ●LED Epi vastaanotin

 ●Ruiskutussuutin

 ●Peiterengas

 ● Lämpösuoja


Tantaalikarbidi (TaC) pinnoite mikroskooppisessa poikkileikkauksessa:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


VeTek Semiconductor Tantaali Carbide Coating -pinnoitteen parametri:

TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet
Tiheys 14,3 (g/cm³)
Ominaisemissiokyky 0.3
Lämpölaajenemiskerroin 6.3 10-6/K
Kovuus (HK) 2000 HK
Resistanssi 1×10-5Ohm*cm
Lämpöstabiilisuus <2500 ℃
Grafiitin koko muuttuu -10-20um
Pinnoitteen paksuus ≥20um tyypillinen arvo (35um±10um)


TaC-pinnoitteen EDX-tiedot

EDX data of TaC coating


TaC-pinnoitteen kiderakennetiedot:

Elementti Atomiprosentti
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Keskimäärin
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TAC -pinnoitteen kiertolevy

TAC -pinnoitteen kiertolevy

Vetek Semiconductorin tuottama TAC-päällystyslevy tarjoaa erinomaisen TAC-pinnoitteen, ja sen poikkeuksellisella TAC-pinnoitteellaan TAC-päällystyslevyllä on huomattavia korkean lämpötilan vastustuskestävyyttä ja kemiallista inerttiä, jotka erottuvat perinteisistä ratkaisuista. Olemme sitoutuneet tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyisissä hinnoissa ja odottavat olevani pitkäaikainen kumppani Kiinassa.
TAC -pinnoituslevy

TAC -pinnoituslevy

Tarkkuudella suunniteltu ja täydellisyyteen suunniteltu Vetek Semiconductorin TAC -päällystyslevy on räätälöity erityisesti erilaisiin sovelluksiin piikarbidissa (sic) yhden kidekasvuprosesseissa. TAC -päällystyslevyn tarkkaa mitat ja vankan rakentamisen helpottavat olemassa olevia järjestelmiä, varmistaen saumattoman yhteensopivuuden ja tehokkaan toiminnan. Sen luotettava suorituskyky ja korkealaatuinen päällyste edistävät johdonmukaisia ​​ja yhtenäisiä tuloksia sic Crystal Growth -sovelluksissa. Olemme sitoutuneet tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan ja odotamme olevansa pitkäaikainen kumppani Kiinassa.
CVD TAC -päällystyskansi

CVD TAC -päällystyskansi

Vetek Semiconductorin toimittama CVD TAC -pinnoitteen kansi on erittäin erikoistunut komponentti, joka on suunniteltu erityisesti vaativiin sovelluksiin. CVD TAC -pinnoitteemme edistyneiden ominaisuuksiensa ja poikkeuksellisen suorituskyvyn avulla tarjoaa useita keskeisiä etuja. CVD TAC -päällystyskansi tarjoaa tarvittavan menestyksen kannalta tarvittavan suojan ja suorituskyvyn. Odotamme innolla tutkimusta mahdollisesta yhteistyöstä kanssasi!
TAC -päällyste planeetta -alttiu

TAC -päällyste planeetta -alttiu

TAC -päällystysplaneetta -alttiu on poikkeuksellinen tuote Aixtron -epitaksilaitteille. Vetek Semiconductorin TAC-pinnoite tarjoaa erinomaisen korkean lämpötilan resistenssin ja kemiallisen inerttisyyden. Tämä ainutlaatuinen yhdistelmä varmistaa luotettavan suorituskyvyn ja pitkän palvelun, jopa vaativissa ympäristöissä. Vetek on sitoutunut tarjoamaan korkealaatuisia tuotteita ja toimimaan pitkäaikaisena kumppanina Kiinan markkinoilla kilpailukykyisen hinnoittelun kanssa.
TAC -päällyste jalustan tukilevy

TAC -päällyste jalustan tukilevy

TAC -pinnoite kestää korkean lämpötilan 2200 ℃. Vetek -puolijohde tarjoaa korkean puhtauden TAC -pinnoitteen, jonka epäpuhtaudet ovat alle 5ppm Kiinassa. TAC -päällyste jalustan tukilevy pystyy kestämään ammoniakkivetyä, argoniinia epitaksiaalilaitteen reaktiokammiossa. Se parantaa tuotteen käyttöiän käyttöä. Tarjoat vaatimukset, tarjoamme räätälöinnin.
Tac -päällystys Chuck

Tac -päällystys Chuck

Vetek Semiconductorin TAC-päällyste Chuckissa on korkealaatuinen pinnoituspinta, joka tunnetaan erinomaisesta korkean lämpötilan vastustuskyvystä ja kemiallisesta inerttistään, etenkin piikarbidi (sic) epitaksi (EPI) -prosesseissa. Poikkeuksellisilla ominaisuuksillaan ja erinomaisella suorituskyvyllä TAC-päällysteemme Chuck tarjoaa useita keskeisiä etuja. Olemme sitoutuneet tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan ja odotamme olevansa pitkäaikainen kumppani Kiinassa.
Ammattimaisena Tantaalikarbidipinnoite valmistajana ja toimittajana Kiinassa meillä on oma tehdas. Tarvitsetko räätälöityjä palveluita alueen erityistarpeiden tyydyttämiseksi tai haluat ostaa edistyneitä ja kestävää Tantaalikarbidipinnoite, joka on valmistettu Kiinassa, voit jättää meille viestin.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept