Teollisuusuutiset

Erittäin puhtaat materiaalit ovat välttämättömiä puolijohteiden valmistuksessa. Näihin prosesseihin liittyy äärimmäistä lämpöä ja syövyttäviä kemikaaleja. CVD-SiC (Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide) tarjoaa tarvittavan vakauden ja lujuuden. Se on nyt ensisijainen valinta edistyneiden laitteiden osille korkean puhtautensa ja tiheytensä vuoksi.

Silicon Carbide (SiC) -puolijohteiden maailmassa suurin osa valokeilasta loistaa 8 tuuman epitaksiaalisissa reaktoreissa tai kiekkojen kiillotuksen monimutkaisissa tilanteissa. Kuitenkin, jos jäljitämme toimitusketjun aivan alkuun - fyysisen höyryn kuljetuksen (PVT) -uunin sisällä, perustavanlaatuinen "materiaalien vallankumous" on hiljaa tapahtumassa.

Nopean MEMS-evoluution (Micro-Electromechanical Systems) aikakaudella oikean pietsosähköisen materiaalin valinta on laitteen suorituskyvyn kannalta ratkaiseva ratkaisu. PZT (Lead Zirconate Titanate) -ohutkalvokiekot ovat nousseet ensisijaisiksi vaihtoehdoiksi vaihtoehtoihin, kuten AlN (alumiininitridi), tarjoavat erinomaisen sähkömekaanisen kytkennän huippuluokan antureille ja toimilaitteille.

Puolijohteiden valmistuksen kehittyessä edelleen kohti edistyneitä prosessisolmuja, korkeampaa integraatiota ja monimutkaisia ​​arkkitehtuureja, kiekkojen tuoton ratkaisevat tekijät muuttuvat hienoisesti. Räätälöityjen puolijohdekiekkojen valmistuksessa tuoton läpimurtokohta ei ole enää pelkästään ydinprosesseissa, kuten litografiassa tai etsauksessa; erittäin puhtaat suskeptorit ovat yhä useammin taustalla oleva muuttuja, joka vaikuttaa prosessin vakauteen ja johdonmukaisuuteen.

Laajakaistaisten puolijohteiden (WBG) maailmassa, jos edistynyt valmistusprosessi on "sielu", grafiittisuskeptori on "selkäranka" ja sen pintapinnoite on kriittinen "iho".

Tehoelektroniikan suurilla panoksilla piikarbidi (SiC) ja galliumnitridi (GaN) ovat vallankumouksen edelläkävijöitä – sähköajoneuvoista (EV) uusiutuvan energian infrastruktuuriin. Näiden materiaalien legendaarinen kovuus ja kemiallinen inertiteetti muodostavat kuitenkin valtavan pullonkaulan valmistuksessa.