Piinitridi

1. Erinomainen kemiallinen vakaus

Piilinitridikeramiikassa on erinomainen kemiallinen stabiilisuus, ja se kestää erilaisia ​​vahvoja happoja, emäksiä ja syövyttäviä kaasuja. Puolijohteiden valmistusprosessissa on usein käsiteltävä syövyttäviä kemikaaleja, piinitridikeramiikka voi tarjota pitkäaikaisen vakaan suorituskyvyn takuun.

2. erinomaiset mekaaniset ominaisuudet

Piilinitridikeramiikassa on suuri kovuus, erinomainen puristuslujuus ja kulumiskestävyys, joka kestää mekaanista jännitystä ja pinnan kulumista, ei helppoa muodonmuutosta tai repeämää. Tämä mekaaninen ominaisuus tekee siitä erittäin sopivan materiaalina puolijohdelaitteiden rakenteellisille ja prosessiosille.

3. Korkean lämpötilan vakaus

Piilinitridikeramiikka voi ylläpitää vakautta korkean lämpötilan ympäristöissä, joita ei ole helppo pehmentää tai sulattaa, ja se kestää korkean lämpötilan käsittelyä ja käsittelyä puolijohteiden valmistusprosessissa. Tämä mahdollistaa sen käytön korkean lämpötilan prosessilaitteiden avainkomponenttien, kuten gripperien, reaktiokammion komponenttien ja niin edelleen valmistuksessa.

4. Erinomaiset eristysominaisuudet

Eristysominaisuudet ovat kriittisiä puolijohdelaitteiden valmistuksessa. Piilinitridikeramiikalla on hyvät eristysominaisuudet, jotka voivat tehokkaasti eristää ja suojata piirikomponentteja virran vuotoilta tai sähkömagneettisilta häiriöiltä, ​​mikä auttaa parantamaan laitteen vakautta ja luotettavuutta.

5. Lämmönjohtavuus ja lämmönjohtavuus

Piilinitridikeramiikassa on korkea lämmönjohtavuus, se voi tehokkaasti johtaa ja hajottaa laitteen tuottaman lämmön, mikä auttaa ylläpitämään laitteen lämpötilan stabiilisuutta käyttöprosessissa. Tämä on kriittistä puolijohdelaitteiden korkean suorituskyvyn toiminnalle.

1. Sähköstaattiset istukka- ja etsauskammion komponentit

Piilinitridikeramiikkaa käytetään usein materiaaleina sähköstaattisiin istukkeisiin ja etsauskammiokomponentteihin puolijohteiden valmistuksessa niiden erinomaisen kemiallisen stabiilisuuden ja korkean lämpötilankestävyyden vuoksi. Kankojen tai substraattien kiinnittämiseen ja vakauttamiseen käytetään sähköstaattisia istukkaita, kun taas syövytyskammion komponentteja käytetään kestämään syövyttäviä kaasuja ja korkean lämpötilan ympäristöjä.

2. kaasun jakautumislevyt ja heijastimet

Piilitridikeramiikkaa käytetään myös puolijohdelaitteiden valmistuksessa kaasun jakelulevyillä ja heijastimilla. Kaasun jakautumislevyjä käytetään reaktiivisten tai suojakaasujen tasaisesti jakautumiseen reaktiokammioon, kun taas heijastimia käytetään reaktiokammion valon jakautumisen ja heijastuksen optimoimiseksi reaktion tehokkuuden ja tasaisuuden parantamiseksi.

3. Pidit ja lämpökomponentit

Piilitridikeramiikkaa käytetään usein haltijoina ja lämmönhallintakomponentteina puolijohteiden valmistuslaitteissa. Näillä komponenteilla on oltava hyvä mekaaninen lujuus, kulutuskestävyys ja lämmönjohtavuus vakaan laitteen toiminnan ja laitteen käsittelyn tarkkuuden varmistamiseksi.

4. kemiallinen mekaaninen kiillotus (CMP)

Pii -nitridikeraamiaa käytetään laajasti tyynymateriaalina kemiallisen mekaanisen kiillotusprosessin (CMP) prosessissa. Sillä on erinomainen tasaisuus ja kulumiskestävyys, ja se voi tarjota vakaata tukea kiillotusprosessin aikana puolijohdekiekkojen pinnan tasaisuuden ja tarkkuuden varmistamiseksi.