Tantaalikarbidipinnoite

VeTek semiconductor on johtava tantaalikarbidipinnoitemateriaalien valmistaja puolijohdeteollisuudelle. Päätuotevalikoimaamme kuuluvat CVD-tantaalikarbidipinnoiteosat, sintratut TaC-pinnoiteosat piikarbidikiteiden kasvattamiseen tai puolijohdeepitaksiprosessiin. Hyväksytty ISO9001, VeTek Semiconductorilla on hyvä laatu. VeTek Semiconductor on omistautunut innovaattoriksi tantaalikarbidipinnoiteteollisuudessa jatkuvan iteratiivisten teknologioiden tutkimuksen ja kehityksen kautta.

Päätuotteita ovatTaC-pinnoitettu ohjausrengas, CVD TaC -pinnoitettu kolmen terälehden ohjausrengas, Tantaalikarbidi TaC -pinnoitettu Halfmoon, CVD TaC -pinnoite planeetta SiC epitaksiaalinen suskeptori, Tantaalikarbidipinnoiterengas, Tantaalikarbidilla päällystetty huokoinen grafiitti, TaC Coating Rotation Susceptor, Tantaalikarbidirengas, TaC-pinnoitteen pyörityslevy, TaC-pinnoitettu kiekkosuskeptori, TaC-pinnoitettu deflektorirengas, CVD TaC -pinnoite, TaC-pinnoitettu istukkajne., puhtaus on alle 5 ppm, voi täyttää asiakkaiden vaatimukset.

TaC-pinnoitegrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla Chemical Vapor Deposition (CVD) -prosessilla. Edut näkyvät alla olevassa kuvassa:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantaalikarbidipinnoite (TaC) on saanut huomiota korkean sulamispisteensä, jopa 3880 °C:n sulamispisteensä, erinomaisen mekaanisen lujuutensa, kovuutensa ja lämpöiskujen kestävyytensä ansiosta, mikä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon yhdistepuolijohteiden epitaksiprosesseille, joilla on korkeammat lämpötilavaatimukset. kuten Aixtron MOCVD-järjestelmä ja LPE SiC epitaxy process.Sillä on myös laaja sovellus PVT-menetelmässä SiC-kidekasvatusprosessissa.

Tärkeimmät ominaisuudet:

●Lämpötilan vakaus

●Ultra korkea puhtaus

●Kestävyys H2:lle, NH3:lle, SiH4:lle, Si:lle

●Kestää lämpövarastoa

●Vahva tarttuvuus grafiittiin

●Muodollinen pinnoitteen peitto

● Koko jopa 750 mm halkaisija (ainoa valmistaja Kiinassa saavuttaa tämän koon)

Sovellukset:

●Kiekon kantaja

● Induktiivinen lämmitysvaskeptori

● Resistiivinen lämmityselementti

●Satelliittilevy

●Suihkupää

●Ohjausrengas

●LED Epi vastaanotin

●Ruiskutussuutin

●Peiterengas

● Lämpösuoja

Tantaalikarbidi (TaC) pinnoite mikroskooppisessa poikkileikkauksessa:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

VeTek Semiconductor Tantaali Carbide Coating -pinnoitteen parametri:

TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet
Tiheys	14,3 (g/cm³)
Ominaisemissiokyky	0.3
Lämpölaajenemiskerroin	6.3 10^-6/K
Kovuus (HK)	2000 HK
Resistanssi	1×10^-5Ohm*cm
Lämpöstabiilisuus	<2500 ℃
Grafiitin koko muuttuu	-10-20um
Pinnoitteen paksuus	≥20um tyypillinen arvo (35um±10um)

TaC-pinnoitteen EDX-tiedot：

EDX data of TaC coating

TaC-pinnoitteen kiderakennetiedot:

Elementti	Atomiprosentti
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Keskimäärin
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-pinnoiteistukka TaC Coating Planetary Disk
TaC päällystetty levy TaC-pinnoitteen pyörityslevy TaC-pinnoitteen vastaanotin CVD TaC pinnoite Kansi CVD TaC -pinnoiterengas TaC-pinnoituslevy

View as

CVD TaC -pinnoitettu grafiittirengas

Veteksemiconin CVD TaC -pinnoitettu grafiittirengas on suunniteltu täyttämään puolijohdekiekkojen käsittelyn äärimmäiset vaatimukset. Hyödyntämällä Chemical Vapor Deposition (CVD) -tekniikkaa, tiheä ja tasainen tantaalikarbidi (TaC) pinnoite levitetään erittäin puhtaille grafiittisubstraateille, mikä saavuttaa poikkeuksellisen kovuuden, kulutuskestävyyden ja kemiallisen inerttiyden. Puolijohteiden valmistuksessa CVD TaC -pinnoitettua grafiittirengasta käytetään laajalti MOCVD-, etsaus-, diffuusio- ja epitaksiaalisissa kasvukammioissa, ja se toimii keskeisenä rakenne- tai tiivistyskomponenttina kiekkokannattimille, suskeptoreille ja suojakokoonpanoille. Odotan innolla lisäkonsultaatiotasi.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Huokoinen TaC-pinnoitettu grafiittirengas

VETEKin valmistamassa huokoisessa TaC-pinnoitetussa grafiittirenkaassa käytetään kevyttä huokoista grafiittisubstraattia ja se on päällystetty erittäin puhtaalla tantaalikarbidipinnoitteella, joka kestää erinomaisesti korkeita lämpötiloja, syövyttäviä kaasuja ja plasmaeroosiota.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

TAC -päällystetty grafiitti -opasrengas

TAC-päällystetyt grafiitti-opasrenkaamme ovat tarkkuusydinkomponentteja puolijohdekiekkojen valmistukseen. Niissä on korkeapuhtausgrafiittialusta, joka on päällystetty kulutuskestävällä ja kemiallisesti inertillä tantaalikarbidilla (TAC). Ne, jotka on suunniteltu vaativiin prosesseihin, kuten epitaksiaaliseen laskeutumiseen ja plasman etsaukseen, ne varmistavat tarkan kiekkojen kohdistuksen ja stabiilisuuden, tehokkaasti kontaminaation ja pidentävät merkittävästi komponenttien käyttöikää. Vetkekemicon tarjoaa räätälöintipalveluita, jotka vastaavat laitteitasi ja prosessivaatimuksiasi täydellisesti.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

TAC -päällystetty rengas sic -yhdisteen PVT -kasvulle

Yhtenä Kiinan johtavista TAC-päällystystuotteiden toimittajista Vetek Semiconductor pystyy tarjoamaan asiakkaille korkealaatuisia TAC-päällystettä räätälöityjä osia. TAC -päällystetty rengas SIC: n yksittäisen kiteen PVT -kasvulle on yksi Vetek Semiconductorin merkittävimmistä ja kypsimmistä tuotteista. Sillä on tärkeä rooli sic-kristalliprosessin PVT-kasvussa ja se voi auttaa asiakkaita kasvamaan korkealaatuisia sic-kiteitä. Innolla tiedusteluasi.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

CVD TAC -päällysteinen kolmipektion opasrengas

Vetek Semiconductor on kokenut monien vuosien teknologisen kehityksen ja hallinnut CVD TAC -pinnoitteen johtavan prosessitekniikan. CVD TAC -päällysteinen kolmipeijasengas on yksi Vetek Semiconductorin kypsimmistä CVD-TAC-pinnoitustuotteista ja on tärkeä komponentti sic-kiteiden valmistukseen PVT-menetelmällä. Veek -puolijohteen avulla uskon, että sic -kristallintuotantosi on tasaisempi ja tehokkaampi.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Tantaalikarbidipäällystysrengas

Vetek Semiconductor Tantal -karbidipinnoiteasormus on välttämätön komponentti puolijohdeteollisuudessa, erityisesti sic -kiekkojen etsauksessa. Sen grafiittipohjan ja TAC-pinnoitteen yhdistelmä varmistaa erinomaisen suorituskyvyn korkean lämpötilan ja kemiallisesti aggressiivisissa ympäristöissä. Parannetulla lämpöstabiilisuudellaan, korroosionkestävyydellä ja mekaanisella lujuudellaan tantaalikarbidilla päällystetty rengas auttaa puolijohdevalmistajia saavuttamaan tarkkuuden, luotettavuuden ja korkealaatuiset tulokset tuotantoprosesseissaan.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Ammattimaisena Tantaalikarbidipinnoite valmistajana ja toimittajana Kiinassa meillä on oma tehdas. Tarvitsetko räätälöityjä palveluita alueen erityistarpeiden tyydyttämiseksi tai haluat ostaa edistyneitä ja kestävää Tantaalikarbidipinnoite, joka on valmistettu Kiinassa, voit jättää meille viestin.

QR koodi

Meistä

Tuotteet

Ota meihin yhteyttä

Puhelin
+86-15988690905
Faksi
+86-579-87223657
Sähköposti
anny@veteksemi.com
Osoite
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiangin maakunta, Kiina

Web-valikko

Tuotehaku

Kieli

Poistu valikosta

Tantaalikarbidipinnoite

Tärkeimmät ominaisuudet:

Sovellukset:

Tantaalikarbidi (TaC) pinnoite mikroskooppisessa poikkileikkauksessa:

VeTek Semiconductor Tantaali Carbide Coating -pinnoitteen parametri:

TaC-pinnoitteen EDX-tiedot：

TaC-pinnoitteen kiderakennetiedot:

CVD TaC -pinnoitettu grafiittirengas

Huokoinen TaC-pinnoitettu grafiittirengas

TAC -päällystetty grafiitti -opasrengas

TAC -päällystetty rengas sic -yhdisteen PVT -kasvulle

CVD TAC -päällysteinen kolmipektion opasrengas

Tantaalikarbidipäällystysrengas

Lähetä kysely

QR koodi

Meistä

Tuotteet

Ota meihin yhteyttä

Puhelin

Faksi

Sähköposti

Osoite