VeTek semiconductor on johtava tantaalikarbidipinnoitemateriaalien valmistaja puolijohdeteollisuudelle. Päätuotevalikoimaamme kuuluvat CVD-tantaalikarbidipinnoiteosat, sintratut TaC-pinnoiteosat piikarbidikiteiden kasvattamiseen tai puolijohdeepitaksiprosessiin. Hyväksytty ISO9001, VeTek Semiconductorilla on hyvä laatu. VeTek Semiconductor on omistautunut innovaattoriksi tantaalikarbidipinnoiteteollisuudessa jatkuvan iteratiivisten teknologioiden tutkimuksen ja kehityksen kautta.
Päätuotteita ovatTaC-pinnoitettu ohjausrengas, CVD TaC -pinnoitettu kolmen terälehden ohjausrengas, Tantaalikarbidi TaC -pinnoitettu Halfmoon, CVD TaC -pinnoite planeetta SiC epitaksiaalinen suskeptori, Tantaalikarbidipinnoiterengas, Tantaalikarbidilla päällystetty huokoinen grafiitti, TaC Coating Rotation Susceptor, Tantaalikarbidirengas, TaC-pinnoitteen pyörityslevy, TaC-pinnoitettu kiekkosuskeptori, TaC-pinnoitettu deflektorirengas, CVD TaC -pinnoite, TaC-pinnoitettu istukkajne., puhtaus on alle 5 ppm, voi täyttää asiakkaiden vaatimukset.
TaC-pinnoitegrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla Chemical Vapor Deposition (CVD) -prosessilla. Edut näkyvät alla olevassa kuvassa:
Tantaalikarbidipinnoite (TaC) on saanut huomiota korkean sulamispisteensä, jopa 3880 °C:n sulamispisteensä, erinomaisen mekaanisen lujuutensa, kovuutensa ja lämpöiskujen kestävyytensä ansiosta, mikä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon yhdistepuolijohteiden epitaksiprosesseille, joilla on korkeammat lämpötilavaatimukset. kuten Aixtron MOCVD-järjestelmä ja LPE SiC epitaxy process.Sillä on myös laaja sovellus PVT-menetelmässä SiC-kidekasvatusprosessissa.
Tärkeimmät ominaisuudet:
●Lämpötilan vakaus
●Ultra korkea puhtaus
●Kestävyys H2:lle, NH3:lle, SiH4:lle, Si:lle
●Kestää lämpövarastoa
●Vahva tarttuvuus grafiittiin
●Muodollinen pinnoitteen peitto
● Koko jopa 750 mm halkaisija (ainoa valmistaja Kiinassa saavuttaa tämän koon)
Sovellukset:
●Kiekon kantaja
● Induktiivinen lämmitysvaskeptori
● Resistiivinen lämmityselementti
●Satelliittilevy
●Suihkupää
●Ohjausrengas
●LED Epi vastaanotin
●Ruiskutussuutin
●Peiterengas
● Lämpösuoja
Tantaalikarbidi (TaC) pinnoite mikroskooppisessa poikkileikkauksessa:
VeTek Semiconductor Tantaali Carbide Coating -pinnoitteen parametri:
|
TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet
|
|
Tiheys
|
14,3 (g/cm³)
|
|
Ominaisemissiokyky
|
0.3
|
|
Lämpölaajenemiskerroin
|
6.3 10-6/K
|
|
Kovuus (HK)
|
2000 HK
|
|
Resistanssi
|
1×10-5Ohm*cm
|
|
Lämpöstabiilisuus
|
<2500 ℃
|
|
Grafiitin koko muuttuu
|
-10-20um
|
|
Pinnoitteen paksuus
|
≥20um tyypillinen arvo (35um±10um)
|
TaC-pinnoitteen EDX-tiedot：
TaC-pinnoitteen kiderakennetiedot:
|
Elementti
|
Atomiprosentti
|
|
|
Pt. 1
|
Pt. 2
|
Pt. 3
|
Keskimäärin
|
|
C K
|
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
|
M
|
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
