Tuotteet

Tantaalikarbidipinnoite

VeTek semiconductor on johtava tantaalikarbidipinnoitemateriaalien valmistaja puolijohdeteollisuudelle. Päätuotevalikoimaamme kuuluvat CVD-tantaalikarbidipinnoiteosat, sintratut TaC-pinnoiteosat piikarbidikiteiden kasvattamiseen tai puolijohdeepitaksiprosessiin. Hyväksytty ISO9001, VeTek Semiconductorilla on hyvä laatu. VeTek Semiconductor on omistautunut innovaattoriksi tantaalikarbidipinnoiteteollisuudessa jatkuvan iteratiivisten teknologioiden tutkimuksen ja kehityksen kautta.


Päätuotteita ovatTaC-pinnoitettu ohjausrengas, CVD TaC -pinnoitettu kolmen terälehden ohjausrengas, Tantaalikarbidi TaC -pinnoitettu Halfmoon, CVD TaC -pinnoite planeetta SiC epitaksiaalinen suskeptori, Tantaalikarbidipinnoiterengas, Tantaalikarbidilla päällystetty huokoinen grafiitti, TaC Coating Rotation Susceptor, Tantaalikarbidirengas, TaC-pinnoitteen pyörityslevy, TaC-pinnoitettu kiekkosuskeptori, TaC-pinnoitettu deflektorirengas, CVD TaC -pinnoite, TaC-pinnoitettu istukkajne., puhtaus on alle 5 ppm, voi täyttää asiakkaiden vaatimukset.


TaC-pinnoitegrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla Chemical Vapor Deposition (CVD) -prosessilla. Edut näkyvät alla olevassa kuvassa:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantaalikarbidipinnoite (TaC) on saanut huomiota korkean sulamispisteensä, jopa 3880 °C:n sulamispisteensä, erinomaisen mekaanisen lujuutensa, kovuutensa ja lämpöiskujen kestävyytensä ansiosta, mikä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon yhdistepuolijohteiden epitaksiprosesseille, joilla on korkeammat lämpötilavaatimukset. kuten Aixtron MOCVD-järjestelmä ja LPE SiC epitaxy process.Sillä on myös laaja sovellus PVT-menetelmässä SiC-kidekasvatusprosessissa.


Tärkeimmät ominaisuudet:

 ●Lämpötilan vakaus

 ●Ultra korkea puhtaus

 ●Kestävyys H2:lle, NH3:lle, SiH4:lle, Si:lle

 ●Kestää lämpövarastoa

 ●Vahva tarttuvuus grafiittiin

 ●Muodollinen pinnoitteen peitto

 Koko jopa 750 mm halkaisija (ainoa valmistaja Kiinassa saavuttaa tämän koon)


Sovellukset:

 ●Kiekon kantaja

 ● Induktiivinen lämmitysvaskeptori

 ● Resistiivinen lämmityselementti

 ●Satelliittilevy

 ●Suihkupää

 ●Ohjausrengas

 ●LED Epi vastaanotin

 ●Ruiskutussuutin

 ●Peiterengas

 ● Lämpösuoja


Tantaalikarbidi (TaC) pinnoite mikroskooppisessa poikkileikkauksessa:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


VeTek Semiconductor Tantaali Carbide Coating -pinnoitteen parametri:

TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet
Tiheys 14,3 (g/cm³)
Ominaisemissiokyky 0.3
Lämpölaajenemiskerroin 6.3 10-6/K
Kovuus (HK) 2000 HK
Resistanssi 1×10-5Ohm*cm
Lämpöstabiilisuus <2500 ℃
Grafiitin koko muuttuu -10-20um
Pinnoitteen paksuus ≥20um tyypillinen arvo (35um±10um)


TaC-pinnoitteen EDX-tiedot

EDX data of TaC coating


TaC-pinnoitteen kiderakennetiedot:

Elementti Atomiprosentti
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Keskimäärin
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TAC -päällystetty rengas sic -yhdisteen PVT -kasvulle

TAC -päällystetty rengas sic -yhdisteen PVT -kasvulle

Yhtenä Kiinan johtavista TAC-päällystystuotteiden toimittajista Vetek Semiconductor pystyy tarjoamaan asiakkaille korkealaatuisia TAC-päällystettä räätälöityjä osia. TAC -päällystetty rengas SIC: n yksittäisen kiteen PVT -kasvulle on yksi Vetek Semiconductorin merkittävimmistä ja kypsimmistä tuotteista. Sillä on tärkeä rooli sic-kristalliprosessin PVT-kasvussa ja se voi auttaa asiakkaita kasvamaan korkealaatuisia sic-kiteitä. Innolla tiedusteluasi.
CVD TAC -päällysteinen kolmipektion opasrengas

CVD TAC -päällysteinen kolmipektion opasrengas

Vetek Semiconductor on kokenut monien vuosien teknologisen kehityksen ja hallinnut CVD TAC -pinnoitteen johtavan prosessitekniikan. CVD TAC -päällysteinen kolmipeijasengas on yksi Vetek Semiconductorin kypsimmistä CVD-TAC-pinnoitustuotteista ja on tärkeä komponentti sic-kiteiden valmistukseen PVT-menetelmällä. Veek -puolijohteen avulla uskon, että sic -kristallintuotantosi on tasaisempi ja tehokkaampi.
Tantaalikarbidipäällystysrengas

Tantaalikarbidipäällystysrengas

Vetek Semiconductor Tantal -karbidipinnoiteasormus on välttämätön komponentti puolijohdeteollisuudessa, erityisesti sic -kiekkojen etsauksessa. Sen grafiittipohjan ja TAC-pinnoitteen yhdistelmä varmistaa erinomaisen suorituskyvyn korkean lämpötilan ja kemiallisesti aggressiivisissa ympäristöissä. Parannetulla lämpöstabiilisuudellaan, korroosionkestävyydellä ja mekaanisella lujuudellaan tantaalikarbidilla päällystetty rengas auttaa puolijohdevalmistajia saavuttamaan tarkkuuden, luotettavuuden ja korkealaatuiset tulokset tuotantoprosesseissaan.
TAC -pinnoitusrengas

TAC -pinnoitusrengas

TAC-päällystysrengas on korkean suorituskyvyn komponentti, joka on suunniteltu käytettäväksi puolijohdeprosesseissa, Vetek Semiconductor TAC -päällystysrenkaassa on korkea lämpöstabiilisuus, kemiallisen korroosion vastus ja erinomainen mekaaninen lujuus, ja sitä käytetään erityisesti SIC-kiekkojen pitämiseen ja tukemiseen etsausprosessin aikana. Jos tarkka hallinta ja kestävyys ovat välttämättömiä korkealaatuisten kiekkojen saavuttamiseksi. Odotamme innolla lisäkonsultointiasi.
Tac -päällyste upokas

Tac -päällyste upokas

Ammattimaisena TAC -pinnoitteena upokastoimittajana ja valmistajana Kiinassa, Vetek Semiconductorin TAC -päällysteellä upokkaassa on korvaamaton rooli puolijohteiden yksittäisessä kidekasvuprosessissa, jolla on erinomainen lämmönjohtavuus, erinomainen kemiallinen stabiilisuus ja parantunut korroosiokestävyys. Tervetuloa lisäkyselyt.
Tantaalikarbidipäällysteinen opasrengas

Tantaalikarbidipäällysteinen opasrengas

Kiinan johtavana TAC -päällystysoppaan renkaantoimittajana ja valmistajana Veek Semiconductor Tantal -karbidipäällysteisen opasrengas on tärkeä komponentti, jota käytetään reaktiivisten kaasujen virtauksen ohjaamiseen ja optimointiin PVT (fyysisen höyryn kuljetus) -menetelmässä. Se edistää SiC -yksittäisten kiteiden tasaista laskeutumista kasvuvyöhykkeellä säätämällä kaasun virtauksen jakautumista ja nopeutta. Vetek Semiconductor on johtava TAC -päällystysoppaiden renkaiden valmistaja ja toimittaja Kiinassa ja jopa maailmassa, ja odotamme innolla kuulemistasi.
Ammattimaisena Tantaalikarbidipinnoite valmistajana ja toimittajana Kiinassa meillä on oma tehdas. Tarvitsetko räätälöityjä palveluita alueen erityistarpeiden tyydyttämiseksi tai haluat ostaa edistyneitä ja kestävää Tantaalikarbidipinnoite, joka on valmistettu Kiinassa, voit jättää meille viestin.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept