Kuinka paljon tiedät CVD -sic: stä? - Vetek -puolijohde

CVDSIC(Kemiallinen höyryn laskeuma piikarbidi) on erittäin puhdas piikarbidimateriaali, joka on valmistettu kemiallisella höyryn laskeutumisella. Sitä käytetään pääasiassa erilaisiin komponentteihin ja pinnoitteisiin puolijohteiden käsittelylaitteissa. CVDSic -materiaalion erinomainen lämpöstabiilisuus, korkea kovuus, alhainen lämmön laajennuskerroin ja erinomainen kemiallinen korroosionkestävyys, mikä tekee siitä ihanteellisen materiaalin käytettäväksi äärimmäisissä prosessiolosuhteissa.

CVD-sic -materiaalia käytetään laajasti komponenteissa, joihin liittyy korkea lämpötila, erittäin syövyttävä ympäristö ja korkea mekaaninen jännitys puolijohteiden valmistusprosessissa.

CVDSICKomponentitlähinnä seuraavat tuotteet

● CVDsic -päällyste

Sitä käytetään suojakerroksena puolijohdeprosessointilaitteille, jotta substraatti estäisi korkean lämpötilan, kemiallisen korroosion ja mekaanisen kulumisen vaurioitumisen.

● Sic -kiekkovene

Sitä käytetään kiekkojen kuljettamiseen ja kuljettamiseen korkean lämpötilan prosesseissa (kuten diffuusio ja epitaksiaalisen kasvun) kiekkojen stabiilisuuden ja prosessien tasaisuuden varmistamiseksi.

● Sic -prosessiputki

SIC -prosessiputkia käytetään pääasiassa diffuusiouuneissa ja hapetusuuneissa, jotta saadaan hallittu reaktioympäristö piikiekkoille, varmistaen tarkan materiaalin laskeutumisen ja tasaisen dopingjakauman.

● Sic Cantover mela

SiC -ulottimen meloa käytetään pääasiassa pii kiekkojen kuljettamiseen tai tukemiseen diffuusiouuneissa ja hapettumisuunissa, joilla on kantava rooli. Erityisesti korkean lämpötilan prosesseissa, kuten diffuusio, hapettuminen, hehkutus jne.

● Cvd sic suihkupää

Sitä käytetään kaasunjakaumakomponenttina plasman etsauslaitteissa, joilla on erinomainen korroosionkestävyys ja lämpöstabiilisuus tasaisen kaasun jakautumisen ja syövytysvaikutuksen varmistamiseksi.

● Sic -päällystetty katto

Komponentit laitereaktiokammiossa, jota käytetään suojaamaan laitteita korkean lämpötilan ja syövyttävien kaasujen vaurioilta ja pidentämään laitteiden käyttöikä.

● Piin epitaksian alttiit

Kiekkojen kantaja -aineiden epitaksiaalisten kasvuprosesseissa käytettyjen kiekkojen lämmityksen ja kiekkojen saostumisen laadun varmistamiseksi.

Kemiallisella höyryllä kerrostuneella piikarbidilla (CVD sic) on laaja valikoima sovelluksia puolijohdekäsittelyssä, jota käytetään pääasiassa laitteiden ja komponenttien valmistukseen, jotka ovat resistenttejä korkeille lämpötiloille, korroosiolle ja korkealle kovulle. 

CVDSICYdinrooli heijastuu seuraaviin näkökohtiin

✔ Suojapinnoitteet korkean lämpötilan ympäristöissä

Funktio: CVD SIC: tä käytetään usein puolijohdelaitteiden avainkomponenttien pintapinnoitteisiin (kuten Suckettors, reaktiokammion vuoraukset jne.). Näiden komponenttien on työskenneltävä korkean lämpötilan ympäristöissä, ja CVD-sic-pinnoitteet voivat tarjota erinomaisen lämpöstabiilisuuden substraatin suojaamiseksi korkean lämpötilan vaurioilta.

Edut: CVD -sic: n korkea sulamispiste ja erinomainen lämmönjohtavuus varmistavat, että komponentit voivat toimia vakaasti pitkään korkean lämpötilan olosuhteissa, pidentäen laitteiden käyttöiän käyttöä.

✔ korroosion vastaiset sovellukset

Funktio: Puolijohteiden valmistusprosessissa CVD -sic -pinnoite voi tehokkaasti vastustaa syövyttävien kaasujen ja kemikaalien eroosiota ja suojata laitteiden ja laitteiden eheyttä. Tämä on erityisen tärkeää erittäin syövyttävien kaasujen, kuten fluoridien ja kloridien, käsittelemisessä.

Edut: Tallettamalla CVD -sic -pinnoite komponentin pinnalle, korroosion aiheuttamat laitevauriot ja ylläpitokustannukset voidaan vähentää huomattavasti, ja tuotannon tehokkuutta voidaan parantaa.

✔ Korkea vahvuus ja kulutuskestävä sovellus

Funktio: CVD -sic -materiaali tunnetaan suuresta kovuudestaan ​​ja suuresta mekaanisesta lujuudestaan. Sitä käytetään laajasti puolijohdekomponenteissa, jotka vaativat kulunkestävyyttä ja suurta tarkkuutta, kuten mekaanisia tiivisteitä, kuormitusta kantavia komponentteja jne. Näille komponenteille altistetaan voimakas mekaaninen jännitys ja kitka toiminnan aikana. CVD -sic voi tehokkaasti vastustaa näitä rasituksia ja varmistaa laitteen pitkän käyttöiän ja vakaan suorituskyvyn.

Edut: CVD-sic: stä tehdyt komponentit eivät vain kestä mekaanista jännitystä äärimmäisissä ympäristöissä, vaan myös ylläpitävät niiden mittakautta ja pinta-alaisia ​​pitkän aikavälin käytön jälkeen.

Samanaikaisesti CVD -sicillä on tärkeä rooliLED -epitaksiaalikasvu, Power -puolijohteet ja muut kentät. Puolijohteiden valmistusprosessissa CVD -sic -substraatteja käytetään yleensäEPI -alttiit. Niiden erinomainen lämmönjohtavuus ja kemiallinen stabiilisuus saavat kasvaneiden epitaksiaalikerrokset korkeamman laadun ja johdonmukaisuuden. Lisäksi CVD -siciä käytetään myös laajastiPSS Etsauskuljettajat, RTP -kiekko -operaattorit, ICP -etsauskantajatjne., Tarjoaa vakaa ja luotettava tuki puolijohdekauppamisen aikana laitteen suorituskyvyn varmistamiseksi.

Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd on johtava edistyneiden pinnoitusmateriaalien tarjoaja puolijohdeteollisuudelle. Yrityksemme keskittyy teollisuuden kehittämiseen.

Tärkeimmät tuotetarjontamme ovat CVD-piikarbidi (sic) pinnoitteet, tantaalikarbidi (TAC) pinnoitteet, irtotavarana, sic-jauheet ja korkean ympäristön sic-materiaalit, sic-päällystetyt grafiittimerkjät, esilämmitys, TAC-päällystetty ohjausrengas, puolikuun, leikkausosat jne., Pureus on alle 5PPM, leikkausluettelot voivat tavata asiakasvaatimuksia.

Vetek-puolijohde keskittyy huipputeknologian ja tuotekehitysratkaisujen kehittämiseen puolijohdeteollisuudelle.Toivomme vilpittömästi tulevan pitkäaikaiseen kumppanisi Kiinassa.