Tantaalikarbidipinnoitustuki

Vetek -puolijohteen päätoimintoTantaalikarbidi (TAC) pinnoiteTuki on parantaalämmönkestävyys, kulutuskestävyys ja korroosionkestävyyssubstraatin päällystämällä kerroksen tantaalikarbidipinnoitteesta, jotta voidaan parantaa prosessin tarkkuutta ja luotettavuutta ja pidentää komponenttien käyttöikää. Se on korkean suorituskyvyn pinnoitustuote, jota käytetään puolijohdeprosessoinnin alalla.

Vetek Semiconductorin tantaalikarbidipinnoitteen kannattajan mohs -kovuus on melkein 9 ~ 10, toiseksi vain timantille. Sillä on erittäin vahva kulutuskestävyys ja se voi tehokkaasti vastustaa pinnan kulumista ja iskuja prosessoinnin aikana, laajentaen siten laitteiden komponenttien käyttöikäistä tehokkaasti. Yhdistettynä noin 3880 ° C: n korkeaan sulamispisteeseen, sitä käytetään usein puolijohdelaitteiden avainkomponenttien, kuten tukirakenteiden pintapinnoitteiden, lämmönkäsittelylaitteiden, kammioiden tai tiivisteiden pintapinnoitteiden, pintapinnoitteisiin, jotta se parantaa sen kulumiskestävyyttä ja korkean lämpötilankestävyyttä.

Noin 3880 ° C: n erittäin korkean sulamispisteen vuoksi puolijohdeprosessointikäsittelyprosesseissa, kutenKemiallinen höyryn laskeuma (CVD)jaFyysinen höyryn laskeuma (PVD), TAC -pinnoite, jolla on voimakas korkea lämpötilankestävyys ja kemiallinen korroosionkestävyys, voivat tehokkaasti suojata laitteiden komponentteja ja estää substraatin korroosiota tai vaurioita äärimmäisissä ympäristöissä tarjoamalla tehokkaan suojan kiekkojen valmistuksessa korkean lämpötilan ympäristöille. Tämä ominaisuus määrittelee myös, että Vetek Semiconductorin tantaalikarbidipinnoitustuki käytetään usein syövytys- ja syövyttäviin prosesseihin.

Tantaalikarbidipinnoitustuella on myös funktio vähentää hiukkasten saastumista. Kiekkojen käsittelyn aikana pintakulutus tuottaa yleensä hiukkasten saastumista, mikä vaikuttaa kiekon tuotteen laatuun. TAC-pinnoitteen äärimmäisen tuotteen ominaisuudet lähes 9-10 MOHS-kovuus voivat vähentää tätä kulumista tehokkaasti vähentäen siten hiukkasten muodostumista. Yhdistettynä TAC -pinnoitteen erinomaiseen lämmönjohtavuuteen (noin 21 paino/m · K), se voi ylläpitää hyvää lämmönjohtavuutta korkeissa lämpötilan olosuhteissa, parantaen siten huomattavasti kiekkojen valmistuksen satoa ja konsistenssia.

Vetek Semiconductorin tärkeimmät TAC -pinnoitustuotteet sisältävätTAC -pinnoituslämmitin, CVD TAC -päällyste upokas, TAC -pinnoitteen kierto -alttiujaTac -päällyste varaosajne., Ja tue räätälöityjä tuotepalveluita. Vetek Semiconductor on sitoutunut tarjoamaan erinomaisia ​​tuotteita ja teknisiä ratkaisuja puolijohdeteollisuudelle. Toivomme vilpittömästi tulevan pitkäaikaiseen kumppanisi Kiinassa.

Tantaalikarbidi (TAC) pinnoite mikroskooppisella poikkileikkauksella:

CVD TAC -pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet：