TAC -pinnoituslämmitin

TaC Coating Heater on korkean suorituskyvyn lämmityselementti, jota käytetään laajalti puolijohteiden valmistusprosesseissa. Sen pinta on päällystetty tantaalikarbidimateriaalilla (TaC), mikä antaa lämmittimelle erinomaisen korkeiden lämpötilojen kestävyyden, kemiallisen korroosionkestävyyden ja erinomaisen lämmönjohtavuuden.

TaC Coating Heaterin pääsovellukset puolijohteiden valmistuksessa ovat:

 ✔ Gallium -nitridi (GAN) -epitaksiaalisen kasvuprosessin aikana TAC -päällystyslämmitin tarjoaa tarkasti kontrolloidun korkean lämpötilan ympäristöä varmistaakseen, että epitaksiaalinen kerros on kerrostettu substraattiin tasaisella nopeudella ja korkealla laatuun. Sen vakaa lämmöntuotto auttaa saavuttamaan ohutkalvomateriaalien tarkan hallinnan parantaen siten laitteen suorituskykyä.

 ✔ Lisäksi metallin orgaanisen kemiallisen höyrypinnoitusprosessissa (MOCVD) yhdistettynä TaC-pinnoitteen korkean lämpötilan kestävyyteen ja lämmönjohtavuuteen TaC Coating Heater -lämmitintä käytetään yleensä reaktiokaasun lämmittämiseen, ja se takaa tasaisen lämmönjakauman. edistää sen kemiallista reaktiota alustan pinnalla, mikä parantaa epitaksiaalikerroksen tasaisuutta ja muodostaa korkealaatuisen kalvon.

 ✔ TAC -pinnoituslämmittimen tuotteiden alan johtajana Vetek Semiconducto tukee aina tuotteiden räätälöintipalveluita ja tyydyttäviä tuotehintoja. Riippumatta siitä, mitkä ovat erityiset vaatimuksesi, sovitamme parhaan ratkaisun TAC -pinnoituslämmittimen tarpeisiisi ja odotamme neuvottelua milloin tahansa.