TAC -pinnoitteen kierto -alttiu

Vetek Semiconductor TAC -pinnoitteen kierto -herkä on avainkomponentti kiekkojen käsittelyyn puolijohteiden prosessoinnissa. SenTac mitäMeidänon erinomainen korkea lämpötilan sietokyky (sulamispiste jopa 3880 ° C: iin), kemiallisen stabiilisuuden ja korroosionkestävyyden kanssa, jotka takaavat korkean tarkkuuden ja korkean laadun kiekkojen prosessoinnissa.

TAC -pinnoitteen kierto -herkkailija (tantaalihiilipinnoitteen rotaatio -herkkä) on keskeinen laitekomponentti, jota käytetään puolijohteiden prosessoinnissa. Se yleensä asennetaanKemiallinen höyryn laskeuma (CVD)ja molekyylisäteen epitaksian (MBE) laitteet kiekkojen tukemiseksi ja kiertämiseksi yhdenmukaisen materiaalin laskeutumisen ja tehokkaan reaktion varmistamiseksi. Tämäntyyppinen tuote parantaa merkittävästi laitteiden käyttöikä ja suorituskykyä korkeassa lämpötilassa ja syövyttävissä ympäristöissä päällystämällä substraattiTantaalihiili (TAC) pinnoite.

TAC -pinnoitteen kierto -herkät koostuu yleensä TAC -pinnoitteesta ja grafiitista tai piikarbidista substraattimateriaalina. TAC on erittäin korkea lämpötila keraaminen materiaali, jolla on erittäin korkea sulamispiste (sulamispiste jopa 3880 ° C: seen), kovuus (Vickers-kovuus on noin 2000 HK) ja erinomaista kemiallista korroosionkestävyyttä. Vetek -puolijohde voi kattaa tehokkaasti ja tasaisesti substraattimateriaalin tantaalihiilipinnoitteen CVD -tekniikan avulla.

Kierto -herkkailija on yleensä valmistettu korkeasta lämmönjohtavuudesta ja suuresta lujuudesta (grafiitti taipiikarbidi), joka voi tarjota hyvän mekaanisen tuen ja lämpöstabiilisuuden korkean lämpötilan ympäristöissä. Näiden kahden täydellinen yhdistelmä määrittää TAC -pinnoitteen kierto -alttiuden täydellisen suorituskyvyn kiekkojen tukemisessa ja pyörivissä.

TAC -pinnoitteen kierto -herkkailija tukee ja kiertää kiekoa CVD -prosessissa. TAC: n Vickers -kovuus on noin 2000 HK, mikä antaa sen vastustaa materiaalin toistuvaa kitkaa ja sillä on hyvä tukeva rooli, varmistaen siten, että reaktiokaasu on jakautunut tasaisesti kiekkojen pinnalle ja materiaali talletetaan tasaisesti. Samanaikaisesti TAC -pinnoitteen korkean lämpötilan sietokyvyn ja korroosionkestävyyden mahdollistaminen mahdollistaa sen käytön pitkään aikaan korkeassa lämpötilassa ja syövyttävissä ilmakehissä, mikä välttää tehokkaasti kiekon ja kantoaalton saastumisen.

Lisäksi TAC: n lämmönjohtavuus on 21 W/m · K, jolla on hyvä lämmönsiirto. Siksi TAC -pinnoitteen kierto -herkkailija voi lämmittää kiekon tasaisesti korkean lämpötilan olosuhteissa ja varmistaa kaasun laskeutumisprosessin tasaisuus kiertoliikkeellä, ylläpitäen siten konsistenssin ja korkean laadunkiekkojen kasvu.

Tantaalikarbidi (TAC) pinnoite mikroskooppisella poikkileikkauksella：

TAC -pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet：

TAC -pinnoitteen kierto -herkkyydet: