TAC -päällystetty rengas

Viteksemi TAC -päällysteinen rengas on korkean suorituskyvyn komponentti, joka on räätälöity puolijohteiden valmistusprosesseille. Sen ainutlaatuisesti suunnitellut tantaalikarbidi (TAC) pinnoite antaa tuotteelle erinomaisen korkean lämpötilan vastus, korroosionkestävyys ja mekaaninen stabiilisuus, mikä parantaa merkittävästi grafiittikomponenttien käyttöikä ja luotettavuutta puolijohdelaitteissa.

Tantalumkarbidipinnoitteiden erinomainen suorituskyky ：

● Erittäin korkea lämpötilankestävyys: TAC-pinnoitteet kestävät helposti 2200 ° C: n äärimmäiset lämpötilat ja pysyvät stabiileina puolijohdevalmistuksessa yleisiä lämpöiskuympäristöjä.

● Erinomainen kemiallinen stabiilisuus: Pinnoite osoittaa voimakasta vastustuskykyä yleisille syövyttäville kaasuille, kuten vetylle, ammoniakkille, silaanille ja piille, suojaamalla substraattia tehokkaasti kemiallisilta hyökkäyksiltä.

● Erinomaiset mekaaniset ominaisuudet: TAC -pinnoitteessa on suuri kovuus, korkea kulumiskestävyys ja hyvä lämpö iskunkestävyys, ja se voi toimia vakaasti pitkään vaikeissa työolosuhteissa.

● Erinomainen tarttuvuus: Pinnoite on tiukasti sidottu grafiittisubstraattiin, mikä estää pinnoitetta tehokkaasti kuorimasta ja varmistaa johdonmukaisen suorituskyvyn koko tuotteen käyttöiän ajan.

● Korkea puhtaus: CVD: n valmistama TAC -pinnoite on erittäin korkea puhtaus, joka minimoi epäpuhtauksien käyttöönoton ja tarjoaa puhtaan prosessiympäristön puolijohdevalmistukseen.

Tantalumkarbidilla päällystettyjen renkaiden edut:

● Pidennetty laite -käyttöikä: TAC -päällyste estää tehokkaasti kemiallisia reaktioita ja epäpuhtauksien diffuusion, pidentäen merkittävästi grafiittikomponenttien käyttöiän ja vähentämällä ylläpitokustannuksia.

● Paranna tuotannon tehokkuutta: Tuotteen korkea lämpötilankestävyys ja korroosionkestävyys mahdollistavat sen toimimisen vaativammissa olosuhteissa, lyhentämällä tuotantosykliä ja lisäämällä tuotantokapasiteettia.

● Parannettu tuotteen laatu: Korkea puhtaus TAC -pinnoite auttaa vähentämään saastumista, varmistamalla puolijohdetuotteiden laatu ja konsistenssi.

Vetek Semiconductor on erikoistunut TAC -päällystetuotteisiin, kutenTac -päällystys Chuck, TAC -pinnoitteen kiertolevy, TAC -pinnoitteen alaosa, TAC -päällystetty kiekko -altisMonien vuosien ajan. TAC -päällystetyillä rengastuotteillamme on pidennettyjen laitteiden käyttöikä, parannetun tuotannon tehokkuuden ja parannetun tuotteen laadun. Samanaikaisesti Vetek -puolijohde on jo pitkään sitoutunut tarjoamaan edistyneitä teknologia- ja tuotelaratkaisuja puolijohdeteollisuudelle. 

Grafiitti- ja tantaalikarbidimateriaalien erilaisten kemiallisten ominaisuuksien vuoksi lämpölaajennuskerroin ei vastaa, ja VETEK -puolijohde on helppo lämmittää korkeassa lämpötilassa tietyn prosessin kautta edistääkseen osittain tarttuneita tantaluumikarbidikarbidi -pinnoitteita grafiitti -mattimiin. Tällä tavoin tantaalikarbidipinnoite on tiukasti sisäkkäinen grafiittimatriisiin in situ-kasvun kautta, mikä lisää merkittävästi pinnoitteen ja matriisin välistä sitoutumisvoimaa ja estää tehokkaasti tantaalikarbidipinnoitteen kuorimisen. Toivomme vilpittömästi tulevan pitkäaikaiseen kumppanisi Kiinassa.

Tantaalikarbidin päällystetyt renkaat: