Tuotteet

Tantaalikarbidipinnoite

VeTek semiconductor on johtava tantaalikarbidipinnoitemateriaalien valmistaja puolijohdeteollisuudelle. Päätuotevalikoimaamme kuuluvat CVD-tantaalikarbidipinnoiteosat, sintratut TaC-pinnoiteosat piikarbidikiteiden kasvattamiseen tai puolijohdeepitaksiprosessiin. Hyväksytty ISO9001, VeTek Semiconductorilla on hyvä laatu. VeTek Semiconductor on omistautunut innovaattoriksi tantaalikarbidipinnoiteteollisuudessa jatkuvan iteratiivisten teknologioiden tutkimuksen ja kehityksen kautta.


Päätuotteita ovatTaC-pinnoitettu ohjausrengas, CVD TaC -pinnoitettu kolmen terälehden ohjausrengas, Tantaalikarbidi TaC -pinnoitettu Halfmoon, CVD TaC -pinnoite planeetta SiC epitaksiaalinen suskeptori, Tantaalikarbidipinnoiterengas, Tantaalikarbidilla päällystetty huokoinen grafiitti, TaC Coating Rotation Susceptor, Tantaalikarbidirengas, TaC-pinnoitteen pyörityslevy, TaC-pinnoitettu kiekkosuskeptori, TaC-pinnoitettu deflektorirengas, CVD TaC -pinnoite, TaC-pinnoitettu istukkajne., puhtaus on alle 5 ppm, voi täyttää asiakkaiden vaatimukset.


TaC-pinnoitegrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla Chemical Vapor Deposition (CVD) -prosessilla. Edut näkyvät alla olevassa kuvassa:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantaalikarbidipinnoite (TaC) on saanut huomiota korkean sulamispisteensä, jopa 3880 °C:n sulamispisteensä, erinomaisen mekaanisen lujuutensa, kovuutensa ja lämpöiskujen kestävyytensä ansiosta, mikä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon yhdistepuolijohteiden epitaksiprosesseille, joilla on korkeammat lämpötilavaatimukset. kuten Aixtron MOCVD-järjestelmä ja LPE SiC epitaxy process.Sillä on myös laaja sovellus PVT-menetelmässä SiC-kidekasvatusprosessissa.


Tärkeimmät ominaisuudet:

 ●Lämpötilan vakaus

 ●Ultra korkea puhtaus

 ●Kestävyys H2:lle, NH3:lle, SiH4:lle, Si:lle

 ●Kestää lämpövarastoa

 ●Vahva tarttuvuus grafiittiin

 ●Muodollinen pinnoitteen peitto

 Koko jopa 750 mm halkaisija (ainoa valmistaja Kiinassa saavuttaa tämän koon)


Sovellukset:

 ●Kiekon kantaja

 ● Induktiivinen lämmitysvaskeptori

 ● Resistiivinen lämmityselementti

 ●Satelliittilevy

 ●Suihkupää

 ●Ohjausrengas

 ●LED Epi vastaanotin

 ●Ruiskutussuutin

 ●Peiterengas

 ● Lämpösuoja


Tantaalikarbidi (TaC) pinnoite mikroskooppisessa poikkileikkauksessa:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


VeTek Semiconductor Tantaali Carbide Coating -pinnoitteen parametri:

TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet
Tiheys 14,3 (g/cm³)
Ominaisemissiokyky 0.3
Lämpölaajenemiskerroin 6.3 10-6/K
Kovuus (HK) 2000 HK
Resistanssi 1×10-5Ohm*cm
Lämpöstabiilisuus <2500 ℃
Grafiitin koko muuttuu -10-20um
Pinnoitteen paksuus ≥20um tyypillinen arvo (35um±10um)


TaC-pinnoitteen EDX-tiedot

EDX data of TaC coating


TaC-pinnoitteen kiderakennetiedot:

Elementti Atomiprosentti
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Keskimäärin
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TAC-päällystetty kolmipektion rengas

TAC-päällystetty kolmipektion rengas

Vetek Semiconductor on johtava TAC-päällystetty kolmipektion rengasvalmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet TAC- ja sic-pinnoitteisiin monien vuosien ajan. Tuotteellamme on korroosionkestävyys, suuri lujuus. Odotamme innolla tulevan pitkäaikaiseen kumppaniksi Kiinassa.
Tantaalikarbidilla päällystetty istukka

Tantaalikarbidilla päällystetty istukka

Vetek Semiconductor on johtava tantaalikarbidilla päällystetty istukanvalmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet TAC-pinnoitteeseen monien vuosien ajan. Tuotteitamme on korkea puhtaus ja korkea lämpötilankestävyys jopa 2000 ℃. Odotamme innolla tulla pitkäaikainen kumppani Kiinassa.
Tantaalikarbidilla päällystetty kansi

Tantaalikarbidilla päällystetty kansi

Vetek Semiconductor on johtava tantaalikarbidin päällystetty kannen valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet TAC- ja sic -pinnoitteisiin monien vuosien ajan. Tuotteellamme on korroosionkestävyys, korkea vahvuus. Odotamme innolla tulevan pitkäaikaiseen kumppaniksi Kiinassa.
Huokoinen grafiitti, jossa on TAC -päällystetty

Huokoinen grafiitti, jossa on TAC -päällystetty

Huokoinen grafiitti, jossa on TAC -päällystetty, on edistyksellinen puolijohdeprosessointimateriaali, jonka on toimittanut Vetek Semiconductor. Huokoinen grafiitti, jossa on TAC -päällystetyt, yhdistävät huokoisen grafiitin ja tantaalikarbidin (TAC) pinnoitteen edut, joilla on hyvä lämmönjohtavuus ja kaasun läpäisevyys. Vetek Semiconductor on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan.
Tantaalikarbidipinnoituskansi

Tantaalikarbidipinnoituskansi

Tantaalikarbidipinnoituskansi koostuu korkean puhtaan grafiitista ja TAC-pinnoitteesta. Vetek Semiconductor on johtava Tantalum Carbide -päällystyskannen toimittaja ja valmistaja Kiinassa. Keskitymme tarjoamaan korkeaa, korkean lämpötilan kestäviä tantaalikarbidituotteita. Tantaalikarbidilla päällystetyllä kannella on erinomainen suorituskyky ja luotettavuus, ja se voi suojata materiaaleja tehokkaasti erittäin korkeassa lämpötilassa ja syövyttävissä ympäristöissä. Odotamme innolla tulevan pitkäaikaiseen kumppaniksi Kiinassa. Tervetuloa neuvotella milloin tahansa.
TAC -päällystetty ohjausrengas

TAC -päällystetty ohjausrengas

Vetek Semiconductorin TAC -päällystetyllä valintarengas on erittäin erikoistunut komponentti, joka on suunniteltu sic -kidekasvuprosesseille. TAC -päällyste tarjoaa erinomaisen korkean lämpötilan vastustuskyvyn ja kemiallisen inerttin selviytyäkseen korkeista lämpötiloista ja syövyttävistä ympäristöistä kiteiden kasvuprosessin aikana. Tämä varmistaa komponentin vakaan suorituskyvyn ja pitkän käyttöiän vähentäen korvaustaajuutta ja seisokkeja. Olemme sitoutuneet tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan ja odotamme olevansa pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.
Ammattimaisena Tantaalikarbidipinnoite valmistajana ja toimittajana Kiinassa meillä on oma tehdas. Tarvitsetko räätälöityjä palveluita alueen erityistarpeiden tyydyttämiseksi tai haluat ostaa edistyneitä ja kestävää Tantaalikarbidipinnoite, joka on valmistettu Kiinassa, voit jättää meille viestin.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept