Tac -päällyste varaosa

IT -puolijohdeTAC -pinnoituslevyon erityinen materiaali, jota käytetään laajastipuolijohdeValmistusprosessi. Yhdistettynä sen korkeaan kovuuteen ja kulutuskestävyyteen, korkeaan lämpötilankestävyyteen, korroosionkestävyyteen, alhaiseen kitkakerroin ja hyvään lämmönjohtavuuteen, TAC -päällystyslevyllä on korvaamaton rooli monissa puolijohteiden prosessoinnin linkeissä.

Yleensä sovelluksetTAC -päällystetyt levytPuolijohteiden prosessoinnissa ovat seuraavat:

● CVD/ALD -kasvualusta: TAC -päällystettyjen levyjen korkean lämpötilankestävyys, kemiallinen stabiilisuus ja alhainen kitkakerroin tekevät niistä ihanteellisia CVD/ALD -kasvualustat. Se voi tarjota vakaan kasvuympäristön elokuvan yhdenmukaisuuden ja tiheyden varmistamiseksi.

●  Syövytysnaamiolevy: TAC-päällystettyjen levyjen korkea kovuus ja korroosionkestävyys mahdollistavat niiden kestämisen korkean energian prosessit, kuten plasman etsaus, syövyttävinä naamiolevyinä suojaamalla taustalla olevaa kalvoa.

●  CMP -kiillotustyyny: TAC -päällystettyjen levyjen kulutuskestävyys ja matala kitkakerroin tekevät niistä ihanteellisia materiaaleja CMP -kiillotustyynyille, jotka voivat tehokkaasti poistaa hiukkaset ja viat kalvon pinnalla.

●  Korkean lämpötilan uuniputki: TAC -päällystettyjen levyjen korkean lämpötilankestävyys ja korroosionkestävyys mahdollistaa niiden käytön uuniputkina korkean lämpötilan uuneissa korkean lämpötilan hehkuttamiseen, diffuusioon ja muihin prosesseihin.

CVD TAC -pinnoitteen tekniset parametrit：

Vetek Semiconductor TAC -päällyste varaosatuotteiden kaupat：