Tuotteet
TAC -päällyste jalustan tukilevy
  • TAC -päällyste jalustan tukilevyTAC -päällyste jalustan tukilevy

TAC -päällyste jalustan tukilevy

TAC -pinnoite kestää korkean lämpötilan 2200 ℃. Vetek -puolijohde tarjoaa korkean puhtauden TAC -pinnoitteen, jonka epäpuhtaudet ovat alle 5ppm Kiinassa. TAC -päällyste jalustan tukilevy pystyy kestämään ammoniakkivetyä, argoniinia epitaksiaalilaitteen reaktiokammiossa. Se parantaa tuotteen käyttöiän käyttöä. Tarjoat vaatimukset, tarjoamme räätälöinnin.

Vetek Semiconductor on Kiinan valmistaja ja toimittaja, joka tuottaa pääasiassa CVD TAC -pinnoittimia, sisääntulon rengas, kiekko chunck, TAC -päällystetty haltija, TAC -päällyste jalustan tukilevy monen vuoden kokemuksella. Toivottavasti rakentaa liikesuhteita kanssasi.


TAC -keramiikan sulamispiste on jopa 3880 ℃, korkea kovuus (MOHS -kovuus 9 ~ 10), suuri lämmönjohtavuus (22W · m-1· K−1), suuri taivutuslujuus (340 ~ 400MPA) ja pieni lämpölaajennuskerroin (6,6 × 10−6K−1), ja näytä erinomainen lämpökemiallinen stabiilisuus ja erinomaiset fysikaaliset ominaisuudet. Sillä on hyvä kemiallinen ja mekaaninen yhteensopivuus grafiitin ja C/C -komposiittimateriaalien kanssa, joten TAC -päällystettä käytetään laajasti ilmailu- ja avaruussuojauksessa, yksikristallikasvussa ja epitaksiaalireaktoreissa, kuten Aixtron, LPE EPI -reaktori puolijohdeteollisuudessa. 


TAC -päällystetyllä grafiitissa on parempi kemiallinen korroosionkestävyys kuin paljain kivimusteella tai sic -päällystetyllä grafiittia, sitä voidaan käyttää vakaasti 2200 °: n korkeassa lämpötilassa, ei reagoi monien metallielementtien kanssa, on kolmas sukupuolen yhden kidekasvun, epitaksia ja kiekkojen etsityspaikan parasta pinnoituksen kohtaus, CAN -lämpötilan ja epäpuhtauden hallinnan prosessit, prep -preping kiekot. Se soveltuu erityisesti GAN- tai ALN -yksittäisten kidejen kasvattamiseen MOCVD -laitteissa ja sic -yksittäisissä kideissä PVT -laitteissa, ja kasvatettujen yksikiden laatu on selvästi parantunut.


TAC -pinnoite ja sic -päällyste varaosat, joita voimme tehdä:

TaC coating and SiC coating Spare parts


TAC -pinnoitteen parametri:

TAC -pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet
TAC -pinnoitustiheys 14.3 (g/cm³)
Erityinen säteily 0.3
Lämmön laajennuskerroin 6.3 10-6/K
TAC -pinnoitteen kovuus (HK) 2000 HK
Vastus 1 × 10-5Ohm*cm
Lämmönvakaus <2500 ℃
Grafiitin koon muutokset -10 ~ -20um
Pinnoitteen paksuus ≥20um tyypillinen arvo (35um ± 10um)


KäynnistääPuolijohde -sirun epitaksiteollisuusketju Teollisuusketju:

VeTek Semiconductor chip epitaxy industry chain Industrial Chain


IT -puolijohdeTAC -päällyste jalustan tukilevyTuotantokauppa

VeTek Semiconductor TaC Coating Pedestal Support Plate Production Shop


Hot Tags: TaC Coating Pedestal Support Plate
Lähetä kysely
Yhteystiedot
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
Käytämme evästeitä tarjotaksemme sinulle paremman selauskokemuksen, analysoidaksemme sivuston liikennettä ja mukauttaaksemme sisältöä. Käyttämällä tätä sivustoa hyväksyt evästeiden käytön.Tietosuojakäytäntö