Tuotteet
TAC -päällyste jalustan tukilevy
  • TAC -päällyste jalustan tukilevyTAC -päällyste jalustan tukilevy

TAC -päällyste jalustan tukilevy

TAC -pinnoite kestää korkean lämpötilan 2200 ℃. Vetek -puolijohde tarjoaa korkean puhtauden TAC -pinnoitteen, jonka epäpuhtaudet ovat alle 5ppm Kiinassa. TAC -päällyste jalustan tukilevy pystyy kestämään ammoniakkivetyä, argoniinia epitaksiaalilaitteen reaktiokammiossa. Se parantaa tuotteen käyttöiän käyttöä. Tarjoat vaatimukset, tarjoamme räätälöinnin.

Vetek Semiconductor on Kiinan valmistaja ja toimittaja, joka tuottaa pääasiassa CVD TAC -pinnoittimia, sisääntulon rengas, kiekko chunck, TAC -päällystetty haltija, TAC -päällyste jalustan tukilevy monen vuoden kokemuksella. Toivottavasti rakentaa liikesuhteita kanssasi.


TAC -keramiikan sulamispiste on jopa 3880 ℃, korkea kovuus (MOHS -kovuus 9 ~ 10), suuri lämmönjohtavuus (22W · m-1· K−1), suuri taivutuslujuus (340 ~ 400MPA) ja pieni lämpölaajennuskerroin (6,6 × 10−6K−1), ja näytä erinomainen lämpökemiallinen stabiilisuus ja erinomaiset fysikaaliset ominaisuudet. Sillä on hyvä kemiallinen ja mekaaninen yhteensopivuus grafiitin ja C/C -komposiittimateriaalien kanssa, joten TAC -päällystettä käytetään laajasti ilmailu- ja avaruussuojauksessa, yksikristallikasvussa ja epitaksiaalireaktoreissa, kuten Aixtron, LPE EPI -reaktori puolijohdeteollisuudessa. 


TAC -päällystetyllä grafiitissa on parempi kemiallinen korroosionkestävyys kuin paljain kivimusteella tai sic -päällystetyllä grafiittia, sitä voidaan käyttää vakaasti 2200 °: n korkeassa lämpötilassa, ei reagoi monien metallielementtien kanssa, on kolmas sukupuolen yhden kidekasvun, epitaksia ja kiekkojen etsityspaikan parasta pinnoituksen kohtaus, CAN -lämpötilan ja epäpuhtauden hallinnan prosessit, prep -preping kiekot. Se soveltuu erityisesti GAN- tai ALN -yksittäisten kidejen kasvattamiseen MOCVD -laitteissa ja sic -yksittäisissä kideissä PVT -laitteissa, ja kasvatettujen yksikiden laatu on selvästi parantunut.


TAC -pinnoite ja sic -päällyste varaosat, joita voimme tehdä:

TaC coating and SiC coating Spare parts


TAC -pinnoitteen parametri:

TAC -pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet
TAC -pinnoitustiheys 14.3 (g/cm³)
Erityinen säteily 0.3
Lämmön laajennuskerroin 6.3 10-6/K
TAC -pinnoitteen kovuus (HK) 2000 HK
Vastus 1 × 10-5Ohm*cm
Lämmönvakaus <2500 ℃
Grafiitin koon muutokset -10 ~ -20um
Pinnoitteen paksuus ≥20um tyypillinen arvo (35um ± 10um)


KäynnistääPuolijohde -sirun epitaksiteollisuusketju Teollisuusketju:

VeTek Semiconductor chip epitaxy industry chain Industrial Chain


IT -puolijohdeTAC -päällyste jalustan tukilevyTuotantokauppa

VeTek Semiconductor TaC Coating Pedestal Support Plate Production Shop


Hot Tags: TaC Coating Pedestal Support Plate
Lähetä kysely
Yhteystiedot
Jos sinulla on kysyttävää piikarbidipinnoitteesta, tantaalikarbidipinnoitteesta, erikoisgrafiitista tai hinnastosta, jätä meille sähköpostisi, niin otamme sinuun yhteyttä 24 tunnin kuluessa.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept