Huokoisella tantaalikarbidilla (TaC) päällystetty grafiittirengas

Tuotteen ominaisuudet

• Perusvarusteet:Tarkoitettu PVT-tekniikalla toimiville SiC-yksikidekasvatusuuneille.
• Ensisijainen sovellus:Soveltuu lämpökenttäjärjestelmiin kolmannen sukupolven puolijohteiden piikarbidikiteiden kasvattamiseen.
• Vakaus korkeissa lämpötiloissa:TaC-pinnoite säilyttää rakenteellisen eheyden erittäin korkeissa lämpötiloissa, mikä tukee pitkäkestoista käyttöä vaativissa lämpöympäristöissä.
• Korroosiosuojaus:Tiheä CVD TaC -kerros suojaa grafiittisubstraattia piihöyryltä, hiiltä sisältäviltä kaasuilta ja muilta piikarbidin kasvun aikana kohdattavilta syövyttäviltä lajeilta.
• Lämpökentän suorituskyky:Huokoinen grafiittipohja edistää lämmön jakautumista ja höyryn siirtoa, mikä auttaa ylläpitämään vakaat kasvuolosuhteet.
• Matala kontaminaatio:Erittäin puhtaat lähtöaineet ja tiheä pinnoite rajoittavat epäpuhtauksien vapautumista ja hiukkasten irtoamista, mikä parantaa kiteiden laatua.
• Pidennetty käyttöikä:TaC-kerros parantaa hapettumisenkestävyyttä, pinnan kovuutta ja yleistä kestävyyttä korkeissa lämpötiloissa.
• Pinnoitteen tarttuvuus:CVD-prosessi tuottaa vahvan sidoksen TaC-kalvon ja grafiittisubstraatin välille.
• Mukautetut asetukset:Mitat, rakenteelliset yksityiskohdat ja pinnoitteen tekniset tiedot voidaan säätää vastaamaan erilaisia ​​piikarbidikasvatusuunien vaatimuksia.

Tekniset tiedot

Sovellukset

VETEK-huokoista TaC-pinnoitettua grafiittirengasta käytetään pääasiassa:

• SiC yksikidekasvatus PVT:n kautta
• Kolmannen sukupolven puolijohteiden valmistus
• SiC-substraattien tuotanto
• Lämpökenttäjärjestelmät kiteenkasvatusuuneissa
• Korkean lämpötilan puolijohdekäsittely
• Kehittyneet grafiitin kuumavyöhykekomponentit

FAQ

1. Mikä on huokoinen TaC-pinnoitettu grafiittirengas?

Se on lämpökenttäkomponentti piikarbidikidekasvatusuuneihin. Siinä yhdistyy huokoinen grafiittirakenne CVD TaC -pinnoitteeseen, joka takaa lämmönhallinnan ja suojan korkean lämpötilan korroosiolta.

2. Miksi käyttää TaC-pinnoitetta piikarbidikiteiden kasvattamiseen?

TaC tarjoaa kestävyyttä korkeissa lämpötiloissa ja kemikaalien kestävyyttä. Se suojaa grafiittia piihöyryn hyökkäykseltä ja auttaa ylläpitämään puhdasta, vakaata kasvuympäristöä.

3. Mitä huokoinen grafiittirakenne tarjoaa?

Huokoinen rakenne tukee lämmön jakautumista ja kaasun kuljetusta uunissa, mikä edistää vakaata piikarbidin kiteiden kasvua.

4. Voiko VETEK valmistaa räätälöityjä TaC-pinnoitettuja grafiittirenkaita?

Kyllä. VETEK tarjoaa räätälöinnin asiakkaiden piirustusten, uunien suunnitelmien ja prosessitarpeiden perusteella, mukaan lukien mitat, alustakokoonpano ja pinnoiteparametrit.