Tac -päällystys Chuck

Vetek Semiconductorin TAC -päällystys Chuck on ihanteellinen ratkaisu poikkeuksellisten tulosten saavuttamiseen sic Epi -prosessissa. Tantaalikarbidipinnoitteellaan, korkean lämpötilan vastustuskyvyn ja kemiallisen inerttinsä avulla tuotteemme antaa sinulle mahdollisuuden tuottaa korkealaatuisia kiteitä tarkkuudella ja luotettavuudella.

TAC -tantaalikarbidi on materiaali, jota käytetään yleisesti epitaksiaalilaitteiden sisäosien pinnan päällystämiseen. Sillä on seuraavat ominaisuudet:

● Erinomainen korkean lämpötilankestävyys: Tantaalikarbidipinnoite kestää lämpötilat jopa 2200 ° C: seen, mikä tekee niistä ihanteellisia sovelluksiin korkean lämpötilan ympäristöissä, kuten epitaksiaalireaktiokammioissa.

● Kovuus: Tantaalikarbidin kovuus saavuttaa noin 2000 HK: n, mikä on paljon vaikeampaa kuin yleisesti käytetty ruostumaton teräs tai alumiiniseos, joka voi tehokkaasti estää pinnan kulumista.

● Vahva kemiallinen vakaus: Tantaalikarbidipinnoite toimii hyvin kemiallisesti syövyttämisympäristöissä ja voi pidentää huomattavasti epitaksiaalilaitteiden komponenttien käyttöikää.

● Hyvä sähkönjohtavuus: Pinnoituspinnalla on hyvä sähkönjohtavuus, mikä edustaa sähköstaattista vapautumista ja lämmönjohtavuutta.

Nämä ominaisuudet tekevät tac -tanaalikarbidipinnoitteesta ihanteellisen materiaalin kriittisten osien, kuten sisäisten holkkien, reaktiokammion seinämien ja epitaksiaalilaitteiden lämmityselementtien valmistukseen. Päätämällä nämä komponentit TAC: lla, epitaksiaalilaitteiden yleistä suorituskykyä ja käyttöiän käyttöä voidaan parantaa.

Piekarbidien epitaksissa TAC -päällystyspala voi myös olla tärkeä rooli. Pintapäällyste on sileä ja tiheä, mikä edistää korkealaatuisten piikarbidikalvojen muodostumista. Samanaikaisesti TAC: n erinomainen lämmönjohtavuus voi auttaa parantamaan lämpötilan jakautumisen tasaisuutta laitteiden sisällä, parantaen siten epitaksiaaliprosessin lämpötilanhallintatarkkuutta ja lopulta saavuttaa korkealaatuisempi laatupiikarbidi -epitaksiaalikerroksen kasvu.

Vetek Semiconductor's Products -kaupat: