Web-valikko

Tuotehaku

Kieli

Tuotteet
CVD-tantaalikarbidilla (TaC) päällystetty suskeptori
  • CVD-tantaalikarbidilla (TaC) päällystetty suskeptoriCVD-tantaalikarbidilla (TaC) päällystetty suskeptori
  • CVD-tantaalikarbidilla (TaC) päällystetty suskeptoriCVD-tantaalikarbidilla (TaC) päällystetty suskeptori
  • CVD-tantaalikarbidilla (TaC) päällystetty suskeptoriCVD-tantaalikarbidilla (TaC) päällystetty suskeptori

CVD-tantaalikarbidilla (TaC) päällystetty suskeptori

VETEK CVD TaC Coated Susceptor yhdistää erittäin puhtaan isostaattisen grafiittisubstraatin tiheään CVD-tantaalikarbidipinnoitteeseen (TaC), joka tarjoaa poikkeuksellisen lämpöstabiilisuuden, korroosionkestävyyden ja vähäisen hiukkasmuodostuksen vaativaan puolijohteen epitaksiin. Suunniteltu SiC, GaN ja AlN epitaksiaaliseen kasvuun, se minimoi kontaminaation, parantaa kiekkojen lämpötilan tasaisuutta ja pidentää komponenttien käyttöikää korkeissa lämpötiloissa MOCVD- ja CVD-prosesseissa.
Lähetä kysely
Tuotteen Kuvaus

Tärkeimmät ominaisuudet

• Korkean lämpötilan vakaus: Säilyttää vakaan suorituskyvyn pitkittyneissä korkean lämpötilan käsittelyolosuhteissa.
• Korroosionkestävyys: Tiheä TaC-pinnoite tarjoaa tehokkaan suojan syövyttäviä prosessikaasuja vastaan.
• Matala hiukkasten muodostus: Tiheä pinnoiterakenne auttaa vähentämään kontaminaatiota epitaksiaalisen kasvun aikana.
• Erinomainen lämpötasaisuus: Tukee tasaista lämmön jakautumista prosessin yhtenäisyyden parantamiseksi.
• Pitkä käyttöikä: Korkea kulutuskestävyys vähentää huoltoa ja pidentää käyttöjaksoja.


Sovellukset

Tyypillisiä sovelluksia ovat:

• SiC Epitaksiaalinen kasvu

• GaN MOCVD -epitaksi

• AlN Epitaksiaalinen kasvu

• Kolmannen sukupolven puolijohteiden valmistus

• Tehokas elektroniikka

• RF-laitteet

• MicroLED-tuotanto

• Tutkimus- ja pilottituotantojärjestelmät


Yhteensopivat laitteet

Yhteensopivia alustoja ovat:

• Aixtron

• LPE

• Veeco

• AMEC

• NuFlare

• Mukautetut CVD- ja MOCVD-reaktorit


Saatavilla myös:

• Kiekkokannattimet

• Planetaarisuskeptorit

• Piippususkeptorit

• Kiertolevyt

• Half-Moon osat

• Peitelevyt

• Grafiittikokoonpanot

• Mukautetut lämpökenttäkomponentit


Tekniset tiedot

Alustan materiaali

Erittäin puhdasta isostaattista grafiittia

Pinnoitemateriaali

CVD-tantaalikarbidi (TaC)

Pinnoitteen paksuus
 20–40 μm (muokattavissa)
Pinnoitteen puhtaus
 Jopa 99,9995 %
Maksimi käyttölämpötila

>2000°C (inertti ilmakehä)

Tiheys
 14,3 g/cm³
Kovuus
 ~2000 HK
Lämpölaajenemiskerroin
 6,3 × 10⁻⁶/K
Sähkövastus
 1 × 10⁻⁵ Ω·cm
Saatavilla koot
 Mukautettu
Tyypilliset sovellukset
 SiC, GaN, AlN Epitaxy

Usein kysytyt kysymykset

1. Mikä on CVD TaC -pinnoitettu suskeptori?

Erittäin puhdas grafiittikomponentti, joka on suojattu tiheällä CVD TaC -pinnoitteella, jota käytetään kiekon kantajana epitaksiaalisen kasvun aikana.

2. Miksi käyttää TaC coaapiikarbidipinnoitteen sijaan?

TaC tarjoaa korkeamman lämmönkestävyyden, erinomaisen kemiallisen stabiilisuuden ja pidemmän käyttöiän.

3.Mitkä puolijohdeprosessit käyttävät TaC-c:täoated suskeptorit?

SiC epitaksi, GaN MOCVD, AlN epitaksi ja muut korkean lämpötilan kiteiden kasvuprosessit.

4. Voiko VETEK valmistaa räätälöityjä suskeptoreita?

Kyllä. Tarjoamme räätälöityjä suunnitelmia asiakkaan piirustusten ja prosessivaatimusten perusteella.

5. Mitä reaktorimerkkejä tuetaan?

Aixtron, LPE, Veeco, AMEC, NuFlare ja muut valtavirran järjestelmät.


Hot Tags: CVD TaC-päällystetty suskeptori, TaC-päällystetty grafiittisuskeptori, puolijohde-suskeptori, SiC-epitaksisuskeptori, MOCVD-suskeptori, grafiittikiekkojen kantaja, tantaalikarbidipinnoite, epitaksiaalinen suskeptori, puolijohdegrafiittiosat
Aiheeseen liittyvä luokka
Lähetä kysely
Yhteystiedot
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
NIMI WuYi TianYao New Material Tech.Co.,Ltd.
LISÄTÄ Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiangin maakunta, Kiina
PUH +86-579-87223657
FAKSI +86-579-87223657
Sera +86-15988690905
Tina +86-18069220752
Sähköposti anny@veteksemi.com
WEB www.veteksemicon.com
Liittyvät tuotteet
Tantaalikarbidilla päällystetty planeettapyörimislevy
Tantaalikarbidilla päällystetty planeettapyörimislevy Katso lisää >>
Tantaalikarbidilla päällystetty puolikuuosa LPE:lle
Tantaalikarbidilla päällystetty puolikuuosa LPE:lle Katso lisää >>
TaC-pinnoitettu rengas SiC-epitaksiaaliselle reaktorille
TaC-pinnoitettu rengas SiC-epitaksiaaliselle reaktorille Katso lisää >>
TAC -päällystetty ohjausrengas
TAC -päällystetty ohjausrengas Katso lisää >>
Tantaalikarbidipinnoituskansi
Tantaalikarbidipinnoituskansi Katso lisää >>
Tantaalikarbidilla päällystetty kansi
Tantaalikarbidilla päällystetty kansi Katso lisää >>
Uutissuositukset
Miksi piikarbidilla päällystetyt grafiittisuskeptorit ovat välttämättömiä puolijohdeepitaksialle?
Miksi piikarbidilla päällystetyt grafiittisuskeptorit ovat välttämättömiä puolijohdeepitaksialle?Katso lisää >>
Perustuu 8-tuumaiseen piikarbidiin yksikiteisen kasvun uunitekniikkaan
Perustuu 8-tuumaiseen piikarbidiin yksikiteisen kasvun uunitekniikkaanKatso lisää >>
SIC -epitaksiaalisen kasvun uunin erilaiset tekniset reitit
SIC -epitaksiaalisen kasvun uunin erilaiset tekniset reititKatso lisää >>
Mikä on CVD TAC -päällyste? - Veteksemi
Mikä on CVD TAC -päällyste? - VeteksemiKatso lisää >>
Mitä materiaaleja käytetään puolijohdekeraamisissa komponenteissa?
Mitä materiaaleja käytetään puolijohdekeraamisissa komponenteissa?Katso lisää >>
Kuinka sic -pinnoite parantaa hiilen huovan hapettumiskestävyyttä？
Kuinka sic -pinnoite parantaa hiilen huovan hapettumiskestävyyttä？Katso lisää >>
X
Käytämme evästeitä tarjotaksemme sinulle paremman selauskokemuksen, analysoidaksemme sivuston liikennettä ja mukauttaaksemme sisältöä. Käyttämällä tätä sivustoa hyväksyt evästeiden käytön.Tietosuojakäytäntö
HylätäHyväksyä