TaC-pinnoitettu grafiittikiekkopeiterengas

Tekniset ydinedut

• Poikkeuksellinen kemiallinen kestävyys: Suunniteltu kestämään ankaria etsauskaasuja (H2, NH3, HCl) lämpötiloissa 1200°C - 2000°C.

• Lämpölaajenemisen sovitus: Patentoitu CVD-prosessimme varmistaa, että TaC-pinnoitteella on optimoitu CTE (lämpölaajenemiskerroin) yhteensopivuus grafiittisubstraatin kanssa, mikä estää kuoriutumisen tai halkeilun nopean lämpökierron aikana.

• Ylivoimainen hiukkashallinta: Sulkemalla huokoisen grafiitin kokonaan TaC-kerros eliminoi hiukkasten irtoamisen, mikä lisää suoraan kiekon saantoa ja vähentää reaktorin seisokkeja.

• Pidentynyt käyttöikä: Erittäin kulutusta kestävä pinta, joka kestää toistuvia puhdistusjaksoja ja tarjoaa huomattavasti alhaisemmat omistuskustannukset (CoO) verrattuna pinnoittamattomiin tai piikarbidilla päällystettyihin vaihtoehtoihin.

Tantaalikarbidi (TaC) pinnoite mikroskooppisessa poikkileikkauksessa

TaC Coated Graphite Wafer Cover Ring -renkaan tuoteparametri

Miksi valita TaC-suojarenkaamme?

Ymmärrämme, että puolijohteiden valmistuksessa luotettavuus vastaa kannattavuutta. TaC-pinnoitettujen grafiittikiekkojen peiterenkaamme on testattu erässä pinnoitteen tiheyden ja puhtauden suhteen. Olitpa siirtymässä 6 tuuman kiekkojen tuotannosta 8 tuuman kiekkojen tuotantoon tai optimoimassa korkean lämpötilan MOCVD-prosessia, renkaamme tarjoavat lämpö- ja kemiallisen suojauksen, joka tarvitaan maailmanluokan epitaksia varten.