Piikarbidipinnoite

Veteksemicon SiC -pinnoitettu grafiittisuskeptori ASM:lle on ydinkantokomponentti puolijohteiden epitaksiaalisissa prosesseissa. Tämä tuote hyödyntää patentoitua pyrolyyttistä piikarbidipinnoitusteknologiaamme ja tarkkoja työstöprosessejamme, jotka takaavat erinomaisen suorituskyvyn ja erittäin pitkän käyttöiän korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä prosessiympäristöissä. Ymmärrämme syvästi epitaksiaalisten prosessien tiukat vaatimukset substraatin puhtaudesta, lämpöstabiilisuudesta ja yhtenäisyydestä ja olemme sitoutuneet tarjoamaan asiakkaille vakaita, luotettavia ratkaisuja, jotka parantavat laitteiden yleistä suorituskykyä.

Veteksemicon-tarkennusrengas on suunniteltu erityisesti vaativiin puolijohdeetsauslaitteisiin, erityisesti piikarbidin etsaussovelluksiin. Asennettu sähköstaattisen istukan (ESC) ympärille, lähelle kiekkoa, sen ensisijainen tehtävä on optimoida sähkömagneettisen kentän jakautuminen reaktiokammiossa varmistaen tasaisen ja kohdistetun plasmatoiminnan koko kiekon pinnalla. Tehokas tarkennusrengas parantaa merkittävästi etsausnopeuden tasaisuutta ja vähentää reunavaikutuksia, mikä lisää suoraan tuotteen saantoa ja tuotannon tehokkuutta.

Veteksemicon Silicon Carbide Carrier Plate For LED-etsaus, erityisesti suunniteltu LED-sirun valmistukseen, on syövytysprosessin ydin. Valmistettu tarkasti sintratusta erittäin puhtaasta piikarbidista, se tarjoaa poikkeuksellisen kemiallisen kestävyyden ja mittapysyvyyden korkeissa lämpötiloissa ja vastustaa tehokkaasti vahvojen happojen, emästen ja plasman korroosiota. Sen alhaiset kontaminaatioominaisuudet takaavat korkean tuoton LED-epitaksiaalisille kiekkoille, kun taas sen kestävyys, joka ylittää huomattavasti perinteisten materiaalien kestävyyden, auttaa asiakkaita alentamaan yleisiä käyttökustannuksia, mikä tekee siitä luotettavan valinnan parantaa syövytysprosessin tehokkuutta ja yhtenäisyyttä.

Veteksemi kiinteä SiC -tarkennusrengas parantaa merkittävästi etsauksen tasaisuutta ja prosessin vakautta ohjaamalla tarkasti sähkökenttää ja ilmavirtaa kiekon reunassa. Sitä käytetään laajalti piin, eristeiden ja yhdistepuolijohdemateriaalien tarkkuusetsausprosesseissa, ja se on avainkomponentti massatuotannon tuoton ja laitteiden pitkän aikavälin luotettavan toiminnan varmistamiseksi.

CVD-sic-päällystetty grafiittisuihkupää Vetkekemiconista on korkean suorituskyvyn komponentti, joka on erityisesti suunniteltu puolijohdekemiallisiin höyryn laskeutumisprosesseihin (CVD). Valmistettu korkean puhtaan grafiitista ja suojattu kemiallisella höyryn laskeutumisella (CVD) piikarbidilla (sic) pinnoitteella, tämä suihkupää tarjoaa erinomaisen kestävyyden, lämmön stabiilisuuden ja syövyttävien prosessien kaasujen vastustuskyvyn. Innolla lisäkonsultointiasi.

Veeksemiconin piikarbidipinnoitteen haltija on suunniteltu tarkkuuden ja suorituskyvyn saavuttamiseksi edistyneissä puolijohdeprosesseissa, kuten MOCVD, LPCVD ja korkean lämpötilan hehkutus. Yhtenäisellä CVD-sic-pinnoitteella tämä kiekkopidike varmistaa poikkeuksellisen lämmönjohtavuuden, kemiallisen inertin ja mekaanisen lujuuden-välttämätöntä saastumattomalle, korkean tuoton kiekkojen prosessoinnille.