Kiinteät SiC-tarkennusrenkaat

1. Tuotteen ominaisuudet

● Puhtaus (GDMS-varmennettu): > 99,99995 % (6N-7N asti) | Pitää kammion puhtaana metallijäämistä.

● Rakenteellinen kiinteys: ≥3,21 g/cm3 | Saavuttaa teoreettisen tiheyden; ei jätä tyhjiä kaasuja tai mikrohiukkasia piiloon.

● Lämpösäätö: 200 - 300 W/m·K | Levittää lämpöä nopeasti pitääkseen kiekon vanteen lämpötilat täysin tasaisina.

● Sähköinen alue: 0,01 - 10 Ωcm | Mukautuva resistiivisyys plasmavaipan vakauttamiseksi ja RF-yhteyden parantamiseksi. Pinnan jäykkyys: ≥2500 HV | Kestää hankausta kulumista jatkuvien kuivaetsausjaksojen aikana.

2. Sovelluksetl 

● Edistynyt prosessiplasmaetsaus

● Ohutkalvopinnoitusprosessit (PECVD/ALD)

● Kiinteät piikarbiditsyövytysrenkaat ovat edistyksellisen sirunvalmistuksen keskeisiä kulutusosia. Niitä käytetään varmistamaan kiekkojen reunaprosessien tasaisuus, parantamaan tuottoa ja pidentämään komponenttien käyttöikää plasmaetsaus- ja pinnoitusprosesseissa.

3. Fab-haavoittuvuuksien ratkaiseminen

● Ongelma: Kallis joutoaika nopean osien eroosion takia

Korjaus: Vetekin CVD:llä kasvatettu rakenne osoittaa eroosiotahtia 10–20 kertaa hitaammin kuin kvartsi ja 3–5 kertaa hitaampi kuin bulkkipii. Fabs saa pidemmät tuotantoajot ja paljon vähemmän hätäkammion tuuletusaukkoja.

● Ongelma: Edge Yield Collapse ("The Edge Effect")

Korjaus: Rengaspinnan hidas, ennustettava kuluminen estää plasmavaippaa kallistumasta ajan myötä. Tämä säilyttää tiukat Critical Dimension (CD) -rajat aivan kiekon kehällä.

● Ongelma: Vika piikit sintrattujen osien irtoamisesta

Korjaus: Kaasufaasisynteesimme ei jätä jälkeensä raerajasideaineita tai metallisia täyteaineita. Ilman näitä heikkoja kohtia rengas ei hilseile tai aiheuta mikronaamiointivirheitä kiekon pintaan.

4. Räätälöity suunnittelutuki

● Tool Drop-In -integraatio: Räätälöity vastaamaan maailmanlaajuisten etserimerkkien, kuten Lam, AMAT ja TEL, tiukkoja välimäärityksiä.

● Resistanssin sovitus: Viritämme jokaisen erän sähköisen profiilin vastaamaan täydellisesti tiettyjä reseptiparametreja.

● Edistynyt viimeistely: käyttää erittäin puhdasta kemiallista mekaanista tasoitusta (CMP) tasoittaakseen karkeita pintoja, mikä vähentää hiukkasten määrää työkalun varhaisessa maustamisessa.

● Monimutkaiset muototekijät: Pidämme tiukat toleranssit (±0,01 mm) hankalia, monivaiheisia reunarenkaita ja lukitusrengasasennuksia varten.

Vetekin puolijohdevarasto: