Tuotteet

Piikarbidipinnoite

VeTek Semiconductor on erikoistunut ultrapuhtaiden piikarbidipinnoitetuotteiden tuotantoon. Nämä pinnoitteet on suunniteltu levitettäväksi puhdistetuille grafiitille, keramiikalle ja tulenkestävälle metallikomponentille.


Puhtaat pinnoitteemme on ensisijaisesti tarkoitettu käytettäväksi puolijohde- ja elektroniikkateollisuudessa. Ne toimivat suojakerroksena kiekkokannattimille, suskeptoreille ja lämmityselementeille ja suojaavat niitä syövyttäviltä ja reaktiivisilta ympäristöiltä, ​​joita kohdataan prosesseissa, kuten MOCVD ja EPI. Nämä prosessit ovat olennaisia ​​kiekkojen käsittelyssä ja laitevalmistuksessa. Lisäksi pinnoitteemme soveltuvat hyvin tyhjiöuuneihin ja näytelämmitykseen, joissa kohdataan suurtyhjiö, reaktiivinen ja happiympäristö.


VeTek Semiconductorilla tarjoamme kattavan ratkaisun edistyneillä konepajaominaisuuksillamme. Näin voimme valmistaa peruskomponentit grafiitista, keramiikasta tai tulenkestävästä metallista ja levittää SiC- tai TaC-keraamiset pinnoitteet talon sisällä. Tarjoamme myös asiakkaiden toimittamien osien pinnoituspalveluita, mikä varmistaa joustavuuden erilaisiin tarpeisiin.


Piikarbidipinnoitetuotteitamme käytetään laajalti Si-epitaksissa, SiC-epitaksissa, MOCVD-järjestelmässä, RTP/RTA-prosessissa, etsausprosessissa, ICP/PSS-etsausprosessissa, erilaisten LED-tyyppien prosessissa, mukaan lukien sininen ja vihreä LED, UV-LED ja syvä-UV. LED jne., joka on mukautettu LPE:n, Aixtronin, Veecon, Nuflaren, TEL:n, ASM:n, Annealsysin, TSI:n ja niin edelleen laitteisiin.


Voimme tehdä reaktorin osat:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Piikarbidipinnoitteella on useita ainutlaatuisia etuja:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



VeTek Semiconductor piikarbidipinnoitteen parametri

CVD SiC -pinnoitteen fysikaaliset perusominaisuudet
Omaisuus Tyypillinen arvo
Kristallirakenne FCC β-faasi monikiteinen, pääasiassa (111) orientoitu
SiC pinnoite Tiheys 3,21 g/cm³
SiC pinnoite Kovuus 2500 Vickersin kovuus (kuorma 500 g)
viljan koko 2-10 μm
Kemiallinen puhtaus 99,99995 %
Lämpökapasiteetti 640 J·kg-1·K-1
Sublimaatiolämpötila 2700℃
Taivutusvoima 415 MPa RT 4-piste
Youngin Modulus 430 Gpa 4pt taivutus, 1300 ℃
Lämmönjohtavuus 300 W·m-1·K-1
Lämpölaajeneminen (CTE) 4,5×10-6K-1

CVD SIC FILM CRYSTAL RAKENNE

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
MOCVD -epitaksiaalinen kiekko tarjoaa

MOCVD -epitaksiaalinen kiekko tarjoaa

Vetek Semiconductor on harjoittanut puolijohdetieteellisen epitaksiaalisen kasvuteollisuutta pitkään ja hänellä on rikas kokemus ja prosessitaidot MOCVD -epitaksiaalisten kiekkojen alttiiden tuotteissa. Nykyään Vetek -puolijohdosta on tullut Kiinan johtava MOCVD -epitaksiaalikiekko -alttiiden valmistaja ja toimittaja, ja sen tarjoamilla kiekkojen alttiilla on ollut tärkeä rooli GAN -epitaksiaalisten kiekkojen ja muiden tuotteiden valmistuksessa.
Pystysuora uunin sic -päällystetty rengas

Pystysuora uunin sic -päällystetty rengas

Pystyuunin SiC-pinnoitettu rengas on erityisesti pystysuoraan uuniin suunniteltu komponentti. VeTek Semiconductor voi tehdä sinulle parhaasi sekä materiaalien että valmistusprosessien suhteen. VeTek Semiconductor on johtava pystysuoran uunin piikarbidipinnoitettujen renkaiden valmistaja ja toimittaja Kiinassa, ja se on varma, että voimme tarjota sinulle parhaat tuotteet ja palvelut.
Gan -epitaksiaalinen Undertaker

Gan -epitaksiaalinen Undertaker

Vetek Semiconductor Gan -epitaksiaalisen herkkyyden johtavana GAN-epitaksiaalisessa alttiita ja valmistajana Kiinassa on GAN-epitaksiaalista kasvuprosessia, jota käytetään epitaksiaalisten laitteiden, kuten CVD: n ja MOCVD: n, tukemiseen suunniteltu erittäin tarkkuus herkkailija. GAN-laitteiden (kuten tehoelektronisten laitteiden, RF-laitteiden, LED-laitteiden jne.) Valmistuksessa GAN-epitaksiaaliherkkijä kantaa substraattia ja saavuttaa GAN-ohutkalvojen korkealaatuisen laskeutumisen korkean lämpötilan ympäristössä. Tervetuloa lisäkyselysi.
Sic -päällystetty kiekko -kantoaalto

Sic -päällystetty kiekko -kantoaalto

Johtavana piikarbidilla päällystettyjen kiekkojen alustan toimittajana ja valmistajana Kiinassa VeTek Semiconductorin SiC-pinnoitettu kiekkoteline on valmistettu korkealaatuisesta grafiitista ja CVD SiC -pinnoitteesta, jolla on superstabiilisuus ja joka voi toimia pitkään useimmissa epitaksiaalisissa reaktoreissa. VeTek Semiconductorilla on alan johtavat prosessointiominaisuudet ja se pystyy täyttämään asiakkaiden erilaisia ​​räätälöityjä vaatimuksia piikarbidilla päällystetyille kiekkotelineille. VeTek Semiconductor odottaa innolla pitkäaikaisen yhteistyösuhteen luomista kanssasi ja yhdessä kasvamista.
SiC Coating grafiitti MOCVD lämmitin

SiC Coating grafiitti MOCVD lämmitin

Vetek Semiconductor tuottaa sic -pinnoitusgrafiitti -MOCVD -lämmittimen, joka on MOCVD -prosessin avainkomponentti. Perustuen korkean puhtaan grafiittialustaan, pinta päällystetään korkean puhtaan sic-pinnoitteella erinomaisen korkean lämpötilan stabiilisuuden ja korroosionkestävyyden aikaansaamiseksi. Laadukkaiden ja erittäin räätälöityjen tuotepalvelujen avulla Vetek Semiconductorin sic -pinnoitusgrafiitti MOCVD -lämmitin on ihanteellinen valinta MOCVD -prosessin vakauden ja ohuiden kalvojen laskeutumisen laadun varmistamiseksi. Vetek Semiconductor odottaa tulevan kumppaniksi.
Piharbidilla päällystetty EPI -alttiu

Piharbidilla päällystetty EPI -alttiu

Vetek Semiconductor on johtava SIC -pinnoitustuotteiden valmistaja ja toimittaja Kiinassa. Vetek Semiconductorin piikarbidilla päällystetyllä EPI -alttiulla on alan huippulaatu, se sopii monille epitaksiaalisten kasvuuunien tyyleille ja tarjoaa erittäin räätälöityjä tuotepalveluita. Vetek Semiconductor odottaa saavansa pitkäaikaisen kumppanisi Kiinassa.
Ammattimaisena Piikarbidipinnoite valmistajana ja toimittajana Kiinassa meillä on oma tehdas. Tarvitsetko räätälöityjä palveluita alueen erityistarpeiden tyydyttämiseksi tai haluat ostaa edistyneitä ja kestävää Piikarbidipinnoite, joka on valmistettu Kiinassa, voit jättää meille viestin.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept