Piikarbidipinnoite

CVD-sic-päällystetty grafiittisuihkupää Vetkekemiconista on korkean suorituskyvyn komponentti, joka on erityisesti suunniteltu puolijohdekemiallisiin höyryn laskeutumisprosesseihin (CVD). Valmistettu korkean puhtaan grafiitista ja suojattu kemiallisella höyryn laskeutumisella (CVD) piikarbidilla (sic) pinnoitteella, tämä suihkupää tarjoaa erinomaisen kestävyyden, lämmön stabiilisuuden ja syövyttävien prosessien kaasujen vastustuskyvyn. Innolla lisäkonsultointiasi.

Veeksemiconin piikarbidipinnoitteen haltija on suunniteltu tarkkuuden ja suorituskyvyn saavuttamiseksi edistyneissä puolijohdeprosesseissa, kuten MOCVD, LPCVD ja korkean lämpötilan hehkutus. Yhtenäisellä CVD-sic-pinnoitteella tämä kiekkopidike varmistaa poikkeuksellisen lämmönjohtavuuden, kemiallisen inertin ja mekaanisen lujuuden-välttämätöntä saastumattomalle, korkean tuoton kiekkojen prosessoinnille.

Veeksemicon High-The SIC Edge -renkaat, jotka on suunniteltu erityisesti puolijohde-etsauslaitteille, ominaisuus erinomainen korroosionkestävyys ja lämpöstabiilisuus, parantaa merkittävästi kiekkojen saantoa

Vekosemiconin SIC -päällystetyn kiekko -kantoaaltolaitteella etsausta varten johtavana kiinalaisena valmistajana ja toimittajana piidikarbidipinnoitteisiin on korvaamaton ydinrooli etsausprosessissa sen erinomaisella korkean lämpötilan stabiilisuudella, erinomaisella korroosionkestävyydellä ja korkealla lämmönjohtavuudella.

Veeksemiconin CVD-sic-päällystetty kiekko-alttiu on huippuluokan ratkaisu puolijohdetiedoston epitaksiaalisiin prosesseihin, jotka tarjoavat erittäin korkean puhtauden (≤100PPB, ICP-E10-sertifioitu) ja poikkeuksellisen lämpö-/kemiallisen stabiilisuuden Contaminaatioresistentin kasvua GAN: n, SIC: n ja silikonipohjaisten epi-layerien kanssa. Se on suunniteltu tarkkuus CVD -tekniikalla, se tukee 6 ”/8”/12 ”kiekkoja, varmistaa minimaalisen lämpöjännityksen ja kestää äärimmäiset lämpötilat 1600 ° C: seen.

SiC -päällystetty planeetta -herkkomme on ydinkomponentti puolijohteiden valmistuksen korkean lämpötilan prosessissa. Sen suunnittelussa yhdistetään grafiittialusta piiharbidipinnoitteen kanssa lämmönhallinnan suorituskyvyn, kemiallisen stabiilisuuden ja mekaanisen lujuuden kattavan optimoinnin saavuttamiseksi.