Kiekkoteline VEECO MOCVD:lle (LED Epitaxy)

Tuotteen ominaisuudet:

1. Erittäin puhdas grafiittipohja tiheällä CVD SiC -kerroksella
2. Hyvä lämpötasaisuus vakaalle LED-epitaksialle
3. Kestää NH3:a, HCl:a ja muita prosessissa käytettyjä syövyttäviä kaasuja
4. Vähäinen hiukkasten irtoaminen ja pitkä käyttöikä
5. Taskumallit voidaan räätälöidä erikokoisille kiekkoille ja reaktorialustoille
6. Toimii hyvin pitkäaikaisessa, korkean lämpötilan MOCVD-käytössä

Sovellukset:
Näitä kiekon kantajia käytetään laajalti LED- ja yhdistepuolijohteiden epitaksissa, mukaan lukien:

• GaN LED-epitaksi
• Sinivihreä LED-epitaksi
• Syvä UV-LED-kasvu
• Si-pohjainen GaN-epitaksi
• Yleinen yhdistepuolijohteiden valmistus

Mukautetut kantajaratkaisut sopivat useille LED MOCVD -alustoille, kuten:

• VEECO K465i
• VEECO K700
• VEECO K868
• Aixtron G4/G5
• A7/Unimax

Tekniset edut:

1. CVD SiC pinnoitetekniikkaa, joka antaa sinulle hyvän tiheyden ja puhtauden
2. Pinnoitteen paksuuden vaihtelu ±10 μm:n sisällä – auttaa lämpösuorituskykyä pysymään vakaana
3. CNC-työstö 3 μm:n tarkkuudella takaa hyvän kiekon sovituksen ja pyörimisvakauden
4. Pinnoite tarttuu hyvin ja kestää halkeilua toistuvien korkean lämpötilan MOCVD-jaksojen jälkeen
5. Käsittelee NH₃-, HCl- ja muita ankaria epitaksiympäristöjä ilman ongelmia
6. Vähäinen hiukkastuotanto ja puhdas pinta tukevat korkeaa tuottoaLED-epitaksi
7. Voi päällystää suuria tai mukautettuja kokoja eri reaktorialustoille ja kiekkoasetteluille
8. Pitkä kokemus koräätälöityjä grafiitti- ja SiC-pinnoitettuja osiaLED- ja yhdistepuolijohteiden epitaksia varten

FAQ:
1. Mitä kiekkoteline tekee?MOCVDLED-epitaksi?

V: Se pitää ja pyörittää kiekkoja MOCVD-reaktorin sisällä ja auttaa pitämään lämpötilan tasaisena epitaksiaalisen kasvun aikana.

2. Miksi käyttää piikarbidilla päällystettyjä grafiittikiekkojen alustaa MOCVD:ssä?

V:CVD SiC pinnoiteantaa paremman korroosionkestävyyden, lämmönkestävyyden ja kestävyyden. Se auttaa myös vähentämään hiukkaskontaminaation määrää korkean lämpötilan epitaksissa.

3. Valmistaako Vetek Semiconductor räätälöityjä kiekkotelineitä?
V: Kyllä. Voimme suunnitella mukautettuja kannattimia reaktorialustan, kiekon koon, taskujen layoutin ja muiden prosessitarpeiden perusteella.