Piikarbidipinnoite

Veeksemiconin CVD-sic-päällystetty kiekko-alttiu on huippuluokan ratkaisu puolijohdetiedoston epitaksiaalisiin prosesseihin, jotka tarjoavat erittäin korkean puhtauden (≤100PPB, ICP-E10-sertifioitu) ja poikkeuksellisen lämpö-/kemiallisen stabiilisuuden Contaminaatioresistentin kasvua GAN: n, SIC: n ja silikonipohjaisten epi-layerien kanssa. Se on suunniteltu tarkkuus CVD -tekniikalla, se tukee 6 ”/8”/12 ”kiekkoja, varmistaa minimaalisen lämpöjännityksen ja kestää äärimmäiset lämpötilat 1600 ° C: seen.

SiC -päällystetty planeetta -herkkomme on ydinkomponentti puolijohteiden valmistuksen korkean lämpötilan prosessissa. Sen suunnittelussa yhdistetään grafiittialusta piiharbidipinnoitteen kanssa lämmönhallinnan suorituskyvyn, kemiallisen stabiilisuuden ja mekaanisen lujuuden kattavan optimoinnin saavuttamiseksi.

SIC-päällystetty tiivistysrengas epitaksille on korkean suorituskyvyn tiivistyskomponentti, joka perustuu grafiittiin tai hiilihiilikomposiitteihin, jotka on päällystetty korkean levyn piilarbidilla (sic) kemiallisella höyryn laskeutumisella (CVD), joka yhdistää grafiitin lämpöstabiilisuuden SIC: n äärimmäisen ympäristövastuksen kanssa (ja on suunniteltu puolijunktorien epitaksiaalilaitteisiin (E. E.G.

Veeksemicon yhden kiekon epi-grafiittiasertti on suunniteltu korkean suorituskyvyn piilarbidille (sic), galliumnitridille (GAN) ja muille kolmannen sukupolven puolijohde-epitaksiaaliprosessille, ja se on korkean tarkennuksen epitaksiaalisten arkkien keskeinen laakerikomponentti massatuotannossa.

Tärkeä komponentti, jota käytetään kiekkojen valmistusten etsausprosessissa, on plasman etsauskeskuksen rengas, jonka tehtävänä on pitää kiekko paikallaan plasmatiheyden ylläpitämiseksi ja kiekkojen sivujen saastumisen estämiseksi. VeteK -puolijohde tarjoaa plasman etsausrenkaan, jolla on erilaiset materiaalit, kuten monokisteiden silikoni, silikonikarbidi.

Vetek Semiconductor on Kiinan johtava SIC-päällystettyjen e-hakujen valmistaja ja toimittaja. SiC-päällystetty E-CHUCK on suunniteltu erityisesti Gan-kiekkojen etsausprosessiin, jolla on erinomainen suorituskyky ja pitkä käyttöikä, tarjotakseen monipuolisen tuen puolijohdevalmistuksellesi. Vahva prosessointikyky antaa meille mahdollisuuden tarjota sinulle haluamasi sic -keraaminen altis. Innolla tiedusteluasi.