CVD piikarbidilla (SiC) päällystetty grafiittisuihkupää

Tärkeimmät ominaisuudet

• Erittäin puhdas – SiC-pinnoite tiivistää grafiitin kokonaan, joten ei kaasua tai metallikontaminaatiota.

• Erinomainen kaasun jakautuminen – Jokainen suihkupää on koneistettu tuottamaan tasaisen kaasun nopeuden koko kiekon läpi.

• Erinomainen korroosionkestävyys – CVD SiC ei reagoi halogeenien tai prosessijäämien kanssa. Se kestää paljon kauemmin kuin paljas grafiitti tai kvartsi.

• Erinomainen lämpöteho – Pinnoite vastaa tiiviisti grafiitin lämpölaajenemista, joten se ei halkeile nopeiden lämpötilaramppien aikana.

• Tarkkuusvalmistus – Käytämme CNC-työstöä ja omaa CVD-pinnoitusta. Reikien halkaisijat ja kuviot pidetään tiukoissa toleransseissa.

Tekniset tiedot

Sovellukset

Näitä suihkupäitä käytetään:

• Puolijohde-CVD-järjestelmät (sekä tuotanto että T&K)

• PECVD-laitteet – matalan lämpötilan eristeet

• MOCVD-reaktorit – III-V-yhdisteet, kuten GaN, InP

• Silicon epitaxy (Si Epi) – teholaitteille ja CMOS:lle

• SiC epitaxy – korkeajännitetehoelektroniikka

• Yhdistetyt puolijohdekankaat

• Edistyksellinen pakkaus (esim. TSV-pinnoitus)

• Kaikki ohutkalvotyökalut, jotka tarvitsevat korroosionkestävän, erittäin puhtaan kaasunjakajan

Miksi valita VETEK?

• Emme ole kauppayhtiö. Kaikki – grafiitin työstyksestä lopulliseen CVD SiC -pinnoitukseen – tehdään talon sisällä. Tämä tarkoittaa, että hallitsemme laatua, toimitusaikaa ja kustannuksia.

• Täydellinen sisäinen valmistus – ei ulkoistamisyllätyksiä

• Kehittynyt pinnoitustekniikka – tiheä, rei'ittämätön CVD SiC

• Räätälöity tekninen tuki – lähetä meille suihkupääpiirustus tai pelkkä reaktorimalli

• Luotettava puolijohteiden toimitusketju – olemme toimittaneet tehtaita ja OEM-valmistajia vuosia

• Sinun ei tarvitse hyväksyä uutta mallia uudelleen joka kerta. Olemme jo pinnoittaneet suihkupäät useille yleisille alustoille (AMAT, TEL, LAM, ASM jne.).