8 tuuman CVD-piikarbidilla (SiC) päällystetty Epitaxy-ylärengas

8 tuuman SiC Epi Top Ringin tärkeimmät ominaisuudet

● Korkea puhtaus: vähintään 99,9995 %. Metalli ei siirry epi-kerrokseen. Tämä pitää kiekon kantoaineen keskittymisen siellä, missä sen on oltava.

● Hiukkasten esto: CVD-rakenne on tiivis. Ei huokosia. Se ei vuoda hiukkasia työkalun ollessa käynnissä. Tehtaat näkevät paremman tuoton tällä tavalla.

● Lämmönkestävyys: Rengas pysyy vakaana 1500°C:ssa. Matala CTE (lämpölaajeneminen) tarkoittaa, ettei vääntymistä nopeiden lämmitys-/jäähdytysjaksojen aikana.

● Kemiallinen stabiilisuus: Kiinteä CVD SiC kestää H2- ja HCl-kaasuja. Se kestää myös NH3:a. Siinä ei ole irrotettavaa pinnoitetta. Se ei hajoa ankarissa CVD-ympäristöissä.

● Komponenttien käyttöikä: Pinta on erittäin kova. Se kestää toistuvan HF/HCl-kemiallisen puhdistuksen. Tämä vähentää vaihtotiheyttä. Se myös alentaa tehtaan kokonaiskustannuksia.

Tekniset tiedot

Pinnoitteen paksuuden tasaisuus erien välillä on 10 um

Sovellukset

CVD SiC epi -ylärengasta käytetään laajalti:

● Silicon epitaxy (Si Epi) reaktorit

● Piikarbidiepitaksi (SiC Epi)

● MOCVD-järjestelmät

● CVD-pinnoituslaitteet

Yleinen pariksi seuraavien kanssa:

● Suskeptorit

● Kiekkotelineet

● Esilämmitä renkaat

● Epitaksireaktorit

Miksi käyttää VETEK SiC Epi Top Ringiä?

● Täysi valmistuskyky: 

Raaka-aineiden puhdistuksesta tarkkuuskoneistukseen ja CVD-pinnoitukseen VETEK ohjaa koko tuotantoprosessia varmistaakseen tasaisen puolijohdetason laadun.

● Suuri tarkkuus: 

Käytämme mikronitason koneistusta. CVD-paksuus on hyvin tasainen. Tämä saa jokaisen renkaan toimimaan täsmälleen samalla tavalla.

FAQ

(1) Mitä SiC epi -ylärengas tekee?

Rengas hallitsee lämmön ja kaasun virtausta. Se varmistaa, että ohut kalvo kasvaa tasaisesti kiekon poikki.

(2) Miksi CVD SiC on parempi kuin grafiitti?

Grafiitti on huokoista. Grafiitilla on huokosia ja se vapauttaa kaasua. Kiinteä CVD SiC on tiheää ja puhdasta. Se kestää paljon pidempään syövyttävissä työkaluissa.

(3). Voidaanko 8 tuuman piikarbidin ylärengasta mukauttaa?

Kyllä. Rakennamme sinun erityisten työkalupiirustusten mukaan. Voimme säätää geometriaa prosessisi perusteella.

(4). Mitkä teollisuudenalat käyttävät piikarbidin epitaksirenkaita?

Niitä käytetään pääasiassa puolijohteiden valmistuksessa, mukaan lukien teholaitteet, RF-laitteet ja piikarbidikiekkojen tuotanto.