Hapetus ja diffuusiouuni

Hapetus- ja diffuusiouuneja käytetään eri aloilla, kuten puolijohdelaitteilla, erillisillä laitteilla, optoelektronisilla laitteilla, sähkölaitteilla, aurinkokennoilla ja laaja-alaisella integroidulla piirin valmistuksella. Niitä käytetään prosesseihin, mukaan lukien diffuusio, hapettuminen, hehkutus, seostaminen ja kiekkojen sintraus.

Vetek Semiconductor on johtava valmistaja, joka on erikoistunut korkean puhtaan grafiitti-, piikarbidi- ja kvartsikomponenttien tuotantoon hapetus- ja diffuusiouunissa. Olemme sitoutuneet tarjoamaan korkealaatuisia uunikomponentteja puolijohde- ja aurinkosähköteollisuudelle, ja olemme pintapäällystekniikan eturintamassa, kuten CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrocarbon jne.

Vetek -puolijohde -piikarbidikomponenttien edut:

● Korkea lämpötilankestävyys (jopa 1600 ℃)

● Erinomainen lämmönjohtavuus ja lämmönvakaus

● Hyvä kemiallinen korroosionkestävyys

● Lämpölaajennuksen alhainen kerroin

● Korkea vahvuus ja kovuus

● Pitkä käyttöikä

Hapettumis- ja diffuusiouunissa korkean lämpötilan ja syövyttävien kaasujen läsnäolon vuoksi monet komponentit vaativat korkean lämpötilan ja korroosioiden kestävien materiaalien käyttöä, joista piikarbidi (sic) on yleisesti käytetty valinta. Seuraavat ovat yleisiä piikarbidikomponentteja, joita löytyy hapetusuuneista ja diffuusiouuneista:

● kiekkovene

Piharbidikiekkovene on säiliö, jota käytetään pii kiekkojen kuljettamiseen, jotka kestävät korkeita lämpötiloja ja joka ei reagoi piikiekkojen kanssa.

● Uuniputki

Uunin putki on diffuusiouunin ydinkomponentti, jota käytetään pii kiekkojen sovittamiseen ja reaktioympäristön hallintaan. Piekarbidiuuniputkissa on erinomaiset korkean lämpötilan ja korroosionkestävyyssuorituskyvyn.

● Hallintalevy

Käytetään ilmavirran ja lämpötilan jakautumisen säätämiseen uunin sisällä

● Termoelementin suojausputki

Käytetään lämpötilan mittaamiseen lämpöparit suoralta kosketukselta syövyttävien kaasujen kanssa.

● Canilever -mela

Piekarbidivalaisimen melat ovat kestävä korkea lämpötila ja korroosio, ja niitä käytetään piiveneiden tai kvartsiveneiden kuljettamiseen, jotka kuljettavat piikiekkoja diffuusiouuniputkiin.

● Kaasuinjektori

Käytetään reaktiokaasun lisäämiseen uuniin, sen on oltava kestävä korkea lämpötila ja korroosio.

● Veneen kantolaite

Piekarbidikiekkojen veneen kantoaaltoa käytetään pii kiekkojen kiinnittämiseen ja tukemiseen, joilla on etuja, kuten korkea lujuus, korroosionkestävyys ja hyvä rakenteellinen stabiilisuus.

● Uunin ovi

Piharbidipinnoitteita tai komponentteja voidaan käyttää myös uunin oven sisäpuolella.

● Lämmityselementti

Piharbidilämmityselementit sopivat korkeisiin lämpötiloihin, suureen tehon ja voivat nopeasti nostaa lämpötiloja yli 1000 ℃.

● sic -vuoraus

Uuniputkien sisäseinän suojaamiseksi se voi auttaa vähentämään lämmönenergian menetystä ja kestävät ankaria ympäristöjä, kuten korkea lämpötila ja korkea paine.

View as

Sic -kiekkovene

SiC -kiekkovenettä käytetään kiekon kuljettamiseen, pääasiassa hapettumis- ja diffuusioprosessiin, sen varmistamiseksi, että lämpötila voidaan jakaa tasaisesti kiekkojen pinnalle. SIC -materiaalien korkean lämpötilan stabiilisuus ja korkea lämmönjohtavuus varmistavat tehokkaan ja luotettavan puolijohteenkäsittelyn. Vetek Semiconductor on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

SiC-prosessiputki

Vetek Semiconductor tarjoaa korkean suorituskyvyn sic-prosessiputket puolijohdevalmistukseen. SIC -prosessiputkemme ovat erinomaisia hapettumisessa, diffuusioprosesseissa. Erinomaisella laadulla ja käsityössä nämä putket tarjoavat korkean lämpötilan vakauden ja lämmönjohtavuuden tehokkaan puolijohdeprosessointiin. Tarjoamme kilpailukykyistä hinnoittelua ja pyrimme olemaan pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Sic Cantover -lappu

Vetek Semiconductorin sic -uloke -meloa käytetään lämmönkäsittelyuunissa kiekkoveneiden käsittelyyn ja tukemiseen. SIC -materiaalin korkean lämpötilan stabiilisuus ja korkea lämmönjohtavuus varmistavat korkean hyötysuhteen ja luotettavuuden puolijohdeprosessointiprosessissa. Olemme sitoutuneet tarjoamaan korkealaatuisia tuotteita kilpailukykyiseen hintaan ja odotamme innolla tulevan pitkän aikavälin kumppanisi Kiinassa.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Piikarbidikiekkovene vaakasuoraan uuniin

Piikarbidikiekkoveneen materiaalin puhtausvaatimukset ovat korkeat. Vetek Semiconductor toimittaa piikarbidin puhtauden ＞ 99,96 % uudelleenkiteytettyä piikarbidia tälle tuotteelle.VeTek Semiconductor on ammattimainen valmistaja ja toimittaja Kiinassa vaakauuniin tarkoitetuille piikarbidikiekkoveneille, jolla on vuosien kokemus T&K- ja tuotantoa, voi valvoa laatua hyvin ja tarjota kilpailukykyisen hinnan. Voit olla varma, että ostat meiltä piikarbidikiekkoveneen vaakasuoraan uuniin.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Sic -päällystetty piiharbidikiekkovene

Sic -päällystetty piiharbidikiekkovene on suunniteltu 165 lähtö- ja saapumiseen kiekkoja. VeteK Semiconductor on ammattimainen valmistaja ja toimittaja Kiinassa sic -päällystetylle piikarbidikiekkoveneelle, ja sillä on vuosien kokemus T & K -kehityksestä ja tuotannosta. hinta. Tervetuloa vierailemaan tehtaallamme ja keskustele jatko -yhteistyöstä.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Piilarbidi -uloke mela

Vetek Semiconductorin piiharbidi-ulokevalo on tärkeä komponentti puolijohteiden valmistusprosessissa, erityisesti sopiva diffuusiouunien tai LPCVD-uunien kanssa korkean lämpötilan prosesseissa, kuten diffuusio ja RTP. Piiharbidi-ulokekannamme on suunniteltu huolellisesti ja valmistettu erinomaisella korkean lämpötilan vastus- ja mekaanisella lujuudella, ja se voi turvallisesti ja luotettavasti kuljettaa kiekkoja prosessiputkeen ankarissa prosessiolosuhteissa erilaisille korkean lämpötilan prosesseille, kuten diffuusio ja RTP. Odotamme innolla tulevan pitkäaikaiseen kumppaniksi Kiinassa.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Ammattimaisena Hapetus ja diffuusiouuni valmistajana ja toimittajana Kiinassa meillä on oma tehdas. Tarvitsetko räätälöityjä palveluita alueen erityistarpeiden tyydyttämiseksi tai haluat ostaa edistyneitä ja kestävää Hapetus ja diffuusiouuni, joka on valmistettu Kiinassa, voit jättää meille viestin.

QR koodi

Meistä

Tuotteet

Ota meihin yhteyttä

Puhelin
+86-18069220752
Faksi
+86-579-87223657
Sähköposti
anny@veteksemi.com
Osoite
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiangin maakunta, Kiina

Web-valikko

Tuotehaku

Kieli

Poistu valikosta

Hapetus ja diffuusiouuni

Vetek -puolijohde -piikarbidikomponenttien edut:

Sic -kiekkovene

SiC-prosessiputki

Sic Cantover -lappu

Piikarbidikiekkovene vaakasuoraan uuniin

Sic -päällystetty piiharbidikiekkovene

Piilarbidi -uloke mela

Lähetä kysely

QR koodi

Meistä

Tuotteet

Ota meihin yhteyttä

Puhelin

Faksi

Sähköposti

Osoite