Hapetus ja diffuusiouuni

Hapetus- ja diffuusiouuneja käytetään eri aloilla, kuten puolijohdelaitteilla, erillisillä laitteilla, optoelektronisilla laitteilla, sähkölaitteilla, aurinkokennoilla ja laaja-alaisella integroidulla piirin valmistuksella. Niitä käytetään prosesseihin, mukaan lukien diffuusio, hapettuminen, hehkutus, seostaminen ja kiekkojen sintraus.

Vetek Semiconductor on johtava valmistaja, joka on erikoistunut korkean puhtaan grafiitti-, piikarbidi- ja kvartsikomponenttien tuotantoon hapetus- ja diffuusiouunissa. Olemme sitoutuneet tarjoamaan korkealaatuisia uunikomponentteja puolijohde- ja aurinkosähköteollisuudelle, ja olemme pintapäällystekniikan eturintamassa, kuten CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrocarbon jne.

Vetek -puolijohde -piikarbidikomponenttien edut:

● Korkea lämpötilankestävyys (jopa 1600 ℃)

● Erinomainen lämmönjohtavuus ja lämmönvakaus

● Hyvä kemiallinen korroosionkestävyys

● Lämpölaajennuksen alhainen kerroin

● Korkea vahvuus ja kovuus

● Pitkä käyttöikä

Hapettumis- ja diffuusiouunissa korkean lämpötilan ja syövyttävien kaasujen läsnäolon vuoksi monet komponentit vaativat korkean lämpötilan ja korroosioiden kestävien materiaalien käyttöä, joista piikarbidi (sic) on yleisesti käytetty valinta. Seuraavat ovat yleisiä piikarbidikomponentteja, joita löytyy hapetusuuneista ja diffuusiouuneista:

● kiekkovene

Piharbidikiekkovene on säiliö, jota käytetään pii kiekkojen kuljettamiseen, jotka kestävät korkeita lämpötiloja ja joka ei reagoi piikiekkojen kanssa.

● Uuniputki

Uunin putki on diffuusiouunin ydinkomponentti, jota käytetään pii kiekkojen sovittamiseen ja reaktioympäristön hallintaan. Piekarbidiuuniputkissa on erinomaiset korkean lämpötilan ja korroosionkestävyyssuorituskyvyn.

● Hallintalevy

Käytetään ilmavirran ja lämpötilan jakautumisen säätämiseen uunin sisällä

● Termoelementin suojausputki

Käytetään lämpötilan mittaamiseen lämpöparit suoralta kosketukselta syövyttävien kaasujen kanssa.

● Canilever -mela

Piekarbidivalaisimen melat ovat kestävä korkea lämpötila ja korroosio, ja niitä käytetään piiveneiden tai kvartsiveneiden kuljettamiseen, jotka kuljettavat piikiekkoja diffuusiouuniputkiin.

● Kaasuinjektori

Käytetään reaktiokaasun lisäämiseen uuniin, sen on oltava kestävä korkea lämpötila ja korroosio.

● Veneen kantolaite

Piekarbidikiekkojen veneen kantoaaltoa käytetään pii kiekkojen kiinnittämiseen ja tukemiseen, joilla on etuja, kuten korkea lujuus, korroosionkestävyys ja hyvä rakenteellinen stabiilisuus.

● Uunin ovi

Piharbidipinnoitteita tai komponentteja voidaan käyttää myös uunin oven sisäpuolella.

● Lämmityselementti

Piharbidilämmityselementit sopivat korkeisiin lämpötiloihin, suureen tehon ja voivat nopeasti nostaa lämpötiloja yli 1000 ℃.

● sic -vuoraus

Uuniputkien sisäseinän suojaamiseksi se voi auttaa vähentämään lämmönenergian menetystä ja kestävät ankaria ympäristöjä, kuten korkea lämpötila ja korkea paine.

View as

Pilarbidikeraaminen kiekkovene

VeTek Semiconductor on erikoistunut tarjoamaan korkealaatuisia kiekkoveneitä, jalustoja ja mukautettuja kiekkotelineitä pysty-/pylväs- ja vaakakokoonpanoissa eri puolijohdeprosessivaatimusten täyttämiseksi. Johtavana piikarbidipinnoituskalvojen valmistajana ja toimittajana piikarbidikeraaminen kiekkoveneemme on Euroopan ja Amerikan markkinoiden suosima korkean kustannustehokkuuden ja erinomaisen laadun vuoksi, ja sitä käytetään laajasti kehittyneissä puolijohteiden valmistusprosesseissa. VeTek Semiconductor on sitoutunut luomaan pitkäaikaisia ja vakaita yhteistyösuhteita globaalien asiakkaiden kanssa ja toivoo erityisesti tulevansa luotettavaksi puolijohdeprosessikumppaniksi Kiinassa.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Piharbidi (sic) Canilever -mela

Piilarbidi (sic) uloke -melon rooli puolijohdeteollisuudessa on kiekkojen tukeminen ja kuljettaminen. Korkean lämpötilan prosesseissa, kuten diffuusio ja hapettuminen, sic Canilever -lappu voi stabiilisti kantaa kiekkoveneitä ja kiekkoja ilman muodonmuutoksia tai vaurioita korkeasta lämpötilasta johtuen, mikä varmistaa prosessin sujuvan etenemisen. Diffuusion, hapettumisen ja muiden prosessien tekeminen yhtenäisemmäksi on ratkaisevan tärkeää kiekkojen prosessoinnin johdonmukaisuuden ja saannon parantamiseksi. Vetek Semiconductor käyttää edistynyttä tekniikkaa rakentaakseen sic Canilever -launan, jossa on korkeapuhtaus piikarbidi varmistaakseen, että kiekkoja ei saastuta. Vetek Semiconductor odottaa pitkäaikaisen yhteistyön kanssasi piikarbidilla (sic) uloke-melatuotteilla.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Kvartsiupokas

VeTek Semiconductor on johtava kvartsiupokkaan toimittaja ja valmistaja Kiinassa. valmistamiamme kvartsiupokkaita käytetään pääasiassa puolijohde- ja aurinkosähkökentillä. Niillä on puhtauden ja korkeita lämpötiloja kestävät ominaisuudet. Ja puolijohteiden kvartsiupokkaamme tukevat tuotantoprosesseja piitangon vetämisessä, polypiiraaka-aineiden lataamisessa ja purkamisessa puolijohteiden piikiekkojen tuotantoprosessissa, ja ne ovat keskeisiä kulutusosia piikiekkojen tuotannossa. VeTek Semiconductor odottaa innolla tulevansa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Piiharbidikiekko -kantoaalto

Ammattimaisena piiharbidikiekko -kantolaitteen toimittajana Kiinassa, Vetek Semiconductor sic -kiekko -kantaja on työkalu, jota käytetään erityisesti puolijohteiden kiekkojen käsittelemiseen ja käsittelemiseen, jolla on korvaamaton rooli puolijohdekiekkoprosessissa. Tervetuloa edelleen kuulemiseen.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Silikoninen jalusta

VeTek Semiconductor Silicon Jalusta on avainkomponentti puolijohteiden diffuusio- ja hapetusprosesseissa. Silicon Jalustalla on erityinen alusta silikoniveneiden kuljettamiseen korkean lämpötilan uuneissa, ja sillä on monia ainutlaatuisia etuja, kuten parannettu lämpötilan tasaisuus, optimoitu kiekkojen laatu ja parempi puolijohdelaitteiden suorituskyky. Jos haluat lisätietoja tuotteista, ota rohkeasti yhteyttä.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Sic keraaminen tiivistirengas

Veek-puolijohde-keraamisen tiivistirenkaan laajamittaisena tehtaan ja SIC-keraamisten tiivistön rengastuotteiden toimittajana on laaja valikoima sovelluksia teollisuuskentällä sen erinomaisen lämmönjohtavuuden, erinomaisen kemiallisen ja korroosionkestävyyden sekä suuren lujuuden ja jäykkyyden vuoksi. Tervetuloa lisäkyselyt.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Ammattimaisena Hapetus ja diffuusiouuni valmistajana ja toimittajana Kiinassa meillä on oma tehdas. Tarvitsetko räätälöityjä palveluita alueen erityistarpeiden tyydyttämiseksi tai haluat ostaa edistyneitä ja kestävää Hapetus ja diffuusiouuni, joka on valmistettu Kiinassa, voit jättää meille viestin.

QR koodi

Meistä

Tuotteet

Ota meihin yhteyttä

Puhelin
+86-18069220752
Faksi
+86-579-87223657
Sähköposti
anny@veteksemi.com
Osoite
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiangin maakunta, Kiina

Web-valikko

Tuotehaku

Kieli

Poistu valikosta

Hapetus ja diffuusiouuni

Vetek -puolijohde -piikarbidikomponenttien edut:

Pilarbidikeraaminen kiekkovene

Piharbidi (sic) Canilever -mela

Kvartsiupokas

Piiharbidikiekko -kantoaalto

Silikoninen jalusta

Sic keraaminen tiivistirengas

Lähetä kysely

QR koodi

Meistä

Tuotteet

Ota meihin yhteyttä

Puhelin

Faksi

Sähköposti

Osoite