Mikä on sähköstaattinen chuck (ESC)?

Sähköstaattinen istukka (ESC), joka tunnetaan myös nimellä sähköstaattinen istukka (ESC, E-CHUCK), on kiinnitys, joka käyttää sähköstaattisen adsorption periaatetta adsorboituneen materiaalin pitämiseen ja korjaamiseen. Se sopii tyhjiö- ja plasmaympäristöihin. Sen päätehtävä on adsorboida ultraPuhdista ohuet levyt (kuten pii -kiekot) ja pidä adsorboitunut materiaali hyvällä tasaisuudella, mikä voi myös estää adsorboituneen materiaalin muodonmuutoksia prosessin aikana ja se voi säätää adsorbaatin lämpötilaa.

Sähköstaattinen chuck (ESC) on erityinen istukkatyyppi, joka käyttää sähköstaattista voimaa objektien (työkappaleiden) pitämiseen, painamiseen ja poimintaan. Mahdollisella materiaalilla on positiivisia ja negatiivisia varauksia, jotka ovat näkymättömiä paljain silmään. Kun materiaali asetetaan ESC: lle ja bipolaarinen jännite levitetään ESC: n sisäisiin elektrodeihin, positiiviset ja negatiiviset varaukset liikkuvat materiaalin sisällä vastaamaan ESC: n sisäisten elektrodien napaisuutta. Tätä ESC: n ja materiaalin välistä vetovoimaa kutsutaan sähköstaattiseksi voimaksi ja se on myös istukkamme taustalla oleva periaate.

Tuote edut

Sillä on laaja käyttölämpötila-alue (-50-700 ℃)

Näissä sähköstaattisissa imukupeissa on erinomainen lujuus, lämmönjohtavuus ja lämmön iskunkestävyys, ja ne voivat sopeutua laajaan lämpötila -alueeseen NGK: n omaa keraamisen tilavuuden resistiivisyyden hallintaa.

Korkea korroosiokestävyys

Näillä sähköstaattisilla imukuppeilla on erinomainen korroosionkestävyys halogeenikaasuille.

Matala-hiukkasten käsittely

Matalahiukkasten käsittely voidaan saavuttaa pintakäsittelyllä ja erityisellä puhdistuksella

Puhtaus

Tuotteita, joiden puhtaus on vähintään 99,9%, on myös saatavana.

Lämmitystoiminto

Erittäin tarkkaa lämmityselementin upotustekniikkaa voidaan integroida lämmittimen toimintaan, ja kiekkojen lämpötilaa voidaan säätää ± 1%: n sisällä.

Jäähdytystoiminto

Näillä sähköstaattisilla imukuppeilla on erittäin korkea jäähdytyskyky sitomalla keraamisia levyjä, joilla on korkea lämmönjohtavuus ja jäähdytyslevyt.

Radiotaajuuselektrodi

Irtometallielektrodit voivat samanaikaisesti tarjota vakaan kiekkojen kiinnitys- ja radiotaajuusplasman muodostumisen.

Parametri

1.Puolijohde- ja elektronisen valmistuksen alalla: Puolijohde- ja elektronisten valmistusprosessien aikana käytetään sähköstaattisia imukuppeja ohuiden ja hauraiden piidikivelten, kiekkojen jne. Kalvoon ja käsittelemiseen vahvan adsorptiovoiman, ei mekaanisen stressin ja yksinkertaisen toiminnan, mikä parantaa tehokkaasti tuotannon tehokkuutta ja tuotteen laatua.

2

3. Tarkkuuskoneiden ja optisten komponenttien valmistus: Tarkkuuskoneiden ja optisten komponenttien kannalta sähköstaattiset imukupit voivat tarjota stabiilin adsorptiovoiman, estäen muodonmuutokset tai naarmuja käsittelyn aikana.

4. Automaattiset tuotantolinjat: Automaattisissa tuotantolinjoissa sähköstaattisia imukuppeja käytetään laajasti osien sijoittamisessa, käsittelyssä ja kokoonpanossa jne., Jotta tuotantolinjan automatisointi- ja tehokkuuden parantaminen.