QR koodi

Meistä
Tuotteet
Ota meihin yhteyttä
Puhelin
Faksi
+86-579-87223657
Sähköposti
Osoite
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiangin maakunta, Kiina
Hapetus- ja diffuusiouuneja käytetään eri aloilla, kuten puolijohdelaitteilla, erillisillä laitteilla, optoelektronisilla laitteilla, sähkölaitteilla, aurinkokennoilla ja laaja-alaisella integroidulla piirin valmistuksella. Niitä käytetään prosesseihin, mukaan lukien diffuusio, hapettuminen, hehkutus, seostaminen ja kiekkojen sintraus.
Vetek Semiconductor on johtava valmistaja, joka on erikoistunut korkean puhtaan grafiitti-, piikarbidi- ja kvartsikomponenttien tuotantoon hapetus- ja diffuusiouunissa. Olemme sitoutuneet tarjoamaan korkealaatuisia uunikomponentteja puolijohde- ja aurinkosähköteollisuudelle, ja olemme pintapäällystekniikan eturintamassa, kuten CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrocarbon jne.
● Korkea lämpötilankestävyys (jopa 1600 ℃)
● Erinomainen lämmönjohtavuus ja lämmönvakaus
● Hyvä kemiallinen korroosionkestävyys
● Lämpölaajennuksen alhainen kerroin
● Korkea vahvuus ja kovuus
● Pitkä käyttöikä
Hapettumis- ja diffuusiouunissa korkean lämpötilan ja syövyttävien kaasujen läsnäolon vuoksi monet komponentit vaativat korkean lämpötilan ja korroosioiden kestävien materiaalien käyttöä, joista piikarbidi (sic) on yleisesti käytetty valinta. Seuraavat ovat yleisiä piikarbidikomponentteja, joita löytyy hapetusuuneista ja diffuusiouuneista:
● kiekkovene
Piharbidikiekkovene on säiliö, jota käytetään pii kiekkojen kuljettamiseen, jotka kestävät korkeita lämpötiloja ja joka ei reagoi piikiekkojen kanssa.
● Uuniputki
Uunin putki on diffuusiouunin ydinkomponentti, jota käytetään pii kiekkojen sovittamiseen ja reaktioympäristön hallintaan. Piekarbidiuuniputkissa on erinomaiset korkean lämpötilan ja korroosionkestävyyssuorituskyvyn.
● Hallintalevy
Käytetään ilmavirran ja lämpötilan jakautumisen säätämiseen uunin sisällä
● Termoelementin suojausputki
Käytetään lämpötilan mittaamiseen lämpöparit suoralta kosketukselta syövyttävien kaasujen kanssa.
● Canilever -mela
Piekarbidivalaisimen melat ovat kestävä korkea lämpötila ja korroosio, ja niitä käytetään piiveneiden tai kvartsiveneiden kuljettamiseen, jotka kuljettavat piikiekkoja diffuusiouuniputkiin.
● Kaasuinjektori
Käytetään reaktiokaasun lisäämiseen uuniin, sen on oltava kestävä korkea lämpötila ja korroosio.
● Veneen kantolaite
Piekarbidikiekkojen veneen kantoaaltoa käytetään pii kiekkojen kiinnittämiseen ja tukemiseen, joilla on etuja, kuten korkea lujuus, korroosionkestävyys ja hyvä rakenteellinen stabiilisuus.
● Uunin ovi
Piharbidipinnoitteita tai komponentteja voidaan käyttää myös uunin oven sisäpuolella.
● Lämmityselementti
Piharbidilämmityselementit sopivat korkeisiin lämpötiloihin, suureen tehon ja voivat nopeasti nostaa lämpötiloja yli 1000 ℃.
● sic -vuoraus
Uuniputkien sisäseinän suojaamiseksi se voi auttaa vähentämään lämmönenergian menetystä ja kestävät ankaria ympäristöjä, kuten korkea lämpötila ja korkea paine.
Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.
Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.
Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.
For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.
+86-579-87223657
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiangin maakunta, Kiina
Copyright © 2024 Veek Semiconductor Technology Co., Ltd. Kaikki oikeudet pidätetään.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |