Hapetus- ja diffuusiouuni

Hapetus- ja diffuusiouuneja käytetään eri aloilla, kuten puolijohdelaiteissa, erillislaitteissa, optoelektronisissa laitteissa, tehoelektroniikkalaitteissa, aurinkokennoissa ja laajamittaisessa integroitujen piirien valmistuksessa. Niitä käytetään prosesseissa, mukaan lukien kiekkojen diffuusio, hapetus, hehkutus, seostus ja sintraus.

VeTek Semiconductor on johtava valmistaja, joka on erikoistunut erittäin puhtaiden grafiitti-, piikarbidi- ja kvartsikomponenttien valmistukseen hapetus- ja diffuusiouuneissa. Olemme sitoutuneet tarjoamaan korkealaatuisia uunikomponentteja puolijohde- ja aurinkosähköteollisuudelle, ja olemme pintapinnoitustekniikan, kuten CVD-SiC, CVD-TaC, pyrocarbon jne., eturintamassa.

VeTek Semiconductor piikarbidikomponenttien edut:

Korkean lämpötilan kesto (jopa 1600 ℃)

Erinomainen lämmönjohtavuus ja lämmönkestävyys

Hyvä kemiallinen korroosionkestävyys

Alhainen lämpölaajenemiskerroin

Korkea lujuus ja kovuus

Pitkä käyttöikä

Hapetus- ja diffuusiouuneissa korkean lämpötilan ja syövyttävien kaasujen vuoksi monet komponentit vaativat korkean lämpötilan ja korroosionkestävien materiaalien käyttöä, joista piikarbidi (SiC) on yleisesti käytetty valinta. Seuraavat ovat yleisiä piikarbidikomponentteja, joita löytyy hapetusuuneista ja diffuusiouuneista:

Vohveli vene

Piikarbidikiekkovene on piikiekkojen kuljettamiseen käytetty säiliö, joka kestää korkeita lämpötiloja eikä reagoi piikiekkojen kanssa.

Uunin putki

Uunin putki on diffuusiouunin ydinkomponentti, jota käytetään piikiekkojen sijoittamiseen ja reaktioympäristön ohjaamiseen. Piikarbidiuuniputkilla on erinomainen korkean lämpötilan ja korroosionkestävyys.

Välilevy

Käytetään säätelemään ilmavirran ja lämpötilan jakautumista uunin sisällä

Lämpöparin suojaputki

Käytetään suojaamaan lämpötilan mittaustermopareja suoralta kosketukselta syövyttävien kaasujen kanssa.

Ulokeinen mela

Piikarbidista valmistetut ulokesiivekkeet kestävät korkeita lämpötiloja ja korroosiota, ja niitä käytetään siirtämään piikiekkoja kuljettavia piiveneitä tai kvartsiveneitä diffuusiouunin putkiin.

Kaasun ruiskutin

Käytetään syöttämään reaktiokaasua uuniin, sen on kestettävä korkeita lämpötiloja ja korroosiota.

Veneen kuljettaja

Piikarbidikiekkojen venetelinettä käytetään piikiekkojen kiinnittämiseen ja tukemiseen, joilla on etuja, kuten korkea lujuus, korroosionkestävyys ja hyvä rakenteellinen vakaus.

Uunin ovi

Uunin oven sisäpuolella voidaan käyttää myös piikarbidipinnoitteita tai -komponentteja.

Lämmityselementti

Piikarbidilämmityselementit sopivat korkeisiin lämpötiloihin, suureen tehoon ja voivat nopeasti nostaa lämpötilat yli 1000 ℃.

SiC Liner

Uunin putkien sisäseinän suojaamiseen käytettynä se voi auttaa vähentämään lämpöenergian hukkaa ja kestämään ankaria ympäristöjä, kuten korkeaa lämpötilaa ja korkeaa painetta.