Web-valikko

Tuotehaku

Kieli

Tuotteet

Hapetus ja diffuusiouuni

Hapetus- ja diffuusiouuneja käytetään eri aloilla, kuten puolijohdelaitteilla, erillisillä laitteilla, optoelektronisilla laitteilla, sähkölaitteilla, aurinkokennoilla ja laaja-alaisella integroidulla piirin valmistuksella. Niitä käytetään prosesseihin, mukaan lukien diffuusio, hapettuminen, hehkutus, seostaminen ja kiekkojen sintraus.


Vetek Semiconductor on johtava valmistaja, joka on erikoistunut korkean puhtaan grafiitti-, piikarbidi- ja kvartsikomponenttien tuotantoon hapetus- ja diffuusiouunissa. Olemme sitoutuneet tarjoamaan korkealaatuisia uunikomponentteja puolijohde- ja aurinkosähköteollisuudelle, ja olemme pintapäällystekniikan eturintamassa, kuten CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrocarbon jne.


Vetek -puolijohde -piikarbidikomponenttien edut:

● Korkea lämpötilankestävyys (jopa 1600 ℃)

● Erinomainen lämmönjohtavuus ja lämmönvakaus

● Hyvä kemiallinen korroosionkestävyys

● Lämpölaajennuksen alhainen kerroin

● Korkea vahvuus ja kovuus

● Pitkä käyttöikä


Hapettumis- ja diffuusiouunissa korkean lämpötilan ja syövyttävien kaasujen läsnäolon vuoksi monet komponentit vaativat korkean lämpötilan ja korroosioiden kestävien materiaalien käyttöä, joista piikarbidi (sic) on yleisesti käytetty valinta. Seuraavat ovat yleisiä piikarbidikomponentteja, joita löytyy hapetusuuneista ja diffuusiouuneista:



● kiekkovene

Piharbidikiekkovene on säiliö, jota käytetään pii kiekkojen kuljettamiseen, jotka kestävät korkeita lämpötiloja ja joka ei reagoi piikiekkojen kanssa.


● Uuniputki

Uunin putki on diffuusiouunin ydinkomponentti, jota käytetään pii kiekkojen sovittamiseen ja reaktioympäristön hallintaan. Piekarbidiuuniputkissa on erinomaiset korkean lämpötilan ja korroosionkestävyyssuorituskyvyn.


● Hallintalevy

Käytetään ilmavirran ja lämpötilan jakautumisen säätämiseen uunin sisällä


● Termoelementin suojausputki

Käytetään lämpötilan mittaamiseen lämpöparit suoralta kosketukselta syövyttävien kaasujen kanssa.


● Canilever -mela

Piekarbidivalaisimen melat ovat kestävä korkea lämpötila ja korroosio, ja niitä käytetään piiveneiden tai kvartsiveneiden kuljettamiseen, jotka kuljettavat piikiekkoja diffuusiouuniputkiin.


● Kaasuinjektori

Käytetään reaktiokaasun lisäämiseen uuniin, sen on oltava kestävä korkea lämpötila ja korroosio.


● Veneen kantolaite

Piekarbidikiekkojen veneen kantoaaltoa käytetään pii kiekkojen kiinnittämiseen ja tukemiseen, joilla on etuja, kuten korkea lujuus, korroosionkestävyys ja hyvä rakenteellinen stabiilisuus.


● Uunin ovi

Piharbidipinnoitteita tai komponentteja voidaan käyttää myös uunin oven sisäpuolella.


● Lämmityselementti

Piharbidilämmityselementit sopivat korkeisiin lämpötiloihin, suureen tehon ja voivat nopeasti nostaa lämpötiloja yli 1000 ℃.


● sic -vuoraus

Uuniputkien sisäseinän suojaamiseksi se voi auttaa vähentämään lämmönenergian menetystä ja kestävät ankaria ympäristöjä, kuten korkea lämpötila ja korkea paine.

View as  
 
Piiharbidikiekko -kantoaalto

Piiharbidikiekko -kantoaalto

Ammattimaisena piiharbidikiekko -kantolaitteen toimittajana Kiinassa, Vetek Semiconductor sic -kiekko -kantaja on työkalu, jota käytetään erityisesti puolijohteiden kiekkojen käsittelemiseen ja käsittelemiseen, jolla on korvaamaton rooli puolijohdekiekkoprosessissa. Tervetuloa edelleen kuulemiseen.
Katso lisää >> Lähetä kysely >>
Silikoninen jalusta

Silikoninen jalusta

VeTek Semiconductor Silicon Jalusta on avainkomponentti puolijohteiden diffuusio- ja hapetusprosesseissa. Silicon Jalustalla on erityinen alusta silikoniveneiden kuljettamiseen korkean lämpötilan uuneissa, ja sillä on monia ainutlaatuisia etuja, kuten parannettu lämpötilan tasaisuus, optimoitu kiekkojen laatu ja parempi puolijohdelaitteiden suorituskyky. Jos haluat lisätietoja tuotteista, ota rohkeasti yhteyttä.
Katso lisää >> Lähetä kysely >>
Sic keraaminen tiivistirengas

Sic keraaminen tiivistirengas

Veek-puolijohde-keraamisen tiivistirenkaan laajamittaisena tehtaan ja SIC-keraamisten tiivistön rengastuotteiden toimittajana on laaja valikoima sovelluksia teollisuuskentällä sen erinomaisen lämmönjohtavuuden, erinomaisen kemiallisen ja korroosionkestävyyden sekä suuren lujuuden ja jäykkyyden vuoksi. Tervetuloa lisäkyselyt.
Katso lisää >> Lähetä kysely >>
Sic diffuusiouuniputki

Sic diffuusiouuniputki

Kiinan johtavana valmistajana ja diffuusiouunilaitteiden valmistajana ja toimittajana Vetek Semiconductor SiC-diffuusiouuniputkessa on huomattavasti korkea taivutuslujuus, erinomainen hapettumiskestävyys, korroosionkestävyys, korkea kulumiskestävyys ja erinomaiset korkean lämpötilan mekaaniset ominaisuudet. Tekemällä siitä välttämätön laitemateriaali diffuusiouunisovelluksissa. Vetek-puolijohde on sitoutunut valmistamaan ja toimittamaan korkealaatuisia SiC-diffuusiouuniputkea ja suhtautuu myönteisesti lisäkyselyihin.
Katso lisää >> Lähetä kysely >>
Erittäin puhdas piikarbidikiekkojen veneteline

Erittäin puhdas piikarbidikiekkojen veneteline

VeTek Semiconductor tarjoaa räätälöidyn korkean puhtauden SiC-kiekkovenetelineen. Valmistettu erittäin puhtaasta piikarbidista, ja siinä on aukot, jotka pitävät kiekon paikallaan, estäen sitä liukumasta käsittelyn aikana. CVD SiC -pinnoite on myös saatavilla tarvittaessa. Ammattimaisena ja vahvana puolijohteiden valmistajana ja toimittajana VeTek Semiconductorin korkean puhtauden SiC-kiekkojen veneteline on hintakilpailukykyinen ja korkea laatu. VeTek Semiconductor odottaa innolla olevansa pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.
Katso lisää >> Lähetä kysely >>
Korkea puhtaus sic uloke -mela

Korkea puhtaus sic uloke -mela

Vetek Semiconductor on johtava valmistaja ja toimittaja korkean puhtaan sic -uloke -melatuotteen kanssa Kiinassa. Korkeita puhtaita sic -ulotehalaitteita käytetään yleisesti puolijohde -diffuusiouuneissa kiekonsiirto- tai latausalustoina.
Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.


Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.


Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.


For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.


Ammattimaisena Hapetus ja diffuusiouuni valmistajana ja toimittajana Kiinassa meillä on oma tehdas. Tarvitsetko räätälöityjä palveluita alueen erityistarpeiden tyydyttämiseksi tai haluat ostaa edistyneitä ja kestävää Hapetus ja diffuusiouuni, joka on valmistettu Kiinassa, voit jättää meille viestin.
Uutissuositukset
Italian LPE:n 200 mm:n piikarbidin epitaksiaaliteknologia edistyy
Italian LPE:n 200 mm:n piikarbidin epitaksiaaliteknologia edistyyKatso lisää >>
Oletko edelleen huolissasi materiaalin suorituskyvystä korkean lämpötilan ympäristöissä?
Oletko edelleen huolissasi materiaalin suorituskyvystä korkean lämpötilan ympäristöissä?Katso lisää >>
Mikä on sähköstaattinen chuck (ESC)?
Mikä on sähköstaattinen chuck (ESC)?Katso lisää >>
Mitkä ovat erot isotrooppisen grafiitin ja silikonisoidun grafiitin välillä?
Mitkä ovat erot isotrooppisen grafiitin ja silikonisoidun grafiitin välillä?Katso lisää >>
Mitä on tiskaus ja eroosio CMP-prosessissa?
Mitä on tiskaus ja eroosio CMP-prosessissa?Katso lisää >>
Fyysisen höyryn laskeutumispinnoitteen periaatteet ja tekniikka (1/2) - Veek -puolijohde
Fyysisen höyryn laskeutumispinnoitteen periaatteet ja tekniikka (1/2) - Veek -puolijohdeKatso lisää >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept