Vaakasuuntainen SiC-kiekkojen alusta

Suorita puolijohdeVaakasuora sic -kiekko -kantaja/Veneellä on erittäin korkea sulamispiste (noin 2700°C), mikä mahdollistaaVaakasuora sic -kiekko -kantaja/Vene toimii vakaasti korkeissa lämpötiloissa ilman muodonmuutoksia tai hajoamista. Tämä ominaisuus on erityisen tärkeä puolijohteiden valmistusprosessissa, erityisesti prosesseissa, kuten korkean lämpötilan hehkutus tai kemiallinen höyrypinnoitus (CVD).

SeVaakasuora sic -kiekko -kantaja/Veneellä on erityisesti seuraavat roolit kiekkojen kantajien kuljettamisprosessissa:

Piikiekon kanto ja tuki: Vaakasuuntaista sic -kiekkovenettä käytetään pääasiassa pii kiekkojen kuljettamiseen ja tukemiseen puolijohteiden valmistuksen aikana. Se voi tiukasti järjestämään useita piitaikoja yhdessä varmistaakseen, että ne pysyvät hyvässä asemassa ja vakaudessa koko prosessointiprosessin ajan.

Yhtenäinen lämmitys ja jäähdytys: SiC:n korkean lämmönjohtavuuden ansiosta Wafer Boat voi jakaa lämmön tehokkaasti tasaisesti kaikkiin piikiekoihin. Tämä auttaa saavuttamaan piikiekkojen tasaisen lämmityksen tai jäähdytyksen korkean lämpötilan käsittelyn aikana, mikä varmistaa käsittelyprosessin johdonmukaisuuden ja luotettavuuden.

Estää saastuminen: SIC: n kemiallinen stabiilisuus antaa sen toimia hyvin korkean lämpötilan ja syövyttävien kaasuympäristöissä vähentäen siten pii-kiekkojen altistumista mahdollisille epäpuhtauksille tai reagensseille varmistaen pii-kiekkojen puhtauden ja laadun.

Itse asiassa Horizontal SiC Wafer Boat voi täyttää yllä olevan roolin ainutlaatuisten tuoteominaisuuksiensa ansiosta:

Erinomainen kemiallinen vakaus: SiC-materiaalilla on erinomainen korroosionkestävyys erilaisille kemiallisille väliaineille. Syövyttäviä kaasuja tai nesteitä käsiteltäessä SiC Wafer Boat kestää tehokkaasti kemiallista korroosiota ja suojaa piikiekkoja saastumiselta tai vaurioilta.

Korkea lämmönjohtavuus: SiC:n korkea lämmönjohtavuus auttaa jakamaan lämmön tasaisesti kantajaprosessissa ja vähentämään lämmön kertymistä. Tämä voi parantaa lämpötilan säädön tarkkuutta tarkkuuskäsittelyn aikana ja varmistaa piikiekkojen tasaisen lämmityksen tai jäähdytyksen.

Matala lämpölaajenemiskerroin: SiC-materiaalin alhainen lämpölaajenemiskerroin tarkoittaa, että SiC Wafer Boatin mittamuutos on hyvin pieni lämpötilan muutosten aikana. Tämä auttaa säilyttämään mittavakauden korkean lämpötilan käsittelyn aikana ja estää lämpölaajenemisen aiheuttaman piikiekkojen muodonmuutoksen tai sijainnin siirtymisen.

Vaakasuora sic -kiekko -kantajain fyysiset perusominaisuudet:

VeTek Semiconductor Production Shop:

Yleiskatsaus puolijohdesirun epitaksiteollisuuden ketjuun: