VEECO MOCVD lämmitin

Veeksemin Veeco MOCVD -lämmitin on valmistettu erittäin varovaisesta grafiittimateriaalista, jonka epäpuhtauspitoisuus on tiukasti hallittu alle 5 ppm, ja päällystetty erittäin korkealla puhtauspidikarbidilla (sic), jonka puhtaus on yli 99,99995% läpikemiallinen höyrypinnoitusprosessi (CVD).. Tämä materiaaliyhdistelmä antaa lämmittimelle sarjan avainominaisuuksia, jotka varmistavat sen erinomaisen suorituskyvynMetalli orgaaninen kemiallinen höyryn laskeutuminen (MOCVD)käsitellä.

Yksi Veeco MoCVD -lämmittimen erinomaisista piirteistä on sen poikkeuksellinen kemiallinen puhtaus. Korkeasuhdegrafiittiydin vähentää huomattavasti epäpuhtauksien potentiaalista käyttöönottoa korkean lämpötilan prosessissa varmistaen erittäin puhdas kalvojen laskeutumisprosessin. SeCVD SiC pinnoitetarjoaa lisäsuojaa lämmittimelle muodostaen vahvan esteen estämään kemiallisia reaktioita, jotka voivat vahingoittaa kalvon laatua. Tämä vertaansa vailla oleva puhtaus on välttämätöntä korkean suorituskyvyn, luotettavien puolijohdelaitteiden valmistuksessa.

Samalla lämmittimellä on erittäin korkea lämmönkestävyys ja hyötysuhde. SiC:llä on korkea sulamispiste ja erinomainen lämmönjohtavuus, minkä ansiosta lämmitin hallitsee ja johtaa lämpöä tehokkaasti. Tämä varmistaa tasaisen lämpenemisen alustalla, mikä puolestaan ​​auttaa saavuttamaan tasaisen kalvon muodostumisen ja vähentämään lämpögradienttien aiheuttamia vikoja. Tällainen lämpötehokkuus on erityisen tärkeä tarkkuusvalmistuksessa.

VEECO MOCVD -lämmitin on myös erinomainen sähkösuorituskyky. Sen voimakkaan grafiittiydin on erinomainen sähkönjohtavuus, jolloin lämmitin voi käsitellä korkeat sähkökuormitusvaatimukset. Tämä vakaa sähköinen suorituskyky antaa lämmittimen ylläpitää tarkkaa lämpötilanhallinta- ja laskeutumisnopeutta suurissa kuormitusolosuhteissa, mikä on kriittistä yhdenmukaisten prosessiolosuhteiden varmistamiseksi ja puolijohteiden valmistuksen tehokkuuden parantamiseksi.

Kiukaan pintarakenne on huolellisesti optimoitu siten, että sillä on korkea substraattiemissiokyky, mikä parantaa merkittävästi säteilylämmönsiirron tehokkuutta. Tasainen lämpeneminen on avaintekijä tasaisen kalvon kerrostuksen paksuuden ja ominaisuuksien varmistamisessa. Korkean emissiivisen pinnan muotoilu parantaa myös lämmittimen yleistä lämpöhyötysuhdetta, mikä vähentää energiankulutusta ja käyttökustannuksia.

Kestävyyden kannalta Viteksemin Veeco MOCVD -lämmitin on erinomainen korroosionkestävyys, hapettumiskestävyys ja mekaaninen lujuus. CVD -sic -pinnoite tarjoaa vankan esteen syövyttäville kaasuille ja kemikaaleille, jotka ovat yleisiä MOCVD -prosesseissa, pidentäen siten laitteiden käyttöikää ja vähentämällä huoltotarpeita ja korvauskustannuksia. Sen hapettumiskestävyys varmistaa, että lämmitin pysyy vakaana korkeissa lämpötiloissa ilman suorituskyvyn hajoamista, varmistaen pitkäaikaisen stabiilisuuden.

Lisäksi VeTeksemin MOCVD-lämmittimen korkea mekaaninen lujuus mahdollistaa sen kestämisen lämpökierron ja alustan käsittelyn aikana syntyviä fyysisiä rasituksia. Sen kestävyys vähentää mekaanisten vikojen riskiä ja varmistaa laitteiden luotettavan toiminnan vaikeissa prosessiolosuhteissa.

Edistyksellisenä VEECO MOCVD -lämmitintuotteiden valmistajana ja toimittajana VeTeksemi tarjoaa myös erilaisia ​​korkealaatuisia kiuastuotteita, kuten mm.TaC Coating Heater, Pilarbidikeraaminen pinnoitusgrafiitilämmitin, piikarbidi keraaminen pinnoite lämmitinjne. Veek Semiconductor on sitoutunut tarjoamaan edistyneitä ja muokattavia tekniikka- ja tuotelaratkaisuja puolijohdeteollisuudelle. Toivomme vilpittömästi olevan pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.