Piilarbidikeraaminen pinnoitegrafiitilämmitin

IT -puolijohde Piilarbidikeraaminen pinnoitegrafiitilämmitinYhdistää grafiitin erinomaisen sähkö- ja lämmönjohtavuuden korkean lämpötilan kestävyyden, korroosionkestävyyden ja piin hiilikeraamisen pinnoitteen kulutuskestävyyden kanssa, ja se on suunniteltu ankariin puolijohteiden valmistusympäristöihin. 

Piilarbidikeraaminen pinnoitegrafiitilämmitinkäytetään pääasiassa tyhjiöpäällystyslaitteissa (haihtumislaitteissa), ja yleisesti käytetyt menetelmät ovat PCD (plasman kemiallinen kuivaus) ja PVD (fysikaalinen höyryn laskeutuminen). Tällä tuotteella on ollut tärkeä rooli teknisen kehityksen edistämisessä ja tuotannon tehokkuuden parantamisessa puolijohdeteollisuudessa.Odotamme vilpittömästi yhteistyötä kanssasi.

Piiharbidikeraamisen pinnoitteen grafiitilämmittimen materiaali- ja rakenteelliset piirteet ovat seuraavat:

Grafiittialusta: Grafiitti tunnetaan korkeasta lämmönjohtavuudestaan ​​ja alhaisesta lämmön laajennuskertoimesta. Se voi reagoida nopeasti lämpötilan muutoksiin ja ylläpitää rakenteellista vakautta korkeissa lämpötiloissa.

Piihiilikeraaminen pinnoite: Sic -pinnoite päällystetään tasaisesti grafiittipinnalla kemiallisen höyryn laskeutumisen tai muiden edistyneiden prosessien avulla. SIC: llä on erittäin korkea kovuus ja kemiallinen korroosionkestävyys, joka voi suojata grafiittialusta korkean lämpötilan hapettumiselta ja syövyttäviltä ympäristöiltä.

Piharbidikeraamisen pinnoitteen grafiitilämmittimen erityinen tuotesuunnittelu määrittääTämän tuotteen korvaamattomat tuote edut puolijohdekäsittelyprosessissa:

Tehokas ja tasainen lämmitys:

Lämmönjohtavuus: Grafiitin korkea lämmönjohtavuus antaa lämmittimen nopeasti saavuttaa ja ylläpitää vaadittua lämpötilaa, ja sic -pinnoite varmistaa lämmön tasaisen jakautumisen. Tämä on erityisen tärkeää puolijohdeprosesseissa, jotka vaativat tarkkaa lämpötilanhallintaa, kuten nopean lämpökäsittelyn (RTP) ja kemiallisen höyryn laskeutumisen (CVD).

Lämpötilan tasaisuus: Piilarbidikeraamisen pinnoitteen grafiitilämmittimen tasaisen lämmönjakauman avulla voi tehokkaasti vähentää lämpöjännitystä ja lämpötilan gradienttia varmistaen puolijohdekiekkojen konsistenssin ja laadun stabiilisuuden koko lämmitysprosessin ajan.

Korroosion vastainen suoja:

Kemiallinen vastustuskyky: SIC -pinnoitteen kemiallinen korroosionkestävyys antaa lämmittimen toimimaan vakaasti ja pitkään syövyttävissä kaasu- ja kemiallisissa ympäristöissä välttäen grafiittisubstraatin vaurioita. Tämä ominaisuus on erityisen kriittinen prosesseissa, kuten kemiallinen höyryn laskeuma (CVD) ja plasman parantunut kemiallinen höyryn laskeuma (PECVD).

Hapettumiskestävyys: Korkeissa lämpötiloissa SIC -pinnoite voi estää grafiittisubstraatin hapettumisen, pidentää lämmittimen käyttöiän käyttöä ja vähentää laitteiden ylläpidon taajuutta ja kustannuksia.

Vähentää hiukkasten saastumista:

Pinnan vakaus: SiC-pinnoite ei ole vain kuluvaa kestävyyttä, vaan myös estää hiukkasten putoamisen materiaalin pinnalta lämpösyklin tai kemiallisten reaktioiden takia, mikä vähentää hiukkasten saastumisen riskiä, ​​jota voi tapahtua puolijohdevalmistuksen valmistuksen aikana ja varmistamalla korkean puhkeamisprosessiympäristön.

Paranna prosessien luotettavuutta ja tehokkuutta:

Pitkäaikainen suunnittelu: Grafiitin mekaanisen lujuuden ja sic-pinnoitteen kulutuskestävyyden yhdistelmän vuoksi piikarbidikeraamiset pinnoitusgrafiittilämmittimet voivat ylläpitää korkean tehokkuuden toimintaa jo pitkään ankarissa prosessiolosuhteissa, mikä parantaa merkittävästi laitteen yleistä luotettavuutta.

Tehokas energian käyttö: Grafiitin korkea lämmönjohtavuus ja sic-pinnoitteen korkean lämpötilan stabiilisuus mahdollistavat lämmittimen vähentämään energiankulutusta parantaen samalla lämpötilanhallinnan tarkkuutta parantaen siten puolijohdetuotannon yleistä tehokkuutta.

Fysikaaliset perusominaisuudetPiilarbidikeraaminen pinnoitegrafiitilämmitin:

IT -puolijohdePiilarbidikeraaminen pinnoitegrafiitilämmitinkaupat:

Yleiskatsaus puolijohdepitaksiteollisuusketjusta:

/muu prosessi