Huokoiset piiharbidi (sic) keraamiset levyt: korkean suorituskyvyn materiaalit puolijohteiden valmistuksessa

Ⅰ. Mikä on huokoinen SIC -keraaminen levy?

Huokoinen piiharbidikeraaminen levy on huokoinen rakenne keraaminen materiaali, joka on valmistettu piikarbidista (sic) erityisissä prosesseissa (kuten vaahtoaminen, 3D-tulostus tai huokosten muodostavien aineiden lisääminen). Sen ydinominaisuuksia ovat:

● Hallittavissa oleva huokoisuus: 30% -70% Säädettävä vastaamaan erilaisten sovellusskenaarioiden tarpeita.

● Tasainen huokoskokojakauma: Varmista kaasun/nesteen siirtovakaus.

● Kevyt suunnittelu: Vähennä laitteiden energiankulutusta ja paranna toimintatehokkuutta.

Ⅱ.Keraamisten levyjen viisi ydinfysikaalisia ominaisuuksia ja käyttäjän arvoa

1. Korkea lämpötilankestävyys ja lämmönhallinta (pääasiassa laitteiden lämpöhäiriöiden ongelman ratkaisemiseksi)

● Äärimmäinen lämpötilankestävyys: Jatkuva työlämpötila saavuttaa 1600 ° C (30% korkeampi kuin alumiinioksidikeramiikka).

● Korkea hyötysuhde lämmönjohtavuus: Lämmönjohtavuuskerroin on 120 W/(M · K), nopea lämmön hajoaminen suojaa herkkiä komponentteja.

● Erittäin alhainen lämpölaajennus: Lämpölaajennuskerroin on vain 4,0 × 10⁻⁶/° C, joka sopii toimintaan äärimmäisen korkean lämpötilan alaisena, välttäen tehokkaasti korkean lämpötilan muodonmuutoksia.

2. kemiallinen stabiilisuus (ylläpitokustannusten vähentäminen syövyttävissä ympäristöissä)

● Resistentti vahvoille hapoille ja alkalille: voi kestää syövyttäviä väliaineita, kuten HF ja H₂so₄

● Kestävä plasman eroosiolle: Elämää kuivassa etsauslaitteessa lisääntyy yli 3 kertaa

3. Mekaaninen lujuus (laitteiden pidentäminen)

● Kovuus: Mohs -kovuus on jopa 9,2, ja kulutuskestävyys on parempi kuin ruostumaton teräs

● Taivutusvahvuus: 300-400 MPa, kiekkojen tukeminen ilman vääntymistä

4. huokoisten rakenteiden funktionalisointi (prosessin saannon parantaminen)

● Tasainen kaasun jakautuminen: CVD -prosessin kalvon yhtenäisyys nostetaan 98%: iin.

● Tarkka adsorptiohallinta: Sähköstaattisen istukan (ESC) paikannustarkkuus on ± 0,01 mm.

5. Puhtaustakuu (puolijohdeluokan standardien mukaisesti)

● Nollametallikontaminaatio: puhtaus> 99,99%, kiekkojen saastumisen välttäminen

● Itsepuhdistuvat ominaisuudet: mikrohuokoinen rakenne vähentää hiukkasten laskeutumista

III. Puolijohteiden valmistuksessa neljä avainsovellusta

Skenaario 1: Korkean lämpötilan prosessilaitteet (diffuusiouuni/hehkutusuuni)

● Käyttäjäkipupiste: Perinteiset materiaalit ovat helposti muodonmuutoksia, mikä johtaa kiekkojen romuttamiseen

● Ratkaisu: Kantolevynä se toimii vakaasti alle 1200 ° C: n ympäristössä

● Tietojen vertailu: Lämpömuodostus on 80% pienempi kuin alumiinioksidilla

Skenaario 2: Kemiallinen höyryn laskeuma (CVD)

● Käyttäjäkipupiste: Epätasainen kaasun jakelu vaikuttaa kalvon laatuun

● Ratkaisu: Huokoinen rakenne tekee reaktiokaasun diffuusion tasaisuuden saavuttamisesta 95%

● Teollisuuden tapaus: Sovellettu 3D NAND Flash -muistin ohuen kalvon laskeutumiseen

Skenaario 3: Kuiva etsauslaitteet

● Käyttäjäkipupiste: Plasman eroosio shortens -komponentin käyttöikä

● Ratkaisu: Plasman vastainen suorituskyky laajentaa ylläpitojakson 12 kuukauteen

● Kustannustehokkuus: laitteiden seisokkeja vähenee 40%

Skenaario 4: Kiekkojen puhdistusjärjestelmä

● Käyttäjäkipupiste: Happo- ja alkali -korroosiosta johtuvien osien vaihtaminen

● Ratkaisu: HF -happovastus saa käyttöelämän saavuttamaan yli 5 vuoden ajan

● Vahvistustiedot: Vahvuuden pidätysaste> 90% 1000 puhdistussyklin jälkeen

Iv. 3 Päävalintaetuja verrattuna perinteisiin materiaaleihin

V. UKK teollisuuden käyttäjille

Q1: Onko huokoinen sic -keraaminen levy galliumnitridi (GAN) -laitteen tuotantoon?

Vastaus: Kyllä, sen korkea lämpötilankestävyys ja korkea lämmönjohtavuus ovat erityisen sopivia GAN -epitaksiaalisen kasvuprosessiin, ja niitä on käytetty 5G: n tukiaseman siruvalmistukseen.

Q2: Kuinka valita huokoisuusparametri?

Vastaus: Valitse sovellusskenaarion mukaan:

● Jakaa kaasuviiva: 40% -50% avointa huokoisuutta suositellaan

● Tyhjiön adsorptio: 60% -70% korkea huokoisuus suositellaan

Q3: Mikä on ero muiden piikarbidikeramiikan kanssa?

Vastaus: Verrattuna tiheäänSic -keramiikka, huokoisilla rakenteilla on seuraavat edut:

● 50% painon alennus

● 20 kertaa lisääntyy tietyllä pinta -alalla

● 30% Lämpörasituksen väheneminen