MOCVD -tuki

KuinCVD sic -päällysteValmistajalla, Vetek -puolijohdeella on kyky tarjota sinulle Aixtron G5 MOCVD -herkkyyttä, joka on valmistettu korkeasta puhtaasta grafiitista ja CVD -sic -pinnoitteesta (alle 5ppm). 

Micro LED -teknologia häiritsee olemassa olevaa LED -ekosysteemiä menetelmillä ja lähestymistavoilla, jotka ovat tähän mennessä nähty vain LCD- tai Semiconductor Industries -teollisuudessa, ja Aixtron G5 MOCVD -järjestelmä tukee täydellisesti näitä tiukkoja laajennusvaatimuksia. Aixtron G5 on yksi tehokkaimmista MOCVD-reaktoreista, jotka on suunniteltu ensisijaisesti piispohjaiseen GAN-epitaksin kasvuun.

On välttämätöntä, että kaikilla tuotetuilla epitaksiaalisilla kiekkoilla on erittäin tiukka aallonpituusjakauma ja erittäin alhaiset pintavirhetasot, mikä vaatii innovatiivistaMOCVD -tekniikka.

Aixtron G5 on vaakasuora planeettalevyn epitaksi -järjestelmä, pääasiassa planeettalevy, MOCVD -herkkailija, kansirengas, katto, tukirengas, kansilevy, uloshengitys, kollektori, nastapesurit, kollektorin syöttörengas jne., Päätuotemateriaalit ovat CVD SIC -pinnoitteita+korkea puhtaus grafiitti, puolijohde -kvartsi,CVD TAC -pinnoite+korkea puhtaus grafiitti,jäykkä huopaja muut materiaalit.

MOCVD -alttiiden ominaisuudet ovat seuraavat

✔ Perusmateriaalisuojaus: CVD -sic -pinnoite toimii suojakerroksena epitaksiaalisessa prosessissa, mikä voi tehokkaasti estää ulkoisen ympäristön eroosion ja vaurion perusmateriaaliin, tarjoaa luotettavia suojatoimenpiteitä ja pidentää laitteiden käyttöikäyttämistä.

✔ Erinomainen lämmönjohtavuus: CVD -sic -pinnoitteessa on erinomainen lämmönjohtavuus ja se voi nopeasti siirtää lämpöä pohjamateriaalista pinnoituspinnalle, parantaa lämmönhallintatehokkuutta epitaksian aikana ja varmistaa, että laite toimii asianmukaisella lämpötila -alueella.

✔ Paranna elokuvien laatua: CVD -sic -pinnoite voi tarjota tasaisen, tasaisen pinnan, joka tarjoaa hyvän perustan kalvon kasvulle. Se voi vähentää hilan epäsuhta johtuvia vikoja, parantaa kalvon kiteisyyttä ja laatua ja parantaa siten epitaksiaalikalvon suorituskykyä ja luotettavuutta.

CVD -sic -pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet: