Pilarbidikeraaminen pinnoituslämmitin

IT -puolijohdePiekarbidikeraaminen pinnoituslämmitin on lämmitin, joka on suunniteltu korkeaan lämpötilaan ja ankariin ympäristöihin. Se peittää kerroksen piidihiilikeraamisesta pinnoitteesta (sic) lämmityselementin pinnalle, jotta laite on erinomainen lämmönkestävyys, korroosionkestävyys ja lämmönjohtavuus. 

Pilarbidikeraaminen pinnoituslämmitinkäytetään pääasiassa tyhjiöpäällyste (haihtumislaitteissa). Yleisesti käytetyt menetelmät ovat PCD (plasman kemiallinen kuivaus) ja PVD (fysikaalinen höyryn laskeutuminen), joita käytetään laajasti puolijohteiden valmistuksessa ja muissa korkean kysynnän teollisuussovelluksissa.

Yhdistettynä piikarbidikeraamisen pinnoittimen lämmittimen korkean suorituskyvyn pinnoitteen suunnitteluun,Se voi tarjota erinomaisen lämmitysliuoksen korkean lämpötilan prosesseihin.

Erinomainen lämmönjohtavuus: SIC -materiaalilla on erinomainen lämmönjohtavuus, varmistamalla, että lämmitin voi saavuttaa tasaisen lämmönjakauman työalueella ja vähentää lämpötilagradientteja.

Tarjota yhtenäistä lämmön jakautumista: Piharbidikeraaminen pinnoituslämmitin käyttää sic -materiaalin korkeaa lämmönjohtavuutta lämpötilan jakautumisen saavuttamiseksi koko lämmitysalueella. Tämä on kriittistä puolijohteiden kiekkojen tasaisen lämpökäsittelyn varmistamiseksi erilaisissa korkean lämpötilan prosesseissa, kuten nopean lämpökäsittelyn (RTP), diffuusion ja hapettumisen, välttäen paikallisen ylikuumenemisen tai epätasaisen lämpötilan aiheuttamat tuotevauriot.

Korkean lämpötilan sietokyky: SiC-pinnoite antaa lämmittimen kestämään erittäin korkeita lämpötiloja, tyypillisesti jopa 1600 ° C: ta, sopivat erilaisiin korkean lämpötilan prosessointihoitoprosesseihin.

Parantaa lämmönkestävyyttä: Koska pinnoite kestää erittäin korkeita lämpötiloja, se toimii hyvin prosesseissa, jotka vaativat pitkäaikaista korkean lämpötilan toimintaa. Esimerkiksi kemiallisissa höyryn laskeutumisprosesseissa (CVD) piidikarbidikeraamiset pinnoituslämmitin voi varmistaa laitteiden pitkäaikaisen vakaan toiminnan korkeissa lämpötiloissa ja ylläpitää jatkuvaa lämmityksen suorituskykyä parantaen siten prosessin toistettavuutta ja luotettavuutta.

Kemiallinen korroosionkestävyys: SiC -päällysteellä on erittäin korkea vastus hapolle, alkalille ja syövyttäville kaasuille, ja se voi pysyä vakaana pitkään monimutkaisessa kemiallisessa ilmakehän ympäristössä, pidentäen laitteiden käyttöikää. 

Laitteiden käyttöiän pidentäminen: SiC -pinnoitteella on erinomainen hapettumiskestävyys ja korroosionkestävyys, ja se voi tehokkaasti vastustaa kemiallista eroosiota ja hapettumista korkeissa lämpötiloissa. Tämä on erittäin kriittistä puolijohteiden valmistusprosessissa, etenkin ympäristössä, joka käsittelee syövyttäviä kaasuja ja kemikaaleja. Pinnoitteen suojavaikutus voi pidentää merkittävästi lämmittimen käyttöikäyttämistä ja vähentää laitteiden vaihto- ja ylläpitokustannusten esiintymistiheyttä.

Piharbidikeraamisen pinnoituslämmittimen piikarbidikerroksen fysikaaliset ominaisuudet:

Vetek Semiconductor Piilarbidi keraaminen pinnoituslämmittimen kaupat:

Yleiskatsaus Vetek Semiconductor -sirun epitaksiteollisuusketjusta: