Kiinteä piikarbidi

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide on tärkeä keraaminen komponentti plasmaetsauslaitteissa, kiinteä piikarbidi (CVD piikarbidi) syövytyslaitteiston osat sisältävättarkennusrenkaat, kaasusuihkupää, tarjotin, reunarenkaat jne. Kiinteän piikarbidin (CVD-piikarbidin) alhaisen reaktiivisuuden ja johtavuuden vuoksi klooria ja fluoria sisältävien syövytyskaasujen kanssa se on ihanteellinen materiaali plasmaetsauslaitteiden tarkennusrenkaisiin ja muihin komponentit.

Esimerkiksi tarkennusrengas on tärkeä osa, joka on sijoitettu kiekon ulkopuolelle ja suoraan kosketukseen kiekon kanssa, koska se kohdistaa renkaaseen jännitettä renkaan läpi kulkevan plasman fokusoimiseksi, jolloin plasma fokusoidaan kiekolle, mikä parantaa kiekon tasaisuutta. käsittelyä. Perinteinen tarkennusrengas on valmistettu silikonista taikvartsi, johtavana piin yleisenä tarkennusrengasmateriaalina, se on melkein lähellä piikiekkojen johtavuutta, mutta puute on huono etsauskestävyys fluoria sisältävässä plasmassa, syövytyskoneen osien materiaaleja, joita käytetään usein jonkin aikaa, tulee olemaan vakavia korroosioilmiö, mikä heikentää vakavasti sen tuotantotehokkuutta.

Soli SiC Focus RingToimintaperiaate：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Ja-pohjaisen tarkennusrenkaan ja CVD SiC -tarkennusrenkaan vertailu:

Ja-pohjaisen tarkennusrenkaan ja CVD SiC -tarkennusrenkaan vertailu
Tuote	Ja	CVD SiC
Tiheys (g/cm³)	2.33	3.21
Kaistaväli (eV)	1.12	2.3
Lämmönjohtavuus (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Kimmomoduuli (GPa)	150	440
Kovuus (GPa)	11.4	24.5
Kulutus- ja korroosionkestävyys	Huono	Erinomainen

VeTek Semiconductor tarjoaa kehittyneitä kiinteän piikarbidin (CVD piikarbidi) osia, kuten piikarbidin tarkennusrenkaita puolijohdelaitteisiin. Kiinteän piikarbidin tarkennusrenkaamme ylittävät perinteisen piin mekaanisen lujuuden, kemiallisen kestävyyden, lämmönjohtavuuden, korkeiden lämpötilojen kestävyyden ja ionisyövytyksen kestävyyden suhteen.

JaC-tarkennusrenkaidemme tärkeimpiä ominaisuuksia ovat mm:

Suuri tiheys vähentää etsausnopeuksia.

Erinomainen eristys korkealla nauhavälillä.

Korkea lämmönjohtavuus ja alhainen lämpölaajenemiskerroin.

Ylivoimainen mekaaninen iskunkestävyys ja elastisuus.

Korkea kovuus, kulutuskestävyys ja korroosionkestävyys.

Valmistettu käyttäenplasmalla tehostettu kemiallinen höyrypinnoitus (PECVD)JaC-tarkennusrenkaamme vastaavat puolijohteiden valmistuksen etsausprosessien kasvaviin vaatimuksiin. Ne on suunniteltu kestämään korkeampaa plasmatehoa ja -energiaa, erityisesti sisäänKapasitiivisesti kytketty plasma (CCP)järjestelmät.

VeTek Semiconductorin SiC-tarkennusrenkaat tarjoavat poikkeuksellisen suorituskyvyn ja luotettavuuden puolijohdelaitteiden valmistuksessa. Valitse SiC-komponenttimme ylivertaisen laadun ja tehokkuuden saavuttamiseksi.

View as

PIIKARBIIDIN TIEVI

Ammattimaisena piidarbiditiivisarengastuotteen valmistajana ja tehtaalla Kiinassa, Vetk -puolijohdepiharbiditiivisärengas käytetään laajasti puolijohdeprosessointilaitteissa sen erinomaisen lämmönkestävyyden, korroosionkestävyyden, mekaanisen lujuuden ja lämmönjohtavuuden vuoksi. Se soveltuu erityisesti prosesseihin, joissa on korkea lämpötila ja reaktiiviset kaasut, kuten CVD, PVD ja plasman etsaus, ja se on keskeinen materiaalivalinta puolijohteiden valmistusprosessissa. Lisäkyselyt ovat tervetulleita.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

CVD -sic -lohko sic -kidekasvulle

CVD -sic -lohko sic -kidekasvulle on uusi korkea puhtaus raaka -aine, jonka on kehittänyt Vetek Semiconductor. Sillä on korkea syöttölähtösuhde ja se voi kasvattaa korkealaatuista, suurikokoista piikarbidi-yksittäisiä kiteitä, mikä on toisen sukupolven materiaali nykyään käytetyn jauheen korvaamiseksi. Tervetuloa keskustelemaan teknisistä kysymyksistä.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Sic Crystal Growth Uusi tekniikka

Vetek Semiconductorin erittäin korkea puhtaus piikarbidi (sic), joka on muodostettu kemiallisella höyryn laskeutumisella (CVD), suositellaan käytettäväksi lähdemateriaalina silikonikarbidikiteiden kasvattamiseksi fysikaalisen höyryn kuljetuksella (PVT). SiC Crystal Growth Uusi tekniikka lähdemateriaali ladataan upokkaaseen ja sublimoituu siemenkiteelle. Käytä suuria puhtaita CVD-SIC-lohkoja ollaksesi lähteenä kasvaville sic-kiteille. Tervetuloa perustamaan kumppanuus kanssamme.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Cvd sic suihkupää

Vetek Semiconductor on johtava CVD -SIC -suihkupään valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet sic -materiaaliin monien vuosien ajan. CVD -sic -suihkupää valitaan keskittyväksi rengasmateriaaliksi sen erinomaisen lämpökemiallisen stabiilisuuden, korkean mekaanisen lujuuden ja plasman eroosion vastustuksen vuoksi. Odotamme innolla tulevan pitkäaikaiseen kumppaniksi Kiinassa.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Sic -suihkupää

Vetek Semiconductor on johtava SIC-suihkupään valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme olleet erikoistuneet sic-materiaaliin monien vuosien ajan. SIIC-suihkupää valitaan keskittyväksi rengasmateriaaliksi sen erinomaisen lämpökemiallisen vakauden, korkean mekaanisen vahvuuden ja vastustuksena plasman eroosiolle. Odotamme innolla pitkäaikaisia kumppanisi Kiinassa.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Kiinteä SiC-kaasusuihkupää

Kiinteällä sic -kaasu suihkupäällä on tärkeä rooli kaasupuvun valmistuksessa CVD -prosessissa, mikä varmistaa substraatin tasaisen lämmityksen. Vetek Semiconductor on ollut syvästi mukana kiinteiden SIC -laitteiden alalla monien vuosien ajan ja pystyy tarjoamaan asiakkaille räätälöityjä kiinteitä sic -kaasun suihkupäätä. Riippumatta vaatimuksistasi, odotamme kyselyäsi.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Ammattimaisena Kiinteä piikarbidi valmistajana ja toimittajana Kiinassa meillä on oma tehdas. Tarvitsetko räätälöityjä palveluita alueen erityistarpeiden tyydyttämiseksi tai haluat ostaa edistyneitä ja kestävää Kiinteä piikarbidi, joka on valmistettu Kiinassa, voit jättää meille viestin.

QR koodi

Meistä

Tuotteet

Ota meihin yhteyttä

Puhelin
+86-18069220752
Faksi
+86-579-87223657
Sähköposti
anny@veteksemi.com
Osoite
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiangin maakunta, Kiina

Web-valikko

Tuotehaku

Kieli

Poistu valikosta

Kiinteä piikarbidi

JaC-tarkennusrenkaidemme tärkeimpiä ominaisuuksia ovat mm:

PIIKARBIIDIN TIEVI

CVD -sic -lohko sic -kidekasvulle

Sic Crystal Growth Uusi tekniikka

Cvd sic suihkupää

Sic -suihkupää

Kiinteä SiC-kaasusuihkupää

Lähetä kysely

QR koodi

Meistä

Tuotteet

Ota meihin yhteyttä

Puhelin

Faksi

Sähköposti

Osoite