Sic -suihkupää

Vetek Semiconductor tarjoaa edistyneen sic -suihkupään puolijohdeteollisuudelle. Piekarbidimateriaalit ovat ainutlaatuinen yhdistelmä erinomaisia ​​lämpö-, sähkö- ja kemiallisia ominaisuuksia, joten ne ovat ihanteellisia sovelluksiin puolijohdeteollisuudessa, jossa vaaditaan korkean suorituskyvyn materiaaleja. Vetek Semiconductorilla on pitkään kertynyt kokemus CVD -kiinteästä sic -tekniikasta. Vetek Semiconductorin vallankumouksellinen tekniikka mahdollistaa sic-suihkupään tuotannon, joka on erittäin korkea puhtaus pii-karbidimateriaali, joka on luotu kemiallisen höyryn laskeutumisprosessin kautta.

SIC -suihkupää on kriittinen komponentti puolijohteiden valmistuksessa, erityisesti suunniteltu MOCVD -järjestelmille, piin epitaksi jaSicepitaksikeskus. Valmistettu vankastaKiinteä piikarbidi (sic), Tämä komponentti kestää plasman käsittelyn ja korkean lämpötilan sovellusten äärimmäiset olosuhteet.

Piharbidi (sic)tunnetaan korkeasta lämmönjohtavuudestaan, kemiallisesta korroosionkestävyydestä ja poikkeuksellisesta mekaanisesta lujuudesta, joten se on ihanteellinen materiaali irtotavarana sic -komponenteille, kuten sic -suihkupää. Kaasu suihkupää varmistaa prosessikaasujen tasaisen jakautumisen kiekkojen pinnan yli, mikä on välttämätöntä korkealaatuisten epitaksiaalikerrosten tuottamiseksi. Keskitysaineet ja reunasormukset, jotka on usein valmistettu CVD-SiC: stä, ylläpitävät tasaista plasman jakautumista ja suojaavat kammiota saastumiselta, mikä parantaa epitaksiaalisen kasvun tehokkuutta ja satoa.

SIC -suihkupää on tarkalla kaasun virtauksen hallinnassa ja erinomaisissa materiaaliominaisuuksissaan avainkomponentti nykyaikaisessa puolijohdeprosessoinnissa, joka tukee edistyneitä sovelluksia piin epitaksissa ja sic -epitaksissa.

Vetek Semiconductor tarjoaa alhaisen resistiivisyyden sintrattujen piin karbidi -puolijohde -suihkupään. Meillä on kyky mukautettu insinööri ja toimittaaedistyneet keraamiset materiaalithyödyntää erilaisia ​​ainutlaatuisia ominaisuuksia.