Kiinteä sic-levyn muotoinen suihkupää

Kiinteän SIC-levynmuotoisen suihkupään roolin CVD-prosessissa on jakamaan reaktiokaasu tasaisesti laskeuma-alueen yläpuolelle, jotta kaasu voidaan levittää tasaisesti koko reaktorissa tasaisen ja tasaisen kalvon saamiseksi.

Kiinteä sic -suihkupää asetetaan CVD -uunin yläosaan tai kaasun sisääntulon lähellä. Reaktiokaasu siirtyy levynmuotoiseen rakenteeseen suihkupäähän jakautuneiden reikien läpi ja diffundoituu suihkupinnan pintaa pitkin. Monikanavan suunnittelun ja tasaisesti jakautuneiden poistojen kautta reaktiokaasu voi virtata tasaisesti koko reaktorialueelle, välttäen pitoisuutta tai turbulenssia ja varmistaakseen substraattiin kerrostetun kerroksen paksuuden konsistenssin.

Samanaikaisesti puolijohdelevyn muotoisen suihkupään rakenteella on myös diffuusiovaikutus, joka voi tehokkaasti vähentää kaasun virtausnopeutta, jotta se voidaan levittää tasaisesti suuttimen poistossa ja vähentää paikallisten kaasun virtausmuutosten vaikutusta laskeutumisvaikutukseen. Se auttaa välttämään substraatin suoraa kaasun vaikutusta ja estämään epätasaisen laskeutumisen ongelman.

Materiaalien näkökulmasta kiinteä sic-kaasun suihkupää on valmistettu korkean lämpötilan kestävyydestä, korroosiokestävästä ja erittäin lujasta kiinteästä sic-materiaalista, jolla on erittäin korkea stabiilisuus. Se voi toimia vakaasti CVD -uunissa ja sillä on pitkä käyttöikä.

Vetek Semiconductor tarjoaa korkealaatuisia räätälöityjä palveluita. Kiinteän SIC-levynmuotoisen suihkupään muodon ja reikien asettelua voidaan säätää joustavasti asiakkaan prosessivaatimusten mukaisesti sopeutuakseen eri kaasutyyppeihin, virtausnopeuksiin ja laskeutumismateriaaleihin. Reaktoreiden tai substraattikokojen eri kokoissa levynmuotoisia suihkupäätä, joilla on erilaiset halkaisijat ja reikäjakaumat, voidaan räätälöidä kaasun jakautumisvaikutuksen optimoimiseksi.

Vetek Semiconductorilla on kypsät prosessit ja edistyneitä tekniikoita kiinteiden sic -puolijohteiden suihkupään tuotteille, mikä auttaa suurta määrää asiakkaita saavuttamaan jatkuvan edistymisen CVD -prosesseissa. Vetek Semiconductor odottaa saavansa pitkäaikaisen kumppanisi Kiinassa.

Kiinteän sic: n fysikaaliset ominaisuudet

IT -puolijohdeKiinteät sic-levynmuotoiset suihkupään tuotantokaupat