Kiinteä piikarbidi

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide on tärkeä keraaminen komponentti plasmaetsauslaitteissa, kiinteä piikarbidi (CVD piikarbidi) syövytyslaitteiston osat sisältävättarkennusrenkaat, kaasusuihkupää, tarjotin, reunarenkaat jne. Kiinteän piikarbidin (CVD-piikarbidin) alhaisen reaktiivisuuden ja johtavuuden vuoksi klooria ja fluoria sisältävien syövytyskaasujen kanssa se on ihanteellinen materiaali plasmaetsauslaitteiden tarkennusrenkaisiin ja muihin komponentit.

Esimerkiksi tarkennusrengas on tärkeä osa, joka on sijoitettu kiekon ulkopuolelle ja suoraan kosketukseen kiekon kanssa, koska se kohdistaa renkaaseen jännitettä renkaan läpi kulkevan plasman fokusoimiseksi, jolloin plasma fokusoidaan kiekolle, mikä parantaa kiekon tasaisuutta. käsittelyä. Perinteinen tarkennusrengas on valmistettu silikonista taikvartsi, johtavana piin yleisenä tarkennusrengasmateriaalina, se on melkein lähellä piikiekkojen johtavuutta, mutta puute on huono etsauskestävyys fluoria sisältävässä plasmassa, syövytyskoneen osien materiaaleja, joita käytetään usein jonkin aikaa, tulee olemaan vakavia korroosioilmiö, mikä heikentää vakavasti sen tuotantotehokkuutta.

Soli SiC Focus RingToimintaperiaate：

Ja-pohjaisen tarkennusrenkaan ja CVD SiC -tarkennusrenkaan vertailu: