Tuotteet

Kiinteä piikarbidi

Vetek Semiconductor Solid Picon -karbidi on tärkeä keraaminen komponentti plasman etsauslaitteissa, kiinteä piiharbidi (CVD -piikarbidi) Sisällyttävien etsauslaitteiden osatkeskittyvät renkaat, kaasu suihkupää, tarjotin, reunasormukset jne. Kiinteän piikarbidin (CVD -piikarbidi) alhaisen reaktiivisuuden ja johtavuuden vuoksi klooriin - ja fluoripitoisiin etsauskaasuihin, se on ihanteellinen materiaali plasman etsauslaitteiden keskittymiseen ja muihin komponentteihin.


Esimerkiksi Focus Ring on tärkeä osa kiekon ulkopuolelle ja suorassa kosketuksessa kiekkoon soveltamalla renkaan jännitettä keskittääksesi renkaan läpi kulkevan plasman, keskittyen siten kiekkoon plasmaan käsittelyn tasaisuuden parantamiseksi. Perinteinen painopistealue on tehty piistä taikvartsi, Johtava pii yleisenä painopisteaineena, se on melkein lähellä pii kiekkojen johtavuutta, mutta pula on huono syövytysvastus fluoripitoisessa plasmassa, etsauskoneiden osia materiaaleja, joita käytetään usein tietyn ajanjakson ajan, on vakavia korroosioilmiöitä, mikä vähentää sen tuotannon tehokkuutta vakavasti.


Solid sic focus rengasTyöperiaate

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


SI -pohjaisen tarkennusrenkaan ja CVD -sic -tarkennusrenkaan vertailu :

SI -pohjaisen tarkennusrenkaan ja CVD -sic -tarkennusrenkaan vertailu
Esine Ja CVD SIC
Tiheys (g/cm3) 2.33 3.21
Band Gap (EV) 1.12 2.3
Lämpöjohtavuus (w/cm ℃) 1.5 5
CTE (X10-6/℃) 2.6 4
Joustava moduuli (GPA) 150 440
Kovuus (GPA) 11.4 24.5
Kulumiskestävyys Huono Erinomainen


Vetek Semiconductor tarjoaa edistyneitä kiinteitä piikarbidia (CVD -piikarbidia) osia, kuten puolijohdelaitteiden sic -tarkennusrenkaat. Kiinteä piikarbidimme tarkennusrenkaamme ylittävät perinteisen piin mekaanisen lujuuden, kemiallisen resistenssin, lämmönjohtavuuden, korkean lämpötilan kestävyyden ja ionin etsauskestävyyden suhteen.


SIC -tarkennusrenkaidemme keskeiset piirteet sisältävät:

Suuri tiheys vähentyneiden etsausnopeuksille.

Erinomainen eristys korkealla kaistalevyllä.

Korkea lämmönjohtavuus ja alhainen lämpölaajennuskerroin.

Parempi mekaaninen iskunkestävyys ja joustavuus.

Korkea kovuus, kulutuskestävyys ja korroosionkestävyys.

Valmistettu käyttämälläPlasmaparannettu kemiallinen höyryn laskeuma (PECVD)Tekniikat, SIC -keskittymissormuksemme vastaavat kasvavia vaatimuksia syövyttämisprosesseista puolijohteiden valmistuksessa. Ne on suunniteltu kestämään korkeampaa plasmavoimaa ja energiaa, erityisestiKapasiteettisesti kytketty plasma (CCP)järjestelmät.

Vetek Semiconductorin SIC -tarkennusrenkaat tarjoavat poikkeuksellisen suorituskyvyn ja luotettavuuden puolijohdelaitteiden valmistuksessa. Valitse SIC -komponentit erinomaisen laadun ja tehokkuuden saavuttamiseksi.


View as  
 
Kiinteä SiC-kaasusuihkupää

Kiinteä SiC-kaasusuihkupää

Kiinteällä sic -kaasu suihkupäällä on tärkeä rooli kaasupuvun valmistuksessa CVD -prosessissa, mikä varmistaa substraatin tasaisen lämmityksen. Vetek Semiconductor on ollut syvästi mukana kiinteiden SIC -laitteiden alalla monien vuosien ajan ja pystyy tarjoamaan asiakkaille räätälöityjä kiinteitä sic -kaasun suihkupäätä. Riippumatta vaatimuksistasi, odotamme kyselyäsi.
Kemiallinen höyryn saostumisprosessi kiinteä sic -reunarengas

Kemiallinen höyryn saostumisprosessi kiinteä sic -reunarengas

Vetek -puolijohde on aina sitoutunut edistyneiden puolijohdemateriaalien tutkimukseen ja kehittämiseen sekä valmistukseen. Nykyään Vetek Semiconductor on edistynyt huomattavasti kemiallisissa höyryn laskeutumisprosessissa Solid SIC Edge Ring -tuotteita ja pystyy tarjoamaan asiakkaille erittäin räätälöityjä kiinteitä sic -reunarenkaita. Kiinteät sic -reunarenkaat tarjoavat paremman etsaus yhdenmukaisuuden ja tarkan kiekkojen sijoittamisen, kun sitä käytetään sähköstaattisen istukan kanssa, mikä varmistaa yhdenmukaiset ja luotettavat etsaustulokset. Innolla kyselyä ja tulla toistensa pitkäaikaisiksi kumppaneiksi.
Kiinteä sic etsauskeskustelu rengas

Kiinteä sic etsauskeskustelu rengas

Kiinteä sic -etsauskeskeinen rengas on yksi kiekkojen etsausprosessin ydinkomponenteista, jolla on rooli kiekkojen kiinnittämisessä, plasman keskittymisessä ja kiekkojen etsauksen tasaisuuden parantamisessa. Vetek Semiconductor -yrityksen johtavana SIC: n keskittymisrenkaan valmistajana Kiinassa on edistyksellinen tekniikka ja kypsä prosessi, ja se valmistaa vankkaa sic -etsauskehitysrengasta, joka vastaa lopullisten asiakkaiden tarpeita täysin asiakkaiden vaatimusten mukaisesti. Odotamme kyselyäsi ja tulemme toistensa pitkäaikaisiksi kumppaneiksi.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


Ammattimaisena Kiinteä piikarbidi valmistajana ja toimittajana Kiinassa meillä on oma tehdas. Tarvitsetko räätälöityjä palveluita alueen erityistarpeiden tyydyttämiseksi tai haluat ostaa edistyneitä ja kestävää Kiinteä piikarbidi, joka on valmistettu Kiinassa, voit jättää meille viestin.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept