QR koodi

Meistä
Tuotteet
Ota meihin yhteyttä
Puhelin
Faksi
+86-579-87223657
Sähköposti
Osoite
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiangin maakunta, Kiina
Vetek Semiconductor Solid Picon -karbidi on tärkeä keraaminen komponentti plasman etsauslaitteissa, kiinteä piiharbidi (CVD -piikarbidi) Sisällyttävien etsauslaitteiden osatkeskittyvät renkaat, kaasu suihkupää, tarjotin, reunasormukset jne. Kiinteän piikarbidin (CVD -piikarbidi) alhaisen reaktiivisuuden ja johtavuuden vuoksi klooriin - ja fluoripitoisiin etsauskaasuihin, se on ihanteellinen materiaali plasman etsauslaitteiden keskittymiseen ja muihin komponentteihin.
Esimerkiksi Focus Ring on tärkeä osa kiekon ulkopuolelle ja suorassa kosketuksessa kiekkoon soveltamalla renkaan jännitettä keskittääksesi renkaan läpi kulkevan plasman, keskittyen siten kiekkoon plasmaan käsittelyn tasaisuuden parantamiseksi. Perinteinen painopistealue on tehty piistä taikvartsi, Johtava pii yleisenä painopisteaineena, se on melkein lähellä pii kiekkojen johtavuutta, mutta pula on huono syövytysvastus fluoripitoisessa plasmassa, etsauskoneiden osia materiaaleja, joita käytetään usein tietyn ajanjakson ajan, on vakavia korroosioilmiöitä, mikä vähentää sen tuotannon tehokkuutta vakavasti.
Solid sic focus rengasTyöperiaate:
SI -pohjaisen tarkennusrenkaan ja CVD -sic -tarkennusrenkaan vertailu :
SI -pohjaisen tarkennusrenkaan ja CVD -sic -tarkennusrenkaan vertailu | ||
Esine | Ja | CVD SIC |
Tiheys (g/cm3) | 2.33 | 3.21 |
Band Gap (EV) | 1.12 | 2.3 |
Lämpöjohtavuus (w/cm ℃) | 1.5 | 5 |
CTE (X10-6/℃) | 2.6 | 4 |
Joustava moduuli (GPA) | 150 | 440 |
Kovuus (GPA) | 11.4 | 24.5 |
Kulumiskestävyys | Huono | Erinomainen |
Vetek Semiconductor tarjoaa edistyneitä kiinteitä piikarbidia (CVD -piikarbidia) osia, kuten puolijohdelaitteiden sic -tarkennusrenkaat. Kiinteä piikarbidimme tarkennusrenkaamme ylittävät perinteisen piin mekaanisen lujuuden, kemiallisen resistenssin, lämmönjohtavuuden, korkean lämpötilan kestävyyden ja ionin etsauskestävyyden suhteen.
Suuri tiheys vähentyneiden etsausnopeuksille.
Erinomainen eristys korkealla kaistalevyllä.
Korkea lämmönjohtavuus ja alhainen lämpölaajennuskerroin.
Parempi mekaaninen iskunkestävyys ja joustavuus.
Korkea kovuus, kulutuskestävyys ja korroosionkestävyys.
Valmistettu käyttämälläPlasmaparannettu kemiallinen höyryn laskeuma (PECVD)Tekniikat, SIC -keskittymissormuksemme vastaavat kasvavia vaatimuksia syövyttämisprosesseista puolijohteiden valmistuksessa. Ne on suunniteltu kestämään korkeampaa plasmavoimaa ja energiaa, erityisestiKapasiteettisesti kytketty plasma (CCP)järjestelmät.
Vetek Semiconductorin SIC -tarkennusrenkaat tarjoavat poikkeuksellisen suorituskyvyn ja luotettavuuden puolijohdelaitteiden valmistuksessa. Valitse SIC -komponentit erinomaisen laadun ja tehokkuuden saavuttamiseksi.
Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.
Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.
Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.
To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.
+86-579-87223657
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiangin maakunta, Kiina
Copyright © 2024 Veek Semiconductor Technology Co., Ltd. Kaikki oikeudet pidätetään.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |