Piilarbidikiekko Chuck

Vetek Semiconductor -pii -karbidikiekko Chuck käyttää piikarbidimateriaalien erinomaisia ​​ominaisuuksia puolijohdetuotannon tiukkojen vaatimusten täyttämiseksi, etenkin puolijohdeprosessoinnissa, joka vaatii erittäin suurta tarkkuutta ja luotettavuutta.

Puolijohdeprosessissa,Piikarbidion erinomainen korkea lämpötilankestävyys (voi toimia vakaasti jopa 1400 ° C: ssa), alhainen johtavuus (sic: llä on suhteellisen alhainen johtavuus, tyypillisesti 10^^-3S/m) ja matala lämmön laajennuskerroin (noin 4,0 × 10^^-6/° C), joka on välttämätön ja tärkeä materiaali, joka sopii erityisesti piikarbidikiekko -istukan valmistukseen.

Aikanaepitaksiaalinen kasvuprosessi, ohut kerros puolijohdemateriaalia talletetaan substraatille, joka vaatii kiekon absoluuttista vakautta yhtenäisten ja korkealaatuisten kalvojen laskeutumiskerrosten varmistamiseksi. SiC -tyhjiöpoika saavuttaa tämän luomalla kiinteän, johdonmukaisen tyhjiön pidätyksen kiekon liikkumisen tai muodonmuutoksen estämiseksi.

Piiharbidikiekko Chuck tarjoaa myös erinomaisen vastustuskyvyn lämpöhakemukselle. Nopeat lämpötilan muutokset ovat yleisiä puolijohteiden valmistuksessa, ja materiaalit, jotka eivät kestä näitä vaihtelut, voivat halkeilla, taivuttaa tai epäonnistua. Piharbidilla on alhainen lämpölaajennuskerroin, ja se voi ylläpitää muodon ja toiminnan jopa rajujen lämpötilan muutoksissa varmistaen, että kiekko pysyy turvallisena epitaksiprosessin aikana ilman liikettä tai väärinkäyttöä.

LisäksiepitaksiprosessiUsein sisältyy reaktiivisia kaasuja ja muita syövyttäviä kemikaaleja. SiC -kiekko -chuck -kemiallinen inertti varmistaa, että nämä ankarat ympäristöt eivät vaikuta siihen, säilyttäen sen suorituskyvyn ja pidentäen sen käyttöiän. Tämä kemiallinen kestävyys ei pelkästään vähennä kiekkojen istukan korvaamisen tiheyttä, vaan varmistaa myös johdonmukaisen tuotteiden suorituskyvyn useiden tuotantojaksojen aikana, mikä auttaa parantamaan puolijohteiden valmistusprosessin yleistä tehokkuutta ja kustannustehokkuutta.

Vetek Semiconductor on Kiinassa johtava pii -karbidikiekko -chuck -tuotteiden valmistaja ja toimittaja. Voimme tarjota erityyppisiä chuck -tuotteita, kutenHuokoinen sic keraaminen istukka, Huokoinen sic -tyhjiö istukka, Huokoinen keraaminen tyhjiöjaTac -päällystetty istukkajne. Veek Semiconductor on sitoutunut tarjoamaan edistyneitä tekniikka- ja tuotelaratkaisuja puolijohdeteollisuudelle. Toivomme vilpittömästi tulevan pitkäaikaiseen kumppanisi Kiinassa.

SEM -tiedot CVDSic -kalvon kiderakenne：

Vetek Semiconductor Piilarbide -kiekko istukkikaupat：