Pilarbidikeraaminen pinnoite

IT -puolijohde Pilarbidikeraaminen pinnoiteon korkean suorituskyvyn suojapinnoite, joka on valmistettu erittäin kovasta ja kulutusta kestävästä piiharbidimateriaalista (sic), joka tarjoaa erinomaisen kemiallisen korroosionkestävyyden ja korkean lämpötilan stabiilisuuden. Nämä ominaisuudet ovat tärkeitä puolijohteiden tuotannossa, joten piikarbidikeraamisen pinnoitteen käytetään laajasti puolijohteiden valmistuslaitteiden avainkomponentteihin.

Veek Semiconductor -silikonikarbidikeraamisen pinnoitteen erityinen rooli puolijohteiden tuotannossa onseuraavasti:

Paranna laitteiden kestävyyttä: Piilarbidikeraaminen pinnoite tarjoaa erinomaisen pintasuojan puolijohteiden valmistuslaitteille erittäin korkealla kovuudella ja kulumiskestävyydellä. Erityisesti korkean lämpötilan, erittäin syövyttävien prosessiympäristöjen, kuten kemiallisen höyryn laskeutumisen (CVD) ja plasman etsaus, piikarbidikeraamiset pinnoitet ja plasman etsaus, laitteiden pinnan vauriot kemiallisen eroosion tai fyysisen kulumisen vuoksi, laajentaen siten huomattavasti laitteiden käyttöaikaa ja vähentämällä säännöllistä vaihto- ja kunnossapidon käyttöä.

Paranna prosessin puhtautta: Puolijohteiden valmistusprosessissa mikä tahansa pieni saastuminen voi aiheuttaa tuotevikoja. Piharbidikeraamisen pinnoitteen kemiallinen inertti antaa sen pysyä vakaana äärimmäisissä olosuhteissa, estää materiaalia vapauttamasta hiukkasia tai epäpuhtauksia ja varmistaa ympäristön puhtauden prosessin aikana. Tämä on erityisen tärkeää valmistusvaiheissa, jotka vaativat suurta tarkkuutta ja suurta puhtautta, kuten PECVD: tä ja ionin implantaatiota.

Lämmönhallinta: Korkean lämpötilan puolijohdeprosessoissa, kuten nopean lämpökäsittelyn (RTP) ja hapettumisprosessissa, piidarbidikeramiikkapinnoitteen korkea lämmönjohtavuus mahdollistaa tasaisen lämpötilan jakautumisen laitteiden sisällä. Tämä auttaa vähentämään lämpötilan vaihtelun aiheuttamia lämpöjännitystä ja materiaalien muodonmuutoksia parantaen siten tuotteiden valmistustarkkuutta ja konsistenssia.

Tuki monimutkainen prosessiympäristö: Prosesseissa, jotka vaativat monimutkaista ilmakehän hallintaa, kuten ICP-etsaus- ja PSS-etsausprosessit, piidarbidikerbidikeraamisen pinnoittimen lämmittimen stabiilisuus ja hapettumiskestävyys varmistaa laitteiden vakaan suorituskyvyn pitkäaikaisessa toiminnassa vähentäen ympäristömuutosten aiheuttamien materiaalien hajoamisen tai laitteiden vaurioiden riskiä.

IT -puolijohdekeskittyy korkean suorituskyvyn valmistukseen ja toimittamaanPilarbidikeraaminen pinnoite, ja on sitoutunut tarjoamaan edistyneitä teknologia- ja tuotelaratkaisuja puolijohdeteollisuudelle.Toivomme vilpittömästi olevan pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.

Fysikaaliset perusominaisuudetPilarbidikeraaminen pinnoite:

IT -puolijohde Piilarbide -keraamiset pinnoituskaupat:

Yleiskatsaus puolijohdepitaksiteollisuusketjusta: