Mitä materiaaleja käytetään puolijohdekeraamisissa komponenteissa?

Alumiinioksidikeramiikka (al₂o₃) ‌

Alumiinioksidikeramiikka on "työhevonen" keraamisten komponenttien valmistukseen. Niillä on erinomaiset mekaaniset ominaisuudet, erittäin korkeat sulamispisteet ja kovuus, korroosionkestävyys, voimakas kemiallinen stabiilisuus, korkea resistiivisyys ja erinomainen sähköeristys. Niitä käytetään yleisesti kiillotuslevyjen, tyhjiötukkaiden, keraamisten käsivarsien ja vastaavien osien valmistamiseen.

‌Aluminum -nitridikeramiikka (ALN)

Alumiininitridikeramiikassa on suuri lämmönjohtavuus, piin lämpökerroin, joka vastaa piitä, ja matala dielektrisyysvakio ja häviö. Etuilla, kuten korkea sulamispiste, kovuus, lämmönjohtavuus ja eristys, niitä käytetään ensisijaisesti lämmönlähtöisissä substraatteissa, keraamisissa suusumissa ja sähköstaattisissa istunnoissa.

‌Yttria -keramiikka (y₂o₃)

Ytttria -keramiikat ovat korkea sulamispiste, erinomainen kemiallinen ja fotokemiallinen stabiilisuus, matala fononienergia, korkea lämmönjohtavuus ja hyvä läpinäkyvyys. Puolijohdeteollisuudessa ne yhdistetään usein alumiinioksidikeramiikkaan - esimerkiksi ytttria -pinnoitteita levitetään alumiinioksidikeramiikkaan keraamisten ikkunoiden tuottamiseksi.

‌Silicon -nitridikeramiikka (Si₃n₄) ‌

Piilinitridikeramiikalle on ominaista korkea sulamispiste, poikkeuksellinen kovuus, kemiallinen stabiilisuus, alhainen lämmönlaajennuskerroin, korkea lämmönjohtavuus ja voimakas lämpö iskunkestävyys. Ne ylläpitävät erinomaista iskunkestävyyttä ja lujuutta alle 1200 ° C: ta, mikä tekee niistä ihanteellisia keraamisia substraatteja, kuormituskoukkuja, paikannustappeja ja keraamisia putkia.

‌Silicon Carbide Ceramics (sic) ‌

Piiharbidikeramiikka, joka muistuttaa timanttia ominaisuuksissa, ovat kevyitä, erittäin kovia ja erittäin lujia materiaaleja. Poikkeuksellisen kattavan suorituskyvyn, kulutuskestävyyden ja korroosionkestävyyden avulla niitä käytetään laajasti venttiilien istuimissa, liukuvaissa laakereissa, polttimissa, suuttimissa ja lämmönvaihtimissa.

‌Zirkoniumoksidikeramiikka (zro₂) ‌

Zirkoniumoksidi -keramiikka tarjoaa suurta mekaanista lujuutta, lämmönkestävyyttä, happo/alkaliresistenssiä ja erinomaista eristystä. Zirkoniumoksidesisällön perusteella ne luokitellaan:

• Tarkkuuskeramiikka‌ (sisältö, joka ylittää 99,9%, jota käytetään integroiduissa piirisubstraatissa ja korkeataajuisissa eristysmateriaaleissa).
• Tavallinen keramiikka‌ (yleiskäyttöisiä keraamisia tuotteita).

Rakenteelliset ominaisuudetPuolijohdekeraaminen Komponentit

‌Dense Ceramics‌

Puolijohdeteollisuudessa käytetään tiheää keramiikkaa. Ne saavuttavat tiivistymisen minimoimalla huokoset ja valmistetaan menetelmillä, kuten reaktio sintraus, paineettoman sintraus, nestefaasin sintraus, kuuma puristus ja kuuma isostaattinen puristus.

‌Porous keramiikka

Päinvastoin kuin tiheä keramiikka, huokoinen keramiikka sisältää kontrolloidun määrän tyhjiöitä. Ne luokitellaan huokoskokoon mikrohuokoisiin, mesohuokoisiin ja makrohuokoisiin keramiikkaan. Matalassa irtotavarana, kevyellä rakenteella, suurella spesifinen pinta -ala, tehokas suodatus/lämpöeristys/akustiset vaimennusominaisuudet ja stabiili kemiallinen/fysikaalinen suorituskyky, niitä käytetään eri komponenttien valmistukseen puolijohdelaitteissa.