Cvd sic pinnoitusilmoituselementti

CVD -sic -pinnoitusilmoituselementtiä käytetään pääasiassa PVD -laitteissa (fyysinen höyryn laskeuma). Haihdutusprosessissa materiaalia lämmitetään haihtumisen tai ruiskuttamisen saavuttamiseksi, ja lopulta substraatille muodostuu tasainen ohutkalvo.

Ⅰ.Erityinen sovellus

Ohuen kalvon laskeuma: CVD -sic -pinnoitusilmoituselementtiä käytetään haihtumislähteessä tai ruiskutuslähteessä. Lämmittämällä elementti lämmittää talletettavaa materiaalia korkeaan lämpötilaan siten, että sen atomit tai molekyylit erotetaan materiaalin pinnasta, muodostaen siten höyryn tai plasman. Lämmityselementtipohjainen SIC -pinnoite voi myös suoraan lämmittää joitain metalli- tai keraamisia materiaaleja niiden haihtumiseen tai sublimointiin tyhjiöympäristössä käytettäväksi materiaalilähteenä PVD -prosessissa. Koska rakenteessa on samankeskiset urat, se voi paremmin hallita nykyistä polkua ja lämmönjakaumaa lämmityksen tasaisuuden varmistamiseksi.

Kaavio haihdutus PVD -prosessista

Ⅱ.Työperiaate

Resistiivinen lämmitys, kun virta kulkee sic -päällystetyn lämmittimen vastuspolun läpi, syntyy joulilämpö, ​​mikä saavuttaa lämmityksen vaikutuksen. Konsentrinen rakenne mahdollistaa virran jakautumisen tasaisesti. Lämpötilanhallintalaite on yleensä kytketty elementtiin lämpötilan seuraamiseksi ja säätämiseksi.

Ⅲ.Materiaali- ja rakennesuunnittelu

CVD-sic-pinnoitusilmoituselementti on valmistettu korkean puhtaan grafiitista ja sic-pinnoitteesta korkean lämpötilan ympäristön selviytymiseksi. Itse korkean puhtaan grafiittia on käytetty laajasti lämpökenttämateriaalina. Kun grafiittipinnalle on levitetty pinnoituskerros CVD-menetelmällä, sen korkean lämpötilan stabiilisuus, korroosionkestävyys, lämpötehokkuus ja muut ominaisuudet paranevat edelleen.

Konsentristen urien suunnittelu antaa virran muodostaa tasaisen silmukan levyn pinnalle. Se saavuttaa tasaisen lämmönjakauman, välttää pitoisuuden aiheuttaman paikallisen ylikuumenemisen tietyillä alueilla, vähentää lisälämpöhäviöitä, jotka johtuvat virran pitoisuudesta ja parantaa siten lämmitystehokkuutta.

CVD -sic -pinnoitusilmoituselementti koostuu kahdesta jalasta ja vartalosta. Jokaisella jalalla on säie, joka yhdistyy virtalähteeseen. Vetek-puolijohde voi valmistaa yksiosaisia ​​osia tai jaetut osat, ts. Jalat ja vartalo valmistetaan erikseen ja kootaan sitten. Riippumatta siitä, mitä vaatimuksia sinulla on CVD -sic -päällystetylle lämmittimelle, ota yhteyttä meihin. Veteksemi voi tarjota tarvitsemasi tuotteet.

CVD -sic -pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet ：